Карактеризација оптичких танких филмова обухвата карактеризацију оптичких својстава, оптичких параметара и неоптичких својстава. Оптичка својства се углавном односе на спектралну рефлексију, трансмитанцију и оптичке губитке (губитак апсорпције и губитак рефлексије) оптичких танких филмова. Трансмитанца и рефлексија су најосновнија оптичка својства оптичких танких филмова, па је испитивање трансмитанце и рефлексије танких филмова основна техника испитивања оптичких танких филмова. Оптички параметри оптичких танких филмова укључују индекс преламања, коефицијент апсорпције и дебљину филма. Због стехиометријског одступања у материјалним компонентама оптичких танких филмова припремљених стварним поступком, структура више није хомогена и густа, већ постоје микроструктуре и разни дефекти, диелектрични слој филма више није потпуно транспарентан и постоји слаба апсорпција, док постоје просторна неуједначеност и фазна анизотропија у индексу преламања филма, а филм више није бесконачан и глатки интерфејс. Још важније, у самом процесу припреме, параметри процеса припреме филма имају веома велики утицај на оптичке параметре филма, тако да је потврда оптичких параметара филма у реалном времену веома критична. Поред тога, оптички танки филм као уређај који се користи у стварном окружењу, поред оптичких карактеристика уређаја, потребно је да испуни захтеве, филм има многе друге важне неоптичке карактеристике које утичу на употребу филма, као што су адхезија филма, напрезање филма, тврдоћа и површинска храпавост филма и способност филма да издржи услове околине и тако даље. Стога је важно прецизно измерити све различите параметре или карактеристике које утичу на употребу уређаја са танким филмом.
Трансмисија и рефлексија танких филмова се углавном тестирају помоћу спектралних анализатора. Спектрални анализатори за оптичко испитивање филмова могу се поделити на UV-Vis спектрофотометре, инфрацрвене спектрофотометре и инфрацрвене Фуријеове спектрометре према различитим тест опсезима. Прва два користе принцип спектралне спектроскопије за анализу и систем тестирања, док се други заснивају на принципу интерференције система спектралне анализе. Због различитих геометријских структура и облика уређаја са танким филмом, иако се сва мерења трансмисије и рефлексије могу захтевати за различите облике, различиту прецизност или различите захтеве за поларизацију, могу захтевати различите методе и технике испитивања.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 03.11.2023.