No.1 Mabda'a awoodda sare ee garaaca magnetron
Farsamada xajinta magnetron ee awoodda sare leh waxay isticmaashaa awoodda garaaca wadnaha ugu sarreysa (2-3 amarrada cabbirka ka sarreeya xajinta magnetron-ka caadiga ah) iyo wareegga shaqada garaaca wadnaha hooseeya (0.5% -10%) si loo gaaro heerarka sare ee kala-soocidda biraha (> 50%), kaas oo waxaa laga soo qaatay sifooyinka sputtering magnetron, sida ku cad Pic 1, halkaas oo bartilmaameedka ugu sarreeya cufnaanta hadda I waa u dhiganta nth awoodda jibbaarada ee danab dheecaan U, I = kUn (n waa joogto ah oo la xidhiidha qaab-dhismeedka cathode, field magnetic iyo agab).Cufnaanta hoose ee tamarta (koronta yar) qiimaha n wuxuu badanaa ku jiraa inta u dhaxaysa 5 ilaa 15;iyadoo kororka qulqulka sii kordhaya, cufnaanta hadda iyo cufnaanta awoodda ayaa si degdeg ah u kordheysa, iyo koronta sare qiimaha n wuxuu noqonayaa 1 sababtoo ah luminta xannibaadda magnetic.Haddii cufnaanta korantadu yar tahay, dheecaanka gaaska waxaa lagu go'aamiyaa ions gaaska ee ku jira qaabka caadiga ah ee dareeraha garaaca;Haddii cufnaanta awoodda sare, saamiga ions birta ee balasmaha ayaa kordha iyo walxaha qaarkood beddelaan, taas oo ah habka is-xakamaynta, ie balaasmaha waxaa lagu ilaaliyaa ionization ee qaybaha dhexdhexaadka ah ee dhexdhexaadka ah iyo ion birta sare, iyo atomyada gaaska inert sida Ar waxaa loo isticmaalaa oo kaliya in lagu shido plazma, ka dib markii qaybaha biraha sputtered yihiin ionized meel u dhow bartilmaameedka iyo dardargelinta dib si ay u duqeeyaan bartilmaameedka sputtered hoos falgalka magnetic iyo beeraha koronto si loo ilaaliyo dheecaanka sare ee hadda, iyo Plasma waa mid aad u sarreeya. Qaybaha birta ionized.Sababo la xiriira geeddi-socodka sputtering saamaynta kulaylka on bartilmaameedka, si loo hubiyo in hawlgalka xasilloon ee bartilmaameedka ee codsiyada warshadaha, cufnaanta awoodda si toos ah codsatay in bartilmaameedku ma noqon karto mid aad u weyn, guud ahaan si toos ah qaboojinta biyaha iyo bartilmaameedka conductivity kaamerada wax. waa in ay ahaataa kiiska 25 W / cm2 ee hoose, qaboojinta aan tooska ahayn ee biyaha, dabeecadda kulaylka walxaha bartilmaameedku waa mid liidata, walxaha bartilmaameedka ah ee ay keento jajab sababtoo ah diiqada kulaylka ama walxaha bartilmaameedka ah waxay ka kooban yihiin qaybaha dabaysha ee hooseeya iyo kiisaska kale ee cufnaanta awoodda ayaa kaliya ku jiri kara 2 ~ 15 W / cm2 hoose, oo aad uga hooseeya shuruudaha cufnaanta awoodda sare.Dhibaatada kulaylka bartilmaameedka ah waxaa lagu xalin karaa iyadoo la adeegsanayo garaaca wadnaha sare ee cidhiidhiga ah.Anders waxa uu ku qeexaa xafida magnetron-ka awoodda sare leh sida nooc ka mid ah garaacista garaaca halkaas oo cufnaanta awoodda ugu sarreysa ay dhaafto celceliska cufnaanta awoodda 2 ilaa 3 amarrada cabbirka, iyo xajinta ion bartilmaameedka ayaa xukuma habka xajinta, iyo atamka xajinta bartilmaameedka ayaa si aad ah u kala qaybsan. .
No.2 Astaamaha awoodda sare garaaca magnetron sputtering dhigaalka daahan
Xakamaynta magnetron ee awoodda sare leh waxay soo saari kartaa balaasmaha leh heerka kala qaybsanaanta sare iyo tamarta ion sare, waxayna codsan kartaa cadaadis eex ah si loo dardargeliyo ions ee la soo oogay, iyo habka dhigaalka daahanka waxaa qarxinaya qaybo tamar sare leh, taas oo ah tignoolajiyada caadiga ah ee IPVD.Tamarta ion iyo qaybinta ayaa saameyn aad u muhiim ah ku leh tayada dahaarka iyo waxqabadka.
Ku saabsan IPVD, oo ku saleysan qaabka caanka ah ee Thorton qaab dhismeedka gobolka, Anders wuxuu soo jeediyay qaab dhismeed gobolka ah oo ay ku jiraan dhigaalka plasma iyo ion etching, wuxuu kordhiyay xiriirka ka dhexeeya qaab dhismeedka daahan iyo heerkulka iyo cadaadiska hawada ee qaabka qaab dhismeedka Thorton ee xiriirka ka dhexeeya qaab dhismeedka daahan, heerkulka iyo tamarta ion, sida ku cad Sawirka 2. Xaaladda tamarta hoose ee ion tamar, qaab dhismeedka daahan wuxuu waafaqsan yahay qaabka aagga qaab dhismeedka Thorton.Iyada oo korodhka heerkulka kaydinta, kala-guurka ka imanaya gobolka 1 (kareemada fiyuuska dabacsan ee dabacsan) ilaa gobolka T (kiristaalo fiber cufan), gobolka 2 (kiristaalo tiirarka) iyo gobolka 3 (gobolka recrystallization);iyada oo kororka tamarta ion-ku-dhigista, heerkulka kala-guurka ee gobolka 1 ilaa gobolka T, gobolka 2 iyo gobolka 3 ayaa hoos u dhacaya.Kiristaalo fiber cufnaanta sare leh iyo kiristaalo columnar waxaa lagu diyaarin karaa heerkulka hoose.Marka tamarta ions kaydsan ay kordho nidaamka 1-10 eV, duqaynta iyo xoqidda ions ee dusha sare ee dahaarka la dhigo ayaa la wanaajiyaa waxaana la kordhiyaa dhumucda dahaarka.
No.3 Diyaarinta lakabka daahan adag by awood sare pulsed magnetron sputtering technology
Dahaarka ay diyaarisay tignoolajiyada xajinta magnetron ee awoodda sare leh waa cufan, oo leh astaamo farsamo oo wanaagsan iyo xasilloonida heerkulka sare.Sida ku cad Sawirka 3, daahan magnetron-ka caadiga ah ee TiAlN ee dahaadhka ah waa qaab-dhismeedka crystal-ka leh ee engegnaanta 30 GPa iyo modules-ka dhallinta ee 460 GPa;dahaarka HIPIMS-TiAlN waa 34 GBa engegnaanta halka modules-ka dhallintu uu yahay 377 GPa;saamiga u dhexeeya engegnaanta iyo modules Young waa cabbirka adag ee daahan.Qalafsanaanta sarraysa iyo moodeelka da'yarta oo yaraada waxay ka dhigan tahay adkaansho wanaagsan.Daahanka HIPIMS-TiAlN wuxuu leeyahay xasillooni heerkul sare oo ka wanaagsan, iyadoo wejiga AlN ee laba geesoodka ah uu ku dahaadhay daahanka caadiga ah ee TiAlN ka dib daawaynta heerkulka sare ee 1,000 °C muddo 4 saacadood ah.Adkeydka dahaarka ayaa hoos u dhiga heerkulka sare, halka daahan HIPIMS-TiAlN uu yahay mid aan isbeddelin ka dib daaweynta kulaylka isla heerkul iyo waqti isku mid ah.Daahan HIPIMS-TiAlN sidoo kale wuxuu leeyahay heerkul bilawga sare ee oksaydhaynta heerkulka sare marka loo eego daahan caadiga ah.Sidaa darteed, dahaarka HIPIMS-TiAlN wuxuu muujinayaa waxqabad aad uga wanaagsan qalabka goynta xawaaraha sare leh marka loo eego aaladaha kale ee dahaarka leh ee ay diyaariyeen habka PVD.
Waqtiga boostada: Nov-08-2022