Mabda'a No.1 ee sputtering magnetron oo awood sare leh
Farsamada isku-darka awoodda sare leh ee magnetron-ka ayaa adeegsata awoodda garaaca ugu sarreysa (2-3 amar oo ka sarreeya heerka caadiga ah ee isku-darka magnetron-ka) iyo wareegga shaqada garaaca oo hooseeya (0.5%-10%) si loo gaaro heerarka kala-goynta birta oo sare (>50%), kaas oo laga soo qaatay astaamaha isku-darka magnetron-ka, sida lagu muujiyey Sawirka 1, halkaas oo cufnaanta hadda bartilmaameedka ugu sarreysa I ay la mid tahay awoodda nth ee korantada sii deynta U, I = kUn (n waa joogto la xiriirta qaab-dhismeedka cathode, goobta magnetic-ka iyo walxaha). Cufnaanta awoodda oo hooseysa (danab hooseeya) qiimaha n badanaa wuxuu ku jiraa inta u dhaxaysa 5 ilaa 15; iyadoo danab sii deynta oo sii kordheysa, cufnaanta hadda iyo cufnaanta awoodda ayaa si dhakhso ah u kordha, qiimaha n-na wuxuu noqdaa 1 sababtoo ah luminta xayiraadda goobta magnetic-ka. Haddii cufnaanta awoodda oo hooseysa, dheecaanka gaaska waxaa go'aamiya ion-yada gaaska ee ku jira qaabka sii deynta garaaca caadiga ah; Haddii cufnaanta awoodda sare leh, saamiga ayoonnada birta ah ee ku jira balaasmaha ayaa kordha oo walxaha qaar way beddelaan, taas oo ku jirta qaabka is-buufinta, tusaale ahaan Balaasmaha waxaa lagu ilaaliyaa ionization-ka walxaha dhexdhexaadka ah ee buufinta iyo ayoonnada birta labaad, atamka gaaska aan firfircoonayn sida Ar waxaa loo isticmaalaa oo keliya in lagu shido balaasmaha, ka dibna walxaha birta ee buufinta leh ayaa la ioneeyaa meel u dhow bartilmaameedka oo dib loogu soo celiyaa si loogu duqeeyo bartilmaameedka buufinta iyadoo la adeegsanayo goobaha birlabta iyo korontada si loo ilaaliyo dheecaanka sare ee hadda jira, balaasmahana waa qaybo bir ah oo aad u ionaysan. Sababo la xiriira habka buufinta ee saameynta kuleylinta ee bartilmaameedka, si loo hubiyo hawlgalka deggan ee bartilmaameedka ee codsiyada warshadaha, cufnaanta awoodda si toos ah loogu dabaqo bartilmaameedka ma noqon karto mid aad u weyn, guud ahaan qaboojinta biyaha tooska ah iyo hufnaanta kulaylka walxaha bartilmaameedka waa inay ahaataa marka ay dhacdo 25 W / cm2 hoose, qaboojinta biyaha aan tooska ahayn, hufnaanta kulaylka walxaha bartilmaameedka ah waa mid liidata, walxaha bartilmaameedka ah ee ay keento kala-goynta sababtoo ah cadaadiska kulaylka ama walxaha bartilmaameedka ah waxay ka kooban yihiin qaybo daawaha oo hooseeya oo kacsan iyo kiisaska kale ee cufnaanta awoodda waxay ku jiri karaan oo keliya 2 ~ 15 W / cm2 hoose, aad uga hooseeya shuruudaha cufnaanta awoodda sare. Dhibaatada kulaylka bartilmaameedka waxaa lagu xallin karaa iyadoo la isticmaalayo garaacyo awood sare oo aad u cidhiidhi ah. Anders wuxuu qeexayaa buufinta magnetron-ka ee xoogga sare leh nooc ka mid ah buufinta garaaca halkaasoo cufnaanta awoodda ugu sarreysa ay ka badan tahay cufnaanta awoodda celceliska 2 ilaa 3 amar oo baaxad leh, buufinta ion-ka bartilmaameedka ahna ay ka taliso habka buufinta, atamka buufinta bartilmaameedkana aad bay u kala go'an yihiin.
No.2 Astaamaha dhigaalka daahan sputtering magnetron ee awoodda sare leh
Buufinta magnetron-ka ee awoodda sare leh waxay soo saari kartaa balaasma oo leh heer kala-goyn sare iyo tamar ion sare, waxayna ku dabaqi kartaa cadaadis eex ah si loo dedejiyo ion-yada la dallacay, habka dhigista dahaarkana waxaa duqeeya walxo tamar sare leh, taas oo ah tignoolajiyada caadiga ah ee IPVD. Tamarta ion-ka iyo qaybinta waxay saameyn aad muhiim u ah ku leeyihiin tayada dahaarka iyo waxqabadka.
Ku saabsan IPVD, oo ku salaysan qaabka gobolka Thorton ee caanka ah, Anders wuxuu soo jeediyay qaab gobol oo qaab-dhismeed ah oo ay ku jiraan dhigista balaasmaha iyo qodista ion, wuxuu ballaariyay xiriirka ka dhexeeya qaab-dhismeedka dahaarka iyo heerkulka iyo cadaadiska hawada ee qaabka gobolka Thorton ilaa xiriirka ka dhexeeya qaab-dhismeedka dahaarka, heerkulka iyo tamarta ion, sida ku cad Sawirka 2. Xaaladda dahaarka dhigista ion ee tamar yar, qaab-dhismeedka dahaarka wuxuu la jaan qaadayaa qaabka aagga qaab-dhismeedka Thorton. Iyadoo ay sii kordhayso heerkulka dhigista, kala-guurka gobolka 1 (kiristaalo fiilooyin dabacsan oo dabacsan) una gudbaya gobolka T (kiristaalo fiilooyin cufan), gobolka 2 (kiristaalo tiir) iyo gobolka 3 (gobolka dib-u-warshadaynta); iyadoo la kordhinayo tamarta ion-ka dhigista, heerkulka kala-guurka laga bilaabo gobolka 1 ilaa gobolka T, gobolka 2 iyo gobolka 3 ayaa hoos u dhacaya. Kiristaalo fiilooyin cufnaan sare leh iyo kiristaalo tiir ayaa lagu diyaarin karaa heerkul hooseeya. Marka tamarta ion-yada la dhigey ay korto heerka 1-10 eV, duqeynta iyo xoqidda ion-yada dusha sare ee dahaarka la dhigey ayaa la kordhiyaa dhumucda dahaarkana waa la kordhiyaa.
No.3 Diyaarinta lakabka dahaarka adag iyadoo la adeegsanayo tiknoolajiyada sputtering magnetron ee awoodda sare leh
Dahaarka ay diyaarisay tiknoolajiyada magnetron-ka ee awoodda sare leh ayaa ka cufan, oo leh sifooyin farsamo oo wanaagsan iyo xasillooni heerkul sare leh. Sida ku cad Sawirka 3, dahaarka TiAlN ee magnetron-ka ee caadiga ah waa qaab-dhismeed kiristaalo ah oo tiir leh oo leh adkaansho 30 GPa ah iyo modulus Young ah oo ah 460 GPa; dahaarka HIPIMS-TiAlN waa adkaansho 34 GPa ah halka modulus-ka Young uu yahay 377 GPa; saamiga u dhexeeya adkaanta iyo modulus-ka Young waa cabbir lagu cabbiro adkaanta dahaarka. Adkaanta sare iyo modulus-ka Young ee yar waxay ka dhigan yihiin adkeysi wanaagsan. Dahaarka HIPIMS-TiAlN wuxuu leeyahay xasillooni heerkul sare oo wanaagsan, iyadoo wejiga lix-geesoodka ah ee AlN uu ku soo booday dahaarka TiAlN ee caadiga ah ka dib daaweynta annealing heerkulka sare 1,000 °C muddo 4 saacadood ah. Adkaanta dahaarka ayaa hoos u dhacda heerkulka sare, halka dahaarka HIPIMS-TiAlN uusan isbeddelin ka dib daaweynta kulaylka isla heerkulka iyo waqtiga. Dahaarka HIPIMS-TiAlN sidoo kale wuxuu leeyahay heerkul bilow ah oo ka sarreeya oksaydh heerkul sare marka loo eego dahaarka caadiga ah. Sidaa darteed, dahaarka HIPIMS-TiAlN wuxuu muujinayaa waxqabad aad uga wanaagsan qalabka jarista xawaaraha sare marka loo eego qalabka kale ee dahaarka leh ee lagu diyaariyey habka PVD.
Waqtiga boostada: Noofambar-08-2022