No.1 Prensîba sputterkirina magnetrona pêlkirî ya bi hêza bilind
Teknîka şilandina magnetronê ya pêlkirî ya bi hêza bilind, hêza nebza lûtkeyê ya bilind (2-3 rêzikên mezinahiyê ji şibandina magnetrona kevneşopî mezintir) û çerxa karûbarê nebza nizm (0,5%-10%) bikar tîne da ku bigihîje rêjeyên veqetandina metalên bilind (> 50%), ku ji taybetiyên şûştina magnetronê, wekî ku di wêneya 1-ê de tê xuyang kirin, tête peyda kirin, ku li wir lûtkeya tîrêjê ya armancê I bi hêza n-emîn a voltaja dakêşanê re têkildar e U, I = kUn (n domdar e ku bi avahiya katodê, qada magnetîkî ve girêdayî ye. û materyal).Di dendikên hêza kêmtir (voltaja kêm) de nirxa n bi gelemperî di navbera 5 û 15 de ye;bi zêdebûna voltaja dakêşanê re, dendika niha û dendika hêzê bi lez zêde dibin, û di voltaja bilind de nirxa n dibe 1 ji ber windabûna dorpêçkirina qada magnetîkî.Ger di dendikên hêza nizm de, vekêşana gazê bi îyonên gazê yên ku di moda dakêşana pulsî ya normal de ye tê destnîşankirin;heke di dendikên hêza bilind de, rêjeya îyonên metal di plazmayê de zêde dibe û hin materyal diguhezin, ango di moda xwe-pifandinê de ye, ango plazma bi iyonîzasyona pariyên bêalî û îyonên metal ên duyemîn û atomên gaza bêserûber tê parastin. wekî Ar tenê ji bo şewitandina plazmayê têne bikar anîn, piştî wê jî perçeyên metalê yên rijandin li nêzikî armancê iyonîze dibin û vedigerin lezê da ku hedefa şilbûyî di bin çalakiya zeviyên magnetîkî û elektrîkî de were bombebaran kirin da ku vekêşana heyama bilind biparêze, û plazma pir zêde ye. perçeyên metal ên îyonîzekirî.Ji ber pêvajoya şilkirina bandora germkirinê ya li ser armancê, ji bo ku di sepanên pîşesaziyê de xebata aram a armancê were misoger kirin, tîrêjiya hêzê ku rasterast li ser armancê tê sepandin nikare pir mezin be, bi gelemperî sarbûna avê rasterast û gihandina germê ya materyalê armanc. divê di binê 25 W / cm2 de bin, sarbûna avê nerasterast be, gihandina germê ya materyalê armanc nebaş e, materyalê armancê ku ji ber perçebûna ji ber stresa germê ve hatî çêkirin an jî materyalê armancê pêkhateyên alloyeya guhezbar kêm dihewîne û rewşên din ên tîrbûna hêzê tenê dikarin di nav de bin. 2 ~ 15 W / cm2 li jêr, pir li jêr daxwazên dendika hêza bilind.Pirsgirêka zêde germbûna armancê bi karanîna pêlên hêza bilind a pir teng dikare were çareser kirin.Anders sputterkirina magnetronê ya bi hêz-bilind wekî celebek rijandina pêlêdanî pênase dike ku tê de lûtkeya lûtkeya hêza hêza navîn 2 û 3 rêzan ji mezinahîyê derbas dike, û îyona îyonê ya armanc li ser pêvajoya rijandinê serdest e, û atomên rijandina armancê pir ji hev veqetandî ne. .
No.2 Taybetmendiyên depokirina pêlêdana pêlêdana magnetron a bi hêz a bilind
Sputterkirina magnetronê ya pêlkirî ya bi hêzek bilind dikare plasma bi rêjeya veqetandinê û enerjiya îyonê ya bilind hilberîne, û dikare zexta biasê bicîh bîne da ku îyonên barkirî bilezîne, û pêvajoya hilweşandina pêlavê ji hêla perçeyên enerjiya bilind ve, ku teknolojiyek IPVD-ya tîpîk e, tê bombebaran kirin.Enerjî û belavkirina ion bandorek pir girîng li ser kalîte û performansa cilê heye.
Di derbarê IPVD-ê de, li ser bingeha modela navdar a herêma strukturel a Thorton, Anders modelek herêmek avahîsaziyê ku tê de depokirina plazmayê û îyona îyonê vedihewîne pêşniyar kir, pêwendiya di navbera struktur û germahî û zexta hewayê de di modela devera avahîsaziyê ya Thorton de bi têkiliya di navbera strukturên pêvekirinê de dirêj kir. germahî û enerjiya îyonê, wekî ku di wêne 2-ê de tê xuyang kirin. Di bûyera rûxandina îyonê ya kêm enerjiyê de, strukturên pêçanê li gorî modela devera avahiya Thorton-ê ye.Bi zêdebûna germahiya dakêşanê re, derbasbûna ji herêma 1 (krîstalên fîberê yên qelsî) berbi herêma T (krîstalên tîrêjê yên hişk), herêma 2 (krîstalên stûnî) û herêma 3 (herêma ji nû ve krîstalîzasyonê);bi zêdekirina enerjiya îyonê re, germahiya derbasbûna ji herêma 1 bo herêma T, herêma 2 û herêma 3 kêm dibe.Krîstalên tîrêjê yên bilind û krîstalên stûnî dikarin di germahiya nizm de werin amadekirin.Dema ku enerjiya îyonên razandî di rêza 1-10 eV de zêde dibe, bombardimankirin û kişandina îyonan li ser rûbera xêzên razandî zêde dibe û qalindiya cil û bergan zêde dibe.
No.3 Amadekirina tebeqeya rûxandina hişk bi teknolojiya sputterkirina magnetron a pêlkirî ya bi hêz
Kişandina ku ji hêla teknolojiya şilkirina magnetronê ya pêlkirî ya bi hêzek bilind ve hatî amade kirin dentir e, bi taybetmendiyên mekanîkî yên çêtir û aramiya germahiya bilind.Wekî ku di Wêneyê 3-ê de tê xuyang kirin, pêlava TiAlN-ya adetî ya ku bi magnetronê tê rijandin avahiyek krîstalek stûnek e ku bi serhişkiya 30 GPa û modula Young 460 GPa ye;pêla HIPIMS-TiAlN serhişkiya 34 GPa ye dema ku modula Young 377 GPa ye;rêjeya di navbera serhişkî û modula Young de pîvana serhişkiya kincê ye.Zehmetiya bilind û modula Young piçûktir tê wateya hişkbûna çêtir.Çêkirina HIPIMS-TiAlN xwedan îstîqrara germahiya bilindtir e, digel qonaxa hexagonal AlN ku di pêlava TiAlN ya kevneşopî de piştî dermankirina germahiya bilind di 1,000 °C de ji bo 4 demjimêran diherike.Zehmetiya kincê di germahiya bilind de kêm dibe, di heman demê de pêlava HIPIMS-TiAlN piştî dermankirina germê di heman germahî û wextê de nayê guhertin.Pêvekirina HIPIMS-TiAlN di heman demê de ji pêlava kevneşopî germahiya destpêkê ya oksîdasyona germahiya bilind jî heye.Ji ber vê yekê, pêlava HIPIMS-TiAlN di amûrên qutkirina bilez de ji amûrên din ên pêçandî yên ku ji hêla pêvajoya PVD ve hatine amadekirin de performansa pir çêtir nîşan dide.
Dema şandinê: Nov-08-2022