No.1 Mabda'a awoodda sare ee garaaca magnetron
Farsamada xajinta magnetron ee awoodda sare leh waxay isticmaashaa awoodda garaaca wadnaha ugu sarreysa (2-3 amarrada cabbirka ka sarreeya xajinta magnetron-ka caadiga ah) iyo wareegga shaqada garaaca wadnaha hooseeya (0.5% -10%) si loo gaaro heerarka sare ee kala-soocidda birta (> 50%), kaas oo laga soo qaatay xayndaabka magnetron-ka ee hadda jira, sida lagu muujiyay Pic 1. jibbaarada nth ee danab ka soo baxa U, I = kUn (n waa mid joogto ah oo la xidhiidha qaab dhismeedka cathode, goobta magnetic iyo walxaha). Cufnaanta hoose ee tamarta (koronta yar) qiimaha n wuxuu badanaa ku jiraa inta u dhaxaysa 5 ilaa 15; iyadoo kororka qulqulka sii kordhaya, cufnaanta hadda iyo cufnaanta awoodda ayaa si degdeg ah u kordheysa, iyo koronta sare qiimaha n wuxuu noqonayaa 1 sababtoo ah luminta xannibaadda magnetic. Haddii cufnaanta korantadu yar tahay, dheecaanka gaaska waxaa lagu go'aamiyaa ions gaaska ee ku jira qaabka caadiga ah ee dareeraha garaaca; Haddii cufnaanta awoodda sare, saamiga ions birta ee plazma ayaa kordha iyo qaar ka mid ah alaabta beddelaan, taas oo ah in habka is-sputtering, ie Plasma waxaa lagu hayaa by ionization ee qayb dhexdhexaad ah sputtered iyo ions biraha sare, iyo atomyada gaaska inert sida Ar waxaa loo isticmaalaa oo kaliya in ay shido plazma ah, ka dib markii biraha sputtered ee bambooyin u dhow yihiin in la beegsado qaybo u dhow biraha la qarxiyey. bartilmaameedka sputtered hoos fal magnetic iyo beeraha korantada si ay u ilaaliyaan dheecaanka sare ee hadda jira, iyo balasmaha waa qayb biraha ionized sare. Sababo la xiriira geeddi-socodka sputtering saamaynta kulaylka on bartilmaameedka, si loo hubiyo in hawlgalka xasilloon ee bartilmaameedka ee codsiyada warshadaha, cufnaanta awoodda si toos ah loogu dabaqi doonaa bartilmaameedku ma noqon karto mid aad u weyn, guud ahaan si toos ah qaboojinta biyaha iyo bartilmaameedka qalabka kulaylka waa in kiiska 25 W / cm2 hoos, qaboojinta aan tooska ahayn biyaha, bartilmaameedka walxaha kulaylka conductivity waa liidata, bartilmaameedka walxuhu waxay ka kooban yihiin walxaha volati Kiisaska kale ee cufnaanta korantadu waxay noqon kartaa oo keliya 2 ~ 15 W / cm2 hoose, oo aad uga hooseeya shuruudaha cufnaanta awoodda sare. Dhibaatada kulaylka bartilmaameedka ah waxaa lagu xalin karaa iyadoo la adeegsanayo garaaca wadnaha sare ee cidhiidhiga ah. Anders waxa uu ku qeexaa xafida magnetron-ka awoodda sare leh sida nooc ka mid ah garaacista garaaca halkaas oo cufnaanta awoodda ugu sarreysa ay ka badan tahay celceliska cufnaanta awoodda 2 ilaa 3 amarrada cabbirka, iyo xajinta ion bartilmaameedka ayaa xukuma habka xajinta, iyo atamka xajinta bartilmaameedka ayaa si aad ah u kala qaybsan.
No.2 Astaamaha awoodda sare garaaca magnetron sputtering dhigaalka daahan
Xakamaynta magnetron ee awoodda sare leh waxay soo saari kartaa balaasmaha leh heerka kala qaybsanaanta sare iyo tamarta ion sare, waxayna codsan kartaa cadaadis eex ah si loo dardargeliyo ions ee la soo oogay, iyo habka dhigaalka daahanka waxaa qarxinaya qaybo tamar sare leh, taas oo ah tignoolajiyada caadiga ah ee IPVD. Tamarta ion iyo qaybinta ayaa saameyn aad u muhiim ah ku leh tayada dahaarka iyo waxqabadka.
Ku saabsan IPVD, oo ku salaysan qaabka caanka ah ee Thorton qaab dhismeedka gobolka, Anders wuxuu soo jeediyay qaab dhismeed gobolka ah oo ay ku jiraan kaydinta plasma iyo ion etching, waxay kordhiyeen xiriirka ka dhexeeya qaab dhismeedka daahan iyo heerkulka iyo cadaadiska hawada ee qaabka gobolka Thorton ee xiriirka ka dhexeeya qaab dhismeedka daahan, heerkulka iyo tamarta ion, sida lagu muujiyay sawirka 2. Xaaladda tamarta hoose ee qaabdhismeedka ion qaab dhismeedka qaab dhismeedka aagga Thorton. Iyada oo korodhka heerkulka kaydinta, kala-guurka ka imanaya gobolka 1 (kareemada fiyuuska dabacsan ee dabacsan) ilaa gobolka T (kiristaalo fiber cufan), gobolka 2 (kiristaalo tiirarka) iyo gobolka 3 (gobolka recrystallization); iyada oo kororka tamarta ion-ku-dhigista, heerkulka kala-guurka ee gobolka 1 ilaa gobolka T, gobolka 2 iyo gobolka 3 ayaa hoos u dhacaya. Kiristaalo fiber cufnaanta sare leh iyo kiristaalo columnar waxaa lagu diyaarin karaa heerkulka hoose. Marka tamarta ions kaydsan ay kordho nidaamka 1-10 eV, duqaynta iyo xoqidda ions ee dusha sare ee dahaarka la dhigo ayaa la wanaajiyaa waxaana la kordhiyaa dhumucda dahaarka.
No.3 Diyaarinta lakabka daahan adag by awood sare pulsed magnetron sputtering technology
Dahaarka ay diyaarisay tignoolajiyada xajinta magnetron ee awoodda sare leh waa cufan, oo leh astaamo farsamo oo wanaagsan iyo xasilloonida heerkulka sare. Sida ku cad Sawirka 3, daahan magnetron-ka caadiga ah ee TiAlN ee dahaadhka ah waa qaab-dhismeedka crystal-ka leh ee engegnaanta 30 GPa iyo modules-ka dhallinta ee 460 GPa; dahaarka HIPIMS-TiAlN waa 34 GBa engegnaanta halka modules-ka dhallintu uu yahay 377 GPa; saamiga u dhexeeya engegnaanta iyo modules Young waa cabbirka adag ee daahan. Qalafsanaanta sarraysa iyo moodeelka da'yarta oo yaraada waxay ka dhigan tahay adkaansho wanaagsan. Daahanka HIPIMS-TiAlN wuxuu leeyahay xasillooni heerkul sare oo ka wanaagsan, iyadoo wejiga AlN ee laba geesoodka ah uu ku dahaadhay daahanka caadiga ah ee TiAlN ka dib daawaynta heerkulka sare ee 1,000 °C muddo 4 saacadood ah. Adkeydka dahaarka ayaa hoos u dhiga heerkulka sare, halka daahan HIPIMS-TiAlN uu yahay mid aan isbeddelin ka dib daaweynta kulaylka isla heerkul iyo waqti isku mid ah. Daahan HIPIMS-TiAlN sidoo kale wuxuu leeyahay heerkul bilawga sare ee oksaydhaynta heerkulka sare marka loo eego daahan caadiga ah. Sidaa darteed, dahaarka HIPIMS-TiAlN wuxuu muujinayaa waxqabad aad uga wanaagsan qalabka goynta xawaaraha sare leh marka loo eego aaladaha kale ee dahaarka leh ee ay diyaariyeen habka PVD.
Waqtiga boostada: Nov-08-2022