Karakterizacija optičnih tankih filmov vključuje karakterizacijo optičnih lastnosti, optičnih parametrov in neoptičnih lastnosti, pri čemer se optične lastnosti nanašajo predvsem na spektralno odbojnost, prepustnost in optične izgube (izgube zaradi absorpcije in odbojnosti) optičnih tankih filmov. Prepustnost in odbojnost sta najosnovnejši optični lastnosti optičnih tankih filmov, zato je testiranje prepustnosti in odbojnosti tankih filmov osnovna tehnika testiranja optičnih tankih filmov. Optični parametri optičnih tankih filmov vključujejo lomni količnik, absorpcijski koeficient in debelino filma. Zaradi stehiometričnega odstopanja v materialnih komponentah optičnih tankih filmov, pripravljenih med dejanskim postopkom, struktura ni več homogena in gosta, temveč so prisotne mikrostrukture in različne napake, dielektrična plast filma ni več popolnoma prozorna in absorpcija je šibka, hkrati pa sta prisotni prostorska neenakomernost in fazna anizotropija v lomnem količniku filma, film pa ni več neskončen in gladek vmesnik. Še pomembneje je, da imajo parametri postopka priprave filma v dejanskem postopku priprave zelo velik vpliv na optične parametre filma, zato je potrditev optičnih parametrov filma v realnem času zelo pomembna. Poleg tega mora optični tanki film kot naprava, ki se uporablja v dejanskem okolju, poleg optičnih lastnosti naprave izpolnjevati zahteve, obstaja še veliko drugih pomembnih neoptičnih lastnosti, ki vplivajo na uporabo filma, kot so oprijem filma, napetost filma, trdota filma in hrapavost površine ter sposobnost filma, da prenese okolje itd. Zato je pomembno natančno izmeriti vse različne parametre ali značilnosti, ki vplivajo na uporabo tankih naprav.
Prepustnost in odbojnost tankih filmov se v glavnem testirata s spektralnimi testnimi analizatorji. Spektralne analizatorje za optično testiranje filmov lahko glede na različne testne pasove razdelimo na UV-Vis spektrofotometre, infrardeče spektrofotometre in infrardeče Fourierjeve spektrometre. Prva dva uporabljata načelo spektralne spektroskopije za analizo in testiranje, slednji pa temelji na načelu interferenčnega spektralnega sistema za analizo. Zaradi različnih geometrijskih struktur in oblik tankoplastnih naprav so lahko meritve prepustnosti in odbojnosti sicer vse, vendar za različne oblike, različne natančnosti ali različne zahteve glede polarizacije, potrebne različne preskusne metode in tehnike.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 3. november 2023