Свакуумное напылительное оборудованиеработает в условиях вакуума, оборудование должно соответствовать требованиям вакуума для окружающей среды. Отраслевые стандарты для различных типов вакуумного оборудования для нанесения покрытий, разработанные в моей стране (включая общие технические условия для вакуумного оборудования для нанесения покрытий, оборудования для нанесения ионного покрытия в вакууме, оборудования для нанесения покрытий методом вакуумного распыления и оборудования для нанесения покрытий методом вакуумного испарения), четко оговаривают экологические требования. Только при соблюдении экологических требований к вакуумному оборудованию для нанесения покрытий оборудование может работать нормально, а при правильном процессе нанесения покрытия можно производить качественные покрытия.
Требования к вакуумной среде обычно включают требования вакуумного оборудования к окружающей среде, такие как температура лаборатории (или мастерской), скудная прибыль в воздухе и требования к деталям или поверхностям в состоянии вакуума или в вакууме. Эти два аспекта тесно связаны. Качество окружающей среды напрямую влияет на нормальное использование вакуумного оборудования, а то, очищена ли вакуумная камера вакуумного оборудования или загруженные в нее детали, напрямую влияет на производительность оборудования. Если воздух содержит много водяного пара и пыли, а вакуумная камера не была очищена, трудно достичь желаемой степени вакуума, используя механический насос с масляным уплотнением для откачки воздуха. Как мы все знаем, механические насосы с масляным уплотнением не подходят для откачки газов, которые коррозионны по отношению к металлам, химически реагируют с вакуумным маслом и содержат твердые частицы пыли. Водяной пар является конденсируемым газом. Когда насос откачивает большое количество конденсируемого газа, загрязнение масла насоса будет более серьезным. В результате этого снизится предельный вакуум насоса и ухудшатся его производительность.
Нормальные условия работы вакуумного напылительного оборудования:
① Температура окружающей среды 10~30℃;
② Относительная влажность воздуха не более 70%;
③ Температура охлаждающей воды на входе не выше 25°C;
④ Качество охлаждающей воды Городская водопроводная вода или вода эквивалентного качества;
⑤Напряжение электропитания: 380 В, трехфазное 50 Гц или 220 В, однофазное 50 Гц (в зависимости от потребностей используемых электроприборов), диапазон колебаний напряжения 342~399 В или 198~231 В, диапазон колебаний частоты 49~51 Гц;
⑥Давление, температура и расход должны быть указаны в инструкции по эксплуатации изделия;
⑦ Окружающая среда вокруг оборудования и воздух должны быть чистыми, не должно быть пыли или газа, которые могут вызвать поверхностную коррозию электроприборов и других металлических деталей или вызвать электропроводность между металлами.
Кроме того, лаборатория или мастерская, где находится оборудование для вакуумного покрытия, должны содержаться в чистоте и гигиене. Пол должен быть мощеным или деревянным, без пыли. Чтобы предотвратить загрязнение лабораторной среды газом, выбрасываемым механическим насосом, его можно использовать на выпускном отверстии насоса. Установите выпускную трубу (металлическую, резиновую) на поверхности для вывода газа наружу.
Время публикации: 17 марта 2023 г.