Характеристика оптической тонкой пленки включает характеристику оптических свойств, оптических параметров и неоптических свойств, оптические свойства в основном относятся к спектральному отражению, пропусканию и оптическим потерям (потери поглощения и потери отражения) оптической тонкой пленки. Пропускание и отражение являются самыми основными оптическими свойствами оптических тонких пленок, поэтому тестирование пропускания и отражения тонкой пленки является основным методом тестирования оптических тонких пленок. Оптические параметры оптической тонкой пленки включают показатель преломления, коэффициент поглощения и толщину пленки оптической тонкой пленки. Из-за стехиометрического отклонения в материальных компонентах оптической тонкой пленки, подготовленной реальным процессом, структура больше не является однородной и плотной, а есть микроструктуры и различные дефекты, слой диэлектрической пленки больше не является полностью прозрачным, и есть слабое поглощение, в то время как есть пространственная неоднородность и фазовая анизотропия в показателе преломления пленки, и пленка больше не является бесконечным и гладким интерфейсом. Что еще более важно, в реальном процессе подготовки параметры процесса подготовки пленки оказывают очень большое влияние на оптические параметры пленки, поэтому подтверждение оптических параметров пленки в реальном времени очень важно. Кроме того, оптическая тонкая пленка как устройство, используемое в реальной среде, в дополнение к оптическим характеристикам устройства должна соответствовать требованиям, у пленки есть много других важных неоптических характеристик, влияющих на использование пленки, таких как адгезия пленки, напряжение пленки, твердость пленки и шероховатость поверхности, а также способность пленки выдерживать окружающую среду и т. д. Поэтому важно точно измерять все различные параметры или характеристики, которые влияют на использование тонкопленочных устройств.
Пропускание и отражение тонких пленок в основном проверяются с помощью спектральных тестовых анализаторов. Спектральные анализаторы для оптического тестирования пленок можно разделить на спектрофотометры UV-Vis, инфракрасные спектрофотометры и инфракрасные Фурье-спектрометры в соответствии с различными тестовыми диапазонами. Первые два используют спектральный спектроскопический принцип анализа и системы тестирования, последний основан на принципе интерференционной спектральной системы анализа. Из-за различных геометрических структур и форм тонкопленочных устройств, хотя все измерения пропускания и отражения, но для разных форм, разной точности или разных требований к поляризации, могут потребовать разных методов и приемов тестирования.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 03.11.2023