Requisitos ambientais para equipamentos de revestimento a vácuo

Desdeequipamento de revestimento a vácuoPara operar em condições de vácuo, o equipamento deve atender aos requisitos de vácuo para o ambiente. As normas industriais para diversos tipos de equipamentos de revestimento a vácuo formuladas em meu país (incluindo as condições técnicas gerais para equipamentos de revestimento a vácuo, equipamentos de revestimento iônico a vácuo, equipamentos de revestimento por pulverização catódica a vácuo e equipamentos de revestimento por evaporação a vácuo) estipulam claramente os requisitos ambientais. Somente atendendo aos requisitos ambientais do equipamento de revestimento a vácuo é que ele pode operar normalmente e, com o processo de revestimento correto, é possível produzir produtos de revestimento qualificados.

Os requisitos do ambiente de vácuo geralmente incluem os requisitos do equipamento de vácuo para o ambiente circundante, como a temperatura do laboratório (ou oficina), a baixa pressão no ar e os requisitos para peças ou superfícies em estado de vácuo ou em vácuo. Esses dois aspectos estão intimamente relacionados. A qualidade do ambiente circundante afeta diretamente o uso normal do equipamento de vácuo, e a limpeza da câmara de vácuo do equipamento de vácuo ou das peças carregadas nela afeta diretamente o desempenho do equipamento. Se o ar contiver muito vapor d'água e poeira, e a câmara de vácuo não tiver sido limpa, é difícil atingir o grau de vácuo desejado usando uma bomba mecânica selada a óleo para bombear o ar. Como todos sabemos, as bombas mecânicas seladas a óleo não são adequadas para bombear gases corrosivos para metais, quimicamente reativos ao óleo de vácuo e que contenham poeira particulada. O vapor d'água é um gás condensável. Quando a bomba bombeia uma grande quantidade de gás condensável, a poluição do óleo da bomba será mais grave. Como resultado, o vácuo final da bomba cairá e o desempenho de bombeamento da bomba será destruído.

As condições normais de trabalho do equipamento de revestimento a vácuo são:

① Temperatura ambiente 10~30℃;

② A umidade relativa não é superior a 70%;

③ A temperatura de entrada da água de resfriamento não é superior a 25°C;

④ Qualidade da água de resfriamento Água da torneira da cidade ou água de qualidade equivalente;

⑤Tensão de alimentação: 380 V, trifásico 50 Hz ou 220 V, monofásico 50 Hz (dependendo das necessidades dos aparelhos elétricos utilizados), faixa de flutuação de tensão 342 ~ 399 V ou 198 ~ 231 V, faixa de flutuação de frequência 49 ~ 51 Hz;

⑥A pressão, temperatura e consumo devem ser indicados no manual de instruções do produto;

⑦ O ambiente ao redor do equipamento deve estar limpo e o ar deve estar limpo, e não deve haver poeira ou gás que possam causar corrosão da superfície de aparelhos elétricos e outras peças metálicas ou causar condução elétrica entre metais.

Além disso, o laboratório ou oficina onde o equipamento de revestimento a vácuo está localizado deve ser mantido limpo e higiênico. O piso deve ser de granilite ou madeira pintada, livre de poeira. Para evitar que o gás descarregado pela bomba mecânica polua o ambiente do laboratório, ela pode ser usada na porta de exaustão da bomba. Instale um tubo de exaustão (metal ou borracha) na superfície para descarregar o gás para fora.