Caracterização de filmes finos ópticos

A caracterização de filmes finos ópticos inclui a caracterização de propriedades ópticas, parâmetros ópticos e propriedades não ópticas. As propriedades ópticas referem-se principalmente às propriedades de reflectância espectral, transmitância e perda óptica (perda de absorção e perda de reflexão) de filmes finos ópticos. A transmitância e a reflectância são as propriedades ópticas mais básicas de filmes finos ópticos, portanto, o teste de transmitância e reflectância de filmes finos é a técnica básica de teste para filmes finos ópticos. Os parâmetros ópticos de filmes finos ópticos incluem índice de refração, coeficiente de absorção e espessura do filme de filme fino óptico. Devido ao desvio estequiométrico nos componentes materiais do filme fino óptico preparado pelo processo real, a estrutura não é mais homogênea e densa, mas existem microestruturas e vários defeitos, a camada de filme dielétrico não é mais completamente transparente e há uma absorção fraca, enquanto há não uniformidade espacial e anisotropia de fase no índice de refração do filme, e o filme não é mais uma interface infinita e suave. Mais importante ainda, no processo de preparação propriamente dito, os parâmetros do processo de preparação do filme têm um impacto muito grande nos parâmetros ópticos do filme, portanto, a confirmação em tempo real dos parâmetros ópticos do filme é muito crítica. Além disso, como dispositivos utilizados em ambientes reais, além das características ópticas do dispositivo, o filme possui muitas outras características não ópticas importantes que afetam o uso do filme, como adesão, tensão, dureza e rugosidade da superfície, capacidade do filme de resistir às condições ambientais, entre outras. Portanto, é importante medir com precisão todos os parâmetros ou características que afetam o uso de dispositivos de filme fino.

A transmitância e a reflectância de filmes finos são testadas principalmente com analisadores de teste espectral. Os analisadores espectrais para testes ópticos de filmes podem ser divididos em espectrofotômetros UV-Vis, espectrofotômetros infravermelhos e espectrômetros infravermelhos de Fourier, de acordo com as diferentes bandas de teste. Os dois primeiros utilizam o princípio de análise e teste da espectroscopia espectral, enquanto o último se baseia no princípio da análise espectral de interferência. Devido às diferentes estruturas geométricas e formas dos dispositivos de filme fino, embora todas as medições de transmitância e reflectância sejam realizadas, podem exigir diferentes métodos e técnicas de teste para diferentes formas, diferentes precisões ou diferentes requisitos de polarização.

–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua