A linha de revestimento adota estrutura modular, que permite aumentar a câmara de acordo com os requisitos do processo e de eficiência, e pode ser revestida em ambos os lados, o que é flexível e conveniente. Equipada com sistema de limpeza iônica, sistema de aquecimento rápido e sistema de pulverização catódica por magnetron CC, pode depositar com eficiência revestimentos metálicos simples. O equipamento possui batimento rápido, fixação conveniente e alta eficiência.
A linha de revestimento é equipada com sistema de limpeza iônica e cozimento em alta temperatura, o que melhora a adesão do filme depositado. A pulverização catódica de pequeno ângulo com alvo rotativo é favorável à deposição do filme na superfície interna de pequena abertura.
1. O equipamento possui estrutura compacta e pequena área de piso.
2. O sistema de vácuo é equipado com bomba molecular para extração de ar, com baixo consumo de energia.
3. O retorno automático do suporte de material economiza mão de obra.
4. Os parâmetros do processo podem ser rastreados e o processo de produção pode ser monitorado em todo o processo para facilitar o rastreamento de defeitos de produção.
5. A linha de revestimento possui alto grau de automação. Pode ser usada com o manipulador para conectar os processos frontal e traseiro, reduzindo o custo de mão de obra.
Pode substituir a impressão de pasta de prata no processo de fabricação de capacitores, com maior eficiência e menor custo.
É aplicável a Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn e outros metais simples. Tem sido amplamente utilizado em componentes eletrônicos semicondutores, como substratos cerâmicos, capacitores cerâmicos, suportes cerâmicos de LED, etc.