Miljøkrav for vakuumbeleggutstyr

SidenvakuumbeleggsutstyrHvis utstyret fungerer under vakuumforhold, må det oppfylle kravene til vakuum for miljøet. Industristandardene for ulike typer vakuumbeleggsutstyr som er formulert i mitt land (inkludert generelle tekniske betingelser for vakuumbeleggsutstyr, vakuumionbeleggsutstyr, vakuumsputterbeleggsutstyr og vakuumfordampningsbeleggsutstyr) har tydelig fastsatt miljøkrav. Bare ved å oppfylle miljøkravene til vakuumbeleggsutstyret kan utstyret fungere normalt, og med riktig beleggprosess kan kvalifiserte beleggsprodukter produseres.

Kravene til vakuummiljøet inkluderer generelt kravene til vakuumutstyret i det omkringliggende miljøet, som temperaturen i laboratoriet (eller verkstedet), den lave luftfortjenesten, og kravene til deler eller overflater i vakuumtilstand eller i vakuum. Disse to aspektene er nært beslektet. Kvaliteten på det omkringliggende miljøet påvirker direkte normal bruk av vakuumutstyret, og hvorvidt vakuumkammeret til vakuumutstyret eller delene som er lastet i det rengjøres, påvirker direkte utstyrets ytelse. Hvis luften inneholder mye vanndamp og støv, og vakuumkammeret ikke er rengjort, er det vanskelig å oppnå ønsket vakuumgrad ved å bruke en oljeforseglet mekanisk pumpe til å pumpe luft. Som vi alle vet, er oljeforseglede mekaniske pumper ikke egnet for å pumpe gasser som er korroderende for metaller, kjemisk reaktive med vakuumolje og inneholder partikkelformet støv. Vanndamp er en kondenserbar gass. Når pumpen pumper ut en stor mengde kondenserbar gass, vil forurensningen av pumpeoljen bli mer alvorlig. Som et resultat vil pumpens endelige vakuum synke, og pumpens pumpeytelse vil bli ødelagt.

De normale arbeidsforholdene for vakuumbeleggsutstyr er:

① Omgivelsestemperatur 10~30 ℃;

② Den relative fuktigheten er ikke mer enn 70 %;

③ Kjølevannsinnløpstemperaturen er ikke høyere enn 25 °C;

④ Kjølevannskvalitet Byvann fra springen eller vann av tilsvarende kvalitet;

⑤Strømforsyningsspenning: 380V, trefase 50Hz eller 220V, enfase 50Hz (avhengig av behovene til de elektriske apparatene som brukes), spenningsvariasjonsområde 342~399V eller 198~231V, frekvensvariasjonsområde 49~51Hz;

⑥ Trykk, temperatur og forbruk skal oppgis i produktets bruksanvisning;

⑦ Miljøet rundt utstyret er rent og luften er ren, og det skal ikke være støv eller gass som kan forårsake overflatekorrosjon av elektriske apparater og andre metalldeler eller forårsake elektrisk ledning mellom metaller.

I tillegg bør laboratoriet eller verkstedet der vakuumbeleggsutstyret er plassert holdes rent og hygienisk. Gulvet er terrazzo- eller tremalt gulv, støvfritt. For å forhindre at gassen som slippes ut fra den mekaniske pumpen forurenser laboratoriemiljøet, kan den brukes ved pumpens eksosport. Installer et eksosrør (metall-, gummirør) på overflaten for å slippe ut gassen utenfra.