Karakterisering av optisk tynnfilm inkluderer karakterisering av optiske egenskaper, optiske parametere og ikke-optiske egenskaper. De optiske egenskapene refererer hovedsakelig til spektral reflektans, transmittans og optisk tap (absorpsjonstap og refleksjonstap) til optisk tynnfilm. Transmittans og reflektans er de mest grunnleggende optiske egenskapene til optiske tynnfilmer, så testing av tynnfilms transmittans og reflektans er den grunnleggende testteknikken for optiske tynnfilmer. Optiske parametere for optisk tynnfilm inkluderer brytningsindeks, absorpsjonskoeffisient og filmtykkelse til den optiske tynnfilmen. På grunn av det støkiometriske avviket i materialkomponentene i den optiske tynnfilmen som fremstilles ved selve prosessen, er strukturen ikke lenger homogen og tett, men det er mikrostrukturer og forskjellige defekter, det dielektriske filmlaget er ikke lenger helt gjennomsiktig, og det er svak absorpsjon, mens det er romlig ujevnhet og faseanisotropi i filmens brytningsindeks, og filmen er ikke lenger et uendelig og glatt grensesnitt. Enda viktigere er det at parametrene i filmens forberedelsesprosess har stor innvirkning på filmens optiske parametere i selve forberedelsesprosessen, så sanntidsbekreftelse av filmens optiske parametere er svært kritisk. I tillegg til at den optiske tynnfilmen som en enhet som brukes i det faktiske miljøet, må enheten oppfylle kravene til de optiske egenskapene. Filmen har også mange andre viktige ikke-optiske egenskaper som påvirker bruken av filmen, for eksempel filmens heft, filmspenning, filmens hardhet og overflateruhet, samt filmens evne til å tåle miljøet. Derfor er det viktig å måle alle de ulike parameterne eller egenskapene som påvirker bruken av tynnfilmenheter nøyaktig.
Transmittans og reflektans i tynne filmer testes hovedsakelig ved hjelp av spektrale testanalysatorer. Spektralanalysatorer for optisk filmtesting kan deles inn i UV-Vis-spektrofotometre, infrarøde spektrofotometre og infrarøde Fourier-spektrometre i henhold til de forskjellige testbåndene. De to første bruker spektralspektroskopiprinsippet for analyse og testing, sistnevnte er basert på prinsippet om interferensspektralt analysesystem. På grunn av de forskjellige geometriske strukturene og formene til tynnfilmenheter, selv om alle transmittans- og reflektansmålinger, men for forskjellige former, ulik presisjon eller forskjellige polarisasjonskrav, kan kreve forskjellige testmetoder og teknikker.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 03. november 2023