De karakterisering van optische dunne film omvat de karakterisering van optische eigenschappen, optische parameters en niet-optische eigenschappen. De optische eigenschappen hebben voornamelijk betrekking op de spectrale reflectie, transmissie en optische verliezen (absorptieverlies en reflectieverlies) van optische dunne film. Transmissie en reflectie zijn de meest basale optische eigenschappen van optische dunne films, dus het testen van dunne filmtransmissie en reflectie is de basistesttechniek voor optische dunne films. Optische parameters van optische dunne film omvatten de brekingsindex, absorptiecoëfficiënt en filmdikte van optische dunne film. Vanwege de stoichiometrische afwijking in de materiaalcomponenten van de optische dunne film die door het eigenlijke proces is bereid, is de structuur niet langer homogeen en dicht, maar zijn er microstructuren en verschillende defecten, is de diëlektrische filmlaag niet langer volledig transparant en is er een zwakke absorptie, terwijl er ruimtelijke niet-uniformiteit en fase-anisotropie in de brekingsindex van de film is, en is de film niet langer een oneindige en gladde interface. Belangrijker nog, in het daadwerkelijke voorbereidingsproces hebben de parameters van het filmvoorbereidingsproces een zeer grote invloed op de optische parameters van de film. Realtime bevestiging van de optische parameters van de film is daarom van cruciaal belang. Naast de optische eigenschappen van de optische dunne film als apparaat in de werkelijke omgeving, moet het apparaat aan de eisen voldoen. Daarnaast zijn er vele andere belangrijke niet-optische eigenschappen die van invloed zijn op het gebruik van de film, zoals filmhechting, filmspanning, filmhardheid en oppervlakteruwheid, en de bestendigheid van de film tegen de omgeving, enzovoort. Daarom is het belangrijk om alle verschillende parameters of kenmerken die van invloed zijn op het gebruik van dunnefilmapparaten nauwkeurig te meten.
De transmissie en reflectie van dunne films worden voornamelijk getest met behulp van spectrale testanalysatoren. Spectrale analysatoren voor het testen van optische films kunnen worden onderverdeeld in UV-Vis-spectrofotometers, infraroodspectrofotometers en infrarood-Fourierspectrometers, afhankelijk van de verschillende testbanden. De eerste twee gebruiken het principe van spectrale spectroscopie voor analyse en testen, de laatste is gebaseerd op het principe van interferentiespectraalanalyse. Vanwege de verschillende geometrische structuren en vormen van dunnefilmapparaten, kunnen alle transmissie- en reflectiemetingen, maar voor verschillende vormen, verschillende precisie- of polarisatievereisten, verschillende testmethoden en -technieken vereisen.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 3 november 2023