Hollow cathode arc light ကို မီးလောင်ကျွမ်းရန် အောက်ပါအခြေအနေများ လိုအပ်ပါသည်။
- တန်တလမ်ပြွန်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော အခေါင်းပေါက် cathode သေနတ်ကို အပေါ်ယံအခန်းနံရံတွင် တပ်ဆင်ထားပြီး ပူပြင်းသော အီလက်ထရွန် စီးဆင်းမှုကို ထုတ်လွှတ်ရန်အတွက် အသုံးပြုနိုင်သည်။ ပြားပြွန်၏အတွင်းပိုင်းအချင်းမှာ φ 6 ~ φ 15mm ဖြစ်ပြီး နံရံအထူမှာ 0.8-2mm ဖြစ်သည်။
- ပါဝါထောက်ပံ့မှုကို အပြိုင်စတင်သည့် ပါဝါထောက်ပံ့မှုနှင့် ပါဝါထောက်ပံ့မှုအား ထိန်းညှိပေးသည့် arc တို့ဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ arc striking power supply ၏ဗို့အား 800-1000V ဖြစ်ပြီး arc striking current သည် 30-50A; arc ဗို့အားမှာ 40-70V ဖြစ်ပြီး arc current သည် 80-300A ဖြစ်သည်။
အခေါင်းပေါက် cathode arc discharge လုပ်ငန်းစဉ်သည် "volt ampere characteristic curve" တွင် ပုံမှန်မဟုတ်သော glow discharge မှ arc discharge သို့ ပြောင်းလဲခြင်းဖြစ်စဉ်ကို လိုက်နာသည်။ ပထမဦးစွာ၊ တန်တလမ်ပြွန်အတွင်း တောက်ပသော ထုတ်လွှတ်မှုကို ထုတ်ပေးရန်အတွက် 800V စတင်ဗို့အား ပံ့ပိုးပေးရန် ပါဝါထောက်ပံ့မှု လိုအပ်သည်။ တန်တလမ်ပြွန်အတွင်းရှိ သိပ်သည်းဆမြင့်သော အာဂွန်အိုင်းယွန်းများကို ဗုံးကြဲပြီး ပြွန်ကို ပူသောအီလက်ထရွန်များ ထုတ်လွှတ်သည့် အပူချိန်သို့ အပူပေးကာ ပလာစမာအီလက်ထရွန်ပမာဏ အများအပြား စီးဆင်းကာ hollow cathode arc ၏ လျှပ်စီးကြောင်း ရုတ်တရက် မြင့်တက်လာသည်။ ထို့နောက် arc discharge ကို ထိန်းသိမ်းရန် မြင့်မားသော ပါဝါထောက်ပံ့မှုလည်း လိုအပ်ပါသည်။ glow discharge မှ arc discharge သို့ ပြောင်းလဲခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်သည် အလိုအလျောက်ဖြစ်ပြီး၊ ထို့ကြောင့် high voltage နှင့် high current နှစ်မျိုးလုံးထွက်နိုင်သော power supply ကို configure ပြုလုပ်ရန်လိုအပ်ပါသည်။
ဤလိုအပ်ချက်နှစ်ခုကို ပါဝါရင်းမြစ်တစ်ခုတည်းတွင် စုစည်းထားပါက၊ ပမာဏကြီးမားသော ပါဝါရင်းမြစ်ဖြစ်လာမည့် ဗို့အားမြင့်နှင့် လျှပ်စီးကြောင်းများကို ထုတ်ပေးရန်အတွက် အလှည့်များစွာအတွက် ပါဝါထရန်စဖော်မာ၏ အလယ်တန်းအထွက်အားသည် အလွန်ထူသော ဝါယာကြိုးများဖြင့် ဒဏ်ရာဖြစ်စေရပါမည်။ နှစ်ပေါင်းများစွာ တိုးတက်ကောင်းမွန်လာပြီးနောက်၊ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု arc ပါဝါထောက်ပံ့မှုနှင့်အတူ အသေးစား arc စတင်ပါဝါထောက်ပံ့မှုကို အပြိုင်ပြုလုပ်နိုင်သည်။ arc စတင်ပါဝါထောက်ပံ့မှုသည် အလှည့်အပြောင်းများစွာကို လေတိုက်ရန် ပါးလွှာသောဝိုင်ယာကြိုးများကိုအသုံးပြုသည်၊ ၎င်းသည် မြင့်မားသောဗို့အား 800V ကိုထုတ်ပေးနိုင်ပြီး တန်တလမ်ပြွန်များကို လောင်ကျွမ်းစေပြီး တောက်ပမှုထွက်လာစေရန်၊ arc power supply သည် hollow cathode arc discharge ၏တည်ငြိမ်မှုကိုထိန်းသိမ်းရန် အထူဝါယာကြိုးကို အကွေ့နည်းနည်းဖြင့် လှည့်ခြင်းဖြင့် ဆယ်ဗို့နှင့် ရာနှင့်ချီသော လျှပ်စီးကြောင်းများကို ထုတ်ပေးနိုင်သည်။ တန်တလမ်ပြွန်များပေါ်ရှိ ပါဝါထောက်ပံ့မှုနှစ်ခု၏ အပြိုင်ချိတ်ဆက်မှုကြောင့် ပုံမှန်မဟုတ်သော တောက်ပမှုမှ အငွေ့လွှတ်ခြင်းသို့ ပြောင်းလဲခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပါဝါထောက်ပံ့မှုနှစ်ခုသည် အလိုအလျောက်ချိတ်ဆက်ကာ မြင့်မားသောဗို့အားနှင့် အနိမ့်လျှပ်စီးကြောင်းမှ ဗို့အားနိမ့်နှင့် မြင့်မားသောလျှပ်စီးကြောင်းသို့ ပြောင်းလဲသွားမည်ဖြစ်သည်။
- လေဟာနယ်အဆင့်ကို အမြန်ချိန်ညှိပါ။ တန်တလမ်ပြွန်များတွင် တောက်ပသောအထွက်နှုန်းအတွက် လေဟာနယ်အဆင့်သည် 100Pa ဝန်းကျင်ဖြစ်ပြီး၊ ထိုကဲ့သို့ လေဟာနယ်နည်းပါးသောအခြေအနေအောက်တွင် စုဆောင်းထားသော ဖလင်ဖွဲ့စည်းပုံသည် မလွှဲမရှောင်သာ ကြမ်းသည်။ ထို့ကြောင့်၊ arc discharge ကိုမီးလောင်ကျွမ်းပြီးနောက်၊ ကောင်းသောကနဦးဖလင်ဖွဲ့စည်းပုံရရှိရန် လေဟာနယ်ပမာဏကိုချက်ချင်းလျှော့ချပြီး လေဟာနယ်အဆင့်ကို 8×10-1~2Pa သို့ လျင်မြန်စွာချိန်ညှိရန် လိုအပ်ပါသည်။
- workpiece turntable ကို coating chamber ပတ်လည်တွင် တပ်ဆင်ထားပြီး workpiece ကို bias power supply ၏ negative pole နှင့် vacuum chamber နှင့် positive pole နှင့် ချိတ်ဆက်ထားသည်။ hollow cathode arc ၏မြင့်မားသောလက်ရှိသိပ်သည်းဆကြောင့်၊ ion coated workpiece ၏ဘက်လိုက်မှုဗို့အားသည် 1000V သို့ရောက်ရှိရန်မလိုအပ်ပါ၊ များသောအားဖြင့် 50-200V။
5. Gan ပြိုကျရာတစ်ဝိုက်တွင် အာရုံစူးစိုက်ထားသော လျှပ်စစ်သံလိုက်ကွိုင်တစ်ခုကို သတ်မှတ်ပါ၊ ကွိုင်သို့ လျှပ်စီးကြောင်းကို အသုံးချခြင်းဖြင့် ထုတ်ပေးသော လျှပ်စစ်သံလိုက်စက်ကွင်းသည် သတ္တုဝင်ပေါက်၏ အလယ်ဗဟိုတွင် အီလက်ထရွန်အလင်းတန်းကို အာရုံစူးစိုက်နိုင်ပြီး အီလက်ထရွန်စီးဆင်းမှု၏ ပါဝါသိပ်သည်းဆကို တိုးစေသည်။
စာတိုက်အချိန်- ဇူလိုင်-၂၀-၂၀၂၃