Içi boş katod ion örtüginiň şertleri

Içi boş katod ýaý çyrasyny ýakmak üçin aşakdaky şertler zerurdyr:

1. Tantal turbasyndan ýasalan boş katod top örtük kamerasynyň diwaryna oturdylýar we gyzgyn elektron akymyny çykarmak üçin ulanylyp bilner. Ýassy turbanyň içki diametri φ 6 ~ φ 15 mm, diwarynyň galyňlygy 0,8-2 mm.

1. Elektrik üpjünçiligi ýaý başlaýan elektrik üpjünçiliginden we parallel işleýän ýaý saklaýan elektrik üpjünçiliginden ybarat. Ýaý urýan elektrik üpjünçiliginiň naprýaženiýesi 800-1000V, ýaý urýan togy 30-50A; ýaý naprýaženiýesi 40-70V, ýaý togy bolsa 80-300A.

Içi boş katod ýaý boşadyş prosesi "wolt amper häsiýetli egri"-de adaty bolmadyk ýalpyldawuk boşadyşdan ýaý boşadyşyna öwrülmek prosesine eýerýär. Ilki bilen, tantal turbasynda ýalpyldawuk boşadyş döretmek üçin 800V başlangyç naprýaženiýesini üpjün etmek üçin elektrik üpjünçiligi gerek. Tantal turbasynyň içindäki ýokary dykyzlykdaky argon ionlary turbany gyzgyn elektronlaryň çykýan temperaturasyna çenli bombardman edýär we gyzdyrýar, netijede plazma elektron akymynyň köp mukdary we içi boş katod ýaýynyň akymynyň birden ýokarlanmagy ýüze çykýar. Soňra, ýaý boşadyşyny saklamak üçin ýokary tok energiýa üpjünçiligi hem gerek. Ýalpyldawuk boşadyşdan ýaý boşadyşyna öwrülmek prosesi awtomatiki, şonuň üçin ýokary naprýaženiýe we ýokary tok çykaryp bilýän elektrik üpjünçiligini sazlamak zerurdyr.

Eger bu iki talap bir energiýa çeşmesine jemlenen bolsa, güýçli transformatoryň ikinji çykyş ujuny ýokary woltly we ýokary tok çykarmak üçin köp öwrüm üçin örän galyň simler bilen sarmaly, bu bolsa uly göwrümli energiýa çeşmesi bolar. Ýyllarboýy kämilleşdirilenden soň, kiçi ýaý başlangyç energiýa üpjünçiligini tehniki ýaý energiýa üpjünçiligi bilen parallelleşdirmek mümkin. Ýaý başlangyç energiýa üpjünçiligi birnäçe öwrümleri sarmak üçin inçe simleri ulanýar, bu bolsa tantal turbalaryny ýakmak we ýalpyldawuk boşalmasyny döretmek üçin 800V ýokary woltly çykaryp biler; Ýaý energiýa üpjünçiligi boş katod ýaý boşalmasynyň durnuklylygyny saklamak üçin az öwrümli galyň simi sarmak arkaly onlarça wolt we ýüzlerçe amper tok çykaryp biler. Tantal turbalaryndaky iki energiýa üpjünçiliginiň parallel birikdirilmegi sebäpli, adatdan daşary ýalpyldawuk boşalmadan ýaý boşalmasyna geçmek prosesinde, iki energiýa üpjünçiligi awtomatiki usulda birikýär we ýokary woltly we pes tokdan pes woltly we ýokary toga geçýär.

1. Wakuum derejesini çalt sazlaň. Tantal turbalaryndaky ýalpyldawuk çykarylyşy üçin wakuum derejesi takmynan 100Pa bolýar we şeýle pes wakuum şertlerinde çökdürilen plýonka gurluşy hökman gödek bolýar. Şonuň üçin, ýaý çykarylyşyny ýakanyňyzdan soň, howa akymynyň mukdaryny derrew azaltmak we inçe başlangyç plýonka gurluşyny almak üçin wakuum derejesini çalt 8×10-1~2Pa-a çenli sazlamak zerurdyr.

1. Iş bölegi aýlanýan stol örtük kamerasynyň töweregine gurnalýar, iş bölegi gyşarnyk elektrik çeşmesiniň otrisatel polýusyna, wakuum kamerasy bolsa oňyn polýusa birikdirilendir. Içki boş katod ýaýynyň ýokary tok dykyzlygy sebäpli, ion bilen örtülen iş böleginiň gyşarnyk naprýaženiýesiniň 1000V-a ýetmeginiň zerurlygy ýok, adatça 50-200V bolýar.

5. Gan çökeltmesiniň töweregine fokuslaýjy elektromagnit spiral goýuň, spirala tok bermek arkaly döreýän elektromagnit meýdan elektron şöhlesini metal külçesiniň merkezine fokuslap, elektron akymynyň güýç dykyzlygyny artdyryp biler.