Àwọn ipò fún ìbòrí ion cathode oníhò

Àwọn ipò wọ̀nyí ni a nílò láti tan ìmọ́lẹ̀ arc cathode oníhò:

1. A fi ibọn katode oniho ti a fi paipu tantalum ṣe sori ogiri iyẹwu ti a fi bo, a si le lo lati tu ina elekitironi gbona jade. Iwọn ila opin inu ti paipu alapin jẹ φ 6~ φ 15mm, pẹlu sisanra ogiri ti 0.8-2mm.

1. Ipese agbara naa ni a ṣe pẹlu ipese agbara ibẹrẹ arc ati ipese agbara ti o n ṣetọju arc ni afiwe. Folti ti ipese agbara ikọlu arc jẹ 800-1000V, ati agbara ikọlu arc jẹ 30-50A; folti arc jẹ 40-70V, ati agbara iṣuu arc jẹ 80-300A.

Ìlànà ìtújáde arc cathode hollow náà tẹ̀lé ìlànà ìyípadà láti ìtújáde arc tí kò dára sí ìtújáde arc nínú “volt ampere characteristic curve”. Àkọ́kọ́, a nílò ìpèsè agbára láti pèsè fóltéèjì ìbẹ̀rẹ̀ 800V láti mú ìtújáde arc jáde nínú túbù tantalum. Àwọn ions argon oníwọ̀n gíga nínú bọ́mbà tantalum tube bombard wọ́n sì mú kí túbù náà gbóná sí iwọ̀n otútù níbi tí a ti ń tú àwọn elekitiron gbígbóná jáde, èyí tí ó ń yọrí sí iye ìṣàn elekitiron plasma púpọ̀ àti ìṣàn cathode hollow arc tí ó pọ̀ sí i lójijì. Lẹ́yìn náà, a nílò ìpèsè agbára oníwọ̀n gíga láti ṣe ìtọ́jú ìtújáde arc. Ìlànà ìyípadà láti ìtújáde arc sí ìtújáde arc jẹ́ aládàáṣe, nítorí náà ó ṣe pàtàkì láti ṣe àtúnṣe ìpèsè agbára kan tí ó lè mú voltage gíga àti ìtújáde gíga jáde.

Tí a bá kó àwọn ohun méjì wọ̀nyí jọ sórí orísun agbára kan ṣoṣo, a gbọ́dọ̀ fi àwọn wáyà tó nípọn tó wà ní apá kejì ti àyípadà agbára náà dì í fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìyípadà kí a lè mú fólítì gíga àti ìṣàn agbára gíga jáde, èyí tí yóò jẹ́ orísun agbára ńlá. Lẹ́yìn ọ̀pọ̀ ọdún tí a ti ṣe àtúnṣe, a lè ṣe àfikún ìpèsè agbára kékeré kan pẹ̀lú ìpèsè agbára arc tí ó ń ṣe àtúnṣe. Ipèsè agbára arc náà ń lo àwọn wáyà tín-tín láti máa yí ọ̀pọ̀ ìyípadà padà, èyí tí ó lè mú fólítì gíga ti 800V jáde láti mú kí àwọn túbù tantalum jóná kí ó sì mú kí ìtújáde ìmọ́lẹ̀ jáde; Ipèsè agbára arc náà lè mú mẹ́wàá volts àti ọgọ́rùn-ún amperes ti ìṣàn jáde nípa yíyí wáyà tí ó nípọn pẹ̀lú àwọn ìyípo díẹ̀ láti mú kí ìtújáde arc cathode tí ó ní ihò dúró ṣinṣin. Nítorí ìsopọ̀ onípele méjì ti àwọn ìpèsè agbára lórí àwọn túbù tantalum, nígbà tí a bá ń yí padà láti ìtújáde ìmọ́lẹ̀ tí kò dára sí ìtújáde agbára, àwọn ìpèsè agbára méjèèjì yóò sopọ̀ láìfọwọ́sowọ́pọ̀ kí wọ́n sì yípadà láti fólítì gíga àti ìṣàn kékeré sí fólítì kékeré àti ìṣàn gíga.

1. Ṣe àtúnṣe ìpele ìfọ́mọ́ kíákíá. Ìpele ìfọ́mọ́ fún ìfọ́mọ́ nínú àwọn páìpù tantalum jẹ́ nǹkan bí 100Pa, àti pé ìpele fíìmù tí a fi pamọ́ lábẹ́ irú ipò ìfọ́mọ́ kékeré bẹ́ẹ̀ kò ní láárí rárá. Nítorí náà, lẹ́yìn tí a bá ti tan ìfọ́mọ́ kíákíá, ó ṣe pàtàkì láti dín iye afẹ́fẹ́ tí ń ṣàn kù lẹ́sẹ̀kẹsẹ̀ kí a sì ṣe àtúnṣe ìpele ìfọ́mọ́ kíákíá sí 8×10-1~2Pa láti rí ìpele fíìmù àkọ́kọ́ tí ó dára.

1. A fi ẹ̀rọ ìṣiṣẹ́ náà sí àyíká yàrá ìbòrí, pẹ̀lú iṣẹ́ tí a so mọ́ ọ̀pá odi ti ipese agbara bias àti yàrá ìgbálẹ̀ tí a so mọ́ ọ̀pá rere. Nítorí pé agbára ìṣàn gíga ti arc cathode ihò náà ga, foliteji bias ti iṣẹ́ tí a fi ion bo kò nílò láti dé 1000V, nígbà gbogbo 50-200V.

5. Ṣeto okun onina itanna ti o fojusi ni ayika Gan ti o ṣubu, ati aaye onina itanna ti a ṣẹda nipasẹ lilo ina si okun naa le dojukọ itanna ina ni aarin ingot irin, ti o mu iwuwo agbara ti sisan elekitironi pọ si.