Kaayaan pikeun palapis ion katoda berongga

Kaayaan-kaayaan ieu diperyogikeun pikeun ngahurungkeun lampu busur katoda kosong:

1. Pistol katoda bolong anu didamel tina tabung tantalum dipasang dina témbok rohangan palapis sareng tiasa dianggo pikeun ngaluarkeun aliran éléktron panas. Diaméter jero tabung datar nyaéta φ 6 ~ φ 15mm, kalayan ketebalan témbok 0,8-2mm.

1. Catu daya diwangun ku catu daya pangaktif busur listrik sareng catu daya pangjaga busur listrik sacara paralel. Tegangan catu daya anu ngagebug busur listrik nyaéta 800-1000V, sareng arus anu ngagebug busur listrik nyaéta 30-50A; Tegangan busur listrik nyaéta 40-70V, sareng arus busur listrik nyaéta 80-300A.

Prosés ngaleupaskeun busur katoda kosong nuturkeun prosés konvérsi tina ngaleupaskeun cahaya anu teu normal ka ngaleupaskeun busur dina "kurva karakteristik volt ampere". Mimitina, catu daya diperyogikeun pikeun nyayogikeun tegangan awal 800V pikeun ngahasilkeun ngaleupaskeun cahaya dina tabung tantalum. Ion argon kapadetan luhur di jero tabung tantalum ngabombardir sareng manaskeun tabung kana suhu dimana éléktron panas dipancarkeun, ngahasilkeun seueur aliran éléktron plasma sareng paningkatan dadakan dina arus busur katoda kosong. Teras, catu daya arus anu luhur ogé diperyogikeun pikeun ngajaga ngaleupaskeun busur. Prosés konvérsi tina ngaleupaskeun cahaya ka ngaleupaskeun busur otomatis, janten perlu pikeun ngonpigurasikeun catu daya anu tiasa ngaluarkeun tegangan tinggi sareng arus tinggi.

Upami dua sarat ieu dipusatkeun kana hiji sumber daya, tungtung kaluaran sekundér tina transformator daya kedah dililit ku kabel anu kandel pisan pikeun seueur puteran supados tiasa ngahasilkeun tegangan tinggi sareng arus tinggi, anu bakal janten sumber daya volume ageung. Saatos mangtaun-taun perbaikan, dimungkinkeun pikeun ngajajarkeun catu daya awal busur leutik sareng catu daya busur pangropéa. Catu daya awal busur nganggo kabel ipis pikeun ngagulung sababaraha puteran, anu tiasa ngaluarkeun tegangan tinggi 800V pikeun ngahurungkeun tabung tantalum sareng ngahasilkeun debit cahaya; Catu daya busur tiasa ngaluarkeun puluhan volt sareng ratusan ampere arus ku cara ngagulung kawat kandel kalayan puteran anu langkung sakedik pikeun ngajaga stabilitas debit busur katoda kosong. Kusabab sambungan paralel dua catu daya dina tabung tantalum, salami prosés konvérsi tina debit cahaya anu teu normal ka debit busur, dua catu daya bakal otomatis nyambung sareng ngalih tina tegangan tinggi sareng arus rendah ka tegangan rendah sareng arus tinggi.

1. Atur tingkat vakumna gancang. Tingkat vakum pikeun debit cahaya dina tabung tantalum nyaéta sakitar 100Pa, sareng struktur pilem anu diendapkeun dina kaayaan vakum anu handap sapertos kitu pasti kasar. Ku alatan éta, saatos ngaduruk debit busur, perlu langsung ngirangan jumlah aliran hawa sareng gancang nyaluyukeun tingkat vakum ka 8 × 10-1 ~ 2Pa pikeun kéngingkeun struktur pilem awal anu saé.

1. Meja putar benda kerja dipasang di sakitar ruang palapis, kalayan benda kerja disambungkeun kana kutub négatif catu daya bias sareng ruang vakum disambungkeun kana kutub positif. Kusabab kapadetan arus anu luhur tina busur katoda berongga, tegangan bias benda kerja anu dilapis ion henteu kedah ngahontal 1000V, biasana 50-200V.

5. Setel kumparan éléktromagnétik fokus di sakitar runtuhna Gan, sareng médan éléktromagnétik anu dihasilkeun ku cara nerapkeun arus kana kumparan tiasa museurkeun sinar éléktron di tengah ingot logam, ningkatkeun kapadetan daya aliran éléktron.