Ang mosunod nga mga kondisyon gikinahanglan aron mapasiga ang hollow cathode arc light:
- Usa ka haw-ang nga cathode gun nga hinimo sa tantalum tube ang gibutang sa bungbong sa coating chamber ug magamit sa pagpagawas sa init nga electron flow. Ang sulod nga diametro sa patag nga tubo kay φ 6~ φ 15mm, nga may gibag-on sa bungbong nga 0.8-2mm.
- Ang power supply gilangkoban sa usa ka arc starting power supply ug usa ka arc maintaining power supply nga parallel. Ang boltahe sa arc striking power supply kay 800-1000V, ug ang arc striking current kay 30-50A; Ang arc voltage kay 40-70V, ug ang arc current kay 80-300A.
Ang proseso sa hollow cathode arc discharge nagsunod sa proseso sa pag-convert gikan sa abnormal glow discharge ngadto sa arc discharge sa "volt ampere characteristic curve". Una, gikinahanglan ang usa ka power supply aron makahatag og 800V starting voltage aron makamugna og glow discharge sa tantalum tube. Ang high-density argon ions sulod sa tantalum tube mobomba ug mopainit sa tube ngadto sa temperatura diin ang init nga mga electron mogawas, nga moresulta sa daghang plasma electron flow ug kalit nga pagtaas sa current sa hollow cathode arc. Dayon, gikinahanglan usab ang usa ka high current power supply aron mapadayon ang arc discharge. Ang proseso sa pag-convert gikan sa glow discharge ngadto sa arc discharge awtomatiko, busa gikinahanglan ang pag-configure sa usa ka power supply nga maka-output sa taas nga boltahe ug taas nga current.
Kon kining duha ka kinahanglanon ipunting sa usa lang ka tinubdan sa kuryente, ang ikaduhang output nga tumoy sa power transformer kinahanglan nga iputos sa baga kaayong mga alambre sulod sa daghang liko aron makapagawas og taas nga boltahe ug taas nga kuryente, nga mahimong usa ka dako nga tinubdan sa kuryente. Human sa mga katuigan nga pag-uswag, posible nga i-parallelize ang usa ka gamay nga arc starting power supply sa usa ka maintenance arc power supply. Ang arc starting power supply mogamit og nipis nga mga alambre aron iliko ang daghang liko, nga makapagawas og taas nga boltahe nga 800V aron pasigaon ang mga tantalum tube ug makamugna og glow discharge; Ang arc power supply makapagawas og napulo ka volts ug gatusan ka amperes nga kuryente pinaagi sa pagliko sa baga nga alambre nga adunay gamay nga liko aron mapadayon ang kalig-on sa hollow cathode arc discharge. Tungod sa parallel nga koneksyon sa duha ka power supply sa mga tantalum tube, atol sa proseso sa pag-convert gikan sa abnormal glow discharge ngadto sa arc discharge, ang duha ka power supply awtomatikong magkonektar ug mobalhin gikan sa taas nga boltahe ug ubos nga kuryente ngadto sa ubos nga boltahe ug taas nga kuryente.
- Dali nga i-adjust ang vacuum level. Ang vacuum level para sa glow discharge sa tantalum tubes kay mga 100Pa, ug ang nadeposito nga film structure ubos sa ingon ka ubos nga vacuum conditions kay dili kalikayan nga baga. Busa, human sa pagsiga sa arc discharge, kinahanglan nga pakunhuran dayon ang gidaghanon sa hangin nga mogawas ug dali nga i-adjust ang vacuum level ngadto sa 8×10-1~2Pa aron makakuha og pino nga inisyal nga film structure.
- Ang turntable sa workpiece gi-install palibot sa coating chamber, diin ang workpiece konektado sa negatibong poste sa bias power supply ug ang vacuum chamber konektado sa positibong poste. Tungod sa taas nga current density sa hollow cathode arc, ang bias voltage sa ion coated workpiece dili kinahanglan nga moabot sa 1000V, kasagaran 50-200V.
5. Ibutang ang usa ka naka-focus nga electromagnetic coil palibot sa Gan collapse, ug ang electromagnetic field nga namugna pinaagi sa pag-apply og current sa coil maka-focus sa electron beam sa sentro sa metal ingot, nga mopataas sa power density sa electron flow.
Oras sa pag-post: Hulyo-20-2023