Kondisi kanggo lapisan ion katoda berongga

Kahanan ing ngisor iki dibutuhake kanggo ngobong lampu busur katoda berongga:

1. Senapan katoda kothong sing digawe saka tabung tantalum dipasang ing tembok ruang lapisan lan bisa digunakake kanggo ngetokake aliran elektron panas. Diameter njero tabung datar yaiku φ 6 ~ φ 15mm, kanthi kekandelan tembok 0,8-2mm.

1. Catu daya kasusun saka catu daya wiwitan busur lan catu daya njaga busur kanthi paralel. Tegangan catu daya sing nyerang busur yaiku 800-1000V, lan arus sing nyerang busur yaiku 30-50A; Tegangan busur yaiku 40-70V, lan arus busur yaiku 80-300A.

Proses pelepasan busur katoda berongga ngetutake proses konversi saka pelepasan cahaya abnormal dadi pelepasan busur ing "kurva karakteristik volt ampere". Kapisan, catu daya dibutuhake kanggo nyedhiyakake voltase awal 800V kanggo ngasilake pelepasan cahaya ing tabung tantalum. Ion argon kapadhetan dhuwur ing njero tabung tantalum mbombardir lan manasi tabung nganti suhu ing ngendi elektron panas dipancarake, sing nyebabake aliran elektron plasma sing akeh lan kenaikan arus busur katoda berongga kanthi dadakan. Banjur, catu daya arus dhuwur uga dibutuhake kanggo njaga pelepasan busur. Proses konversi saka pelepasan cahaya dadi pelepasan busur iku otomatis, mula perlu kanggo ngonfigurasi catu daya sing bisa ngasilake voltase dhuwur lan arus dhuwur.

Yen rong syarat iki dikonsentrasikake ing siji sumber daya, ujung output sekunder transformator daya kudu dililit nganggo kabel sing kandel banget kanggo pirang-pirang puteran supaya bisa ngasilake voltase dhuwur lan arus dhuwur, sing bakal dadi sumber daya volume gedhe. Sawise pirang-pirang taun perbaikan, bisa uga kanggo paralel catu daya wiwitan busur cilik karo catu daya busur pangopènan. Catu daya wiwitan busur nggunakake kabel tipis kanggo muter pirang-pirang puteran, sing bisa ngasilake voltase dhuwur 800V kanggo ngobong tabung tantalum lan ngasilake debit cahya; Catu daya busur bisa ngasilake puluhan volt lan atusan ampere arus kanthi muter kabel kandel kanthi puteran sing luwih sithik kanggo njaga stabilitas debit busur katoda berongga. Amarga sambungan paralel rong catu daya ing tabung tantalum, sajrone proses konversi saka debit cahya sing ora normal dadi debit busur, rong catu daya bakal kanthi otomatis nyambung lan ngalih saka voltase dhuwur lan arus endhek menyang voltase endhek lan arus dhuwur.

1. Atur level vakum kanthi cepet. Level vakum kanggo pelepasan cahya ing tabung tantalum yaiku sekitar 100Pa, lan struktur film sing diendapkan ing kondisi vakum sing sithik kaya ngono mesthi kasar. Mulane, sawise ngobong pelepasan busur, perlu langsung nyuda jumlah aliran udara lan cepet nyetel level vakum dadi 8 × 10-1 ~ 2Pa kanggo entuk struktur film awal sing apik.

1. Meja putar benda kerja dipasang ing sekitar ruang pelapis, kanthi benda kerja disambungake menyang kutub negatif catu daya bias lan ruang vakum disambungake menyang kutub positif. Amarga kerapatan arus sing dhuwur saka busur katoda berongga, tegangan bias benda kerja sing dilapisi ion ora perlu tekan 1000V, biasane 50-200V.

5. Setel koil elektromagnetik fokus ing sekitar runtuhnya Gan, lan medan elektromagnetik sing diasilake kanthi ngetrapake arus menyang koil bisa fokusake sinar elektron ing tengah ingot logam, nambah kapadhetan daya aliran elektron.