Улогата на различни вакуумски пумпи во вакуумскиот систем

Перформансите на различните вакуум пумпи имаат и други разлики покрај можноста за пумпање вакуум во комората. Затоа, многу е важно да се разјасни работата што ја извршува пумпата во вакуумскиот систем при изборот, а улогата што ја игра пумпата во различните работни полиња е сумирана на следниов начин.

1, како главна пумпа во системот
Главната пумпа е вакуум пумпа која директно ја пумпа пумпаната комора на вакуумскиот систем за да го добие потребниот степен на вакуум за да ги задоволи барањата на процесот.
2, груба пумпа за пумпање
Пумпата за грубо пумпање е вакуум пумпа која почнува да се намалува од воздушниот притисок и притисокот од вакуумскиот систем достигнува до друг систем за пумпање кој може да почне да работи.
3, предфазна пумпа
Предстепена пумпа е вакуум пумпа што се користи за одржување на претстепениот притисок на друга пумпа под нејзиниот највисок дозволен претстепен притисок.
4, пумпа за држење
Задржувачката пумпа е пумпа која не може ефикасно да ја користи главната претстепена пумпа кога пумпањето на вакуумскиот систем е многу мало. Поради оваа причина, во вакуумскиот систем се користи друг вид помошна претстепена пумпа со помала брзина на пумпање за да се одржи нормалното работење на главната пумпа или да се одржи нискиот притисок потребен за испразнетиот сад.
5, груба вакуум пумпа или ниска вакуум пумпа
Пумпа со груб или низок вакуум е вакуум пумпа која започнува од воздух и работи во опсег на низок или груб вакуумски притисок по намалувањето на притисокот на пумпаниот сад.
6, пумпа за висок вакуум
Високовакуумска пумпа се однесува на вакуумска пумпа што работи во опсег на висок вакуум.
7, ултра-висока вакуумска пумпа
Ултра-висока вакуумска пумпа се однесува на вакуумска пумпа што работи во ултра-висок вакуумски опсег.
8, бустер пумпа
Бустер пумпата обично се однесува на вакуум пумпата што работи помеѓу пумпата со низок вакуум и пумпата со висок вакуум за да се зголеми капацитетот на пумпање на системот за пумпање во средниот опсег на притисок или да се намали потребната брзина на пумпање на првата пумпа.

Вовед во средство за чистење со јони

Плазма чистење
1. Плазмата е јонизиран гас во кој густините на позитивните јони и електроните се приближно еднакви. Се состои од јони, електрони, слободни радикали и неутрални честички.
2. Тоа е четврта агрегатна состојба на материјата. Бидејќи плазмата е комбинација од поголема енергија од гасот, супстанцијата во плазматската средина може да добие повеќе физичкохемиски и други реакциони карактеристики.
3. Механизмот на машината за чистење со плазма се потпира на „плазма состојбата“ на материјалот, „ефектот на активирање“ за отстранување на површинските дамки.
4. Чистењето со плазма е исто така најбеспрекорниот вид чистење од сите методи на чистење. Може да се користи широко во полупроводнички, микроелектроника, COG, LCD, LCM и LED процеси.
5. Прецизно чистење пред пакување на уреди, вакуумска електроника, конектори и релеи, соларна фотоволтаична индустрија, чистење на пластични, гумени, метални и керамички површини, третман со огрев, третман со пепел, активирање на површини и други области на експерименти со биолошки науки.