No.1 Tikanga o te kaha teitei te pupuhi magnetron sputtering
Ka whakamahia e te mana teitei o te hiko o te magnetron sputtering te mana o te tihi teitei (2-3 ota o te nui teitei ake i te pupuhi o te magnetron tikanga) me te iti o te huringa mahi pulse (0.5% - 10%) ki te whakatutuki i nga reiti wehenga whakarewa teitei (> 50%), i ahu mai i nga ahuatanga o te magnetron sputtering, e whakaatuhia ana i roto i te Pic 1, kei te whakaatuhia te kaha o te pikinga o te pikinga o naianei. te ngaohiko tuku U, I = kUn (n he taumau e pa ana ki te hanganga cathode, te papa autō me te rauemi). I te iti ake o te kaha (ngaohiko iti) ko te uara n i te nuinga o te waa kei te 5 ki te 15; i te piki haere o te ngaohiko tuku, ka tere te piki o te kiato o naianei me te kiato mana, a, i te ngaohiko teitei ka 1 te uara n na te ngaronga o te herenga papa autō. Mena i te iti o te kaha o te hiko, ka whakatauhia te rerenga hau e nga katote hau kei roto i te aratau tuku puhoi; Mena kei te kaha te kaha o te kaha, ka piki ake te wahanga o nga katote whakarewa i roto i te plasma ka huri etahi taonga, kei roto i te aratau-a-whaiaro, ara, ka mau tonu te plasma ma te katotetanga o nga matūriki kore me nga katote whakarewa tuarua, me nga ngota hau koretake penei i te Ar ka whakamahia anake hei mura i te plasma, muri iho ka puhipuhi nga matūriki kua pakaru ki te taha o te matūriki. te whaainga i raro i te mahi a nga papa autō me te hiko ki te pupuri i te rerenga o naianei teitei, me te plasma he matūriki whakarewa tino katote. Na te kaha o te pupuhi o te whakamahana i runga i te whaainga, kia mau ai te mahi o te whaainga i roto i nga tono ahumahi, kaore e taea te nui rawa atu te kiato o te mana e pa ana ki te whaainga, ko te tikanga whakamahana wai tika me te whainga o te waiariki i te waa o te 25 W / cm2 i raro iho, te whakamahana wai autaki, he ngoikore te kaupapa o te kawe i te waiariki, ko te whaainga o nga mea e pa ana ki nga waahanga iti o te waiariki, ko te whaainga o nga mea e pa ana ki te koranu waiariki. taea anake i roto i 2 ~ 15 W / cm2 i raro, tawhiti i raro i te whakaritenga o te kiato mana tiketike. Ka taea te whakatau i te raru o te wera nui o te whaainga ma te whakamahi i nga puihi hiko teitei. Ka whakatauhia e Anders te mana nui o te pupuhi magnetron ko te ahua o te pupuhi pupuhi ka nui ake te kaha o te kaha o te kaha o te kaha o te kaha o te kaha toharite ma te 2 ki te 3 ota o te nui, a ko te pupuhi katote i runga i te mahinga o te pupuhi, ka tino wehewehea nga ngota pupuhi.
No.2 Ko nga ahuatanga o te mana teitei o te hikoi te hiko o te magnetron sputtering paninga waipara
Ka taea e te kaha teitei te pupuhi magnetron sputtering te whakaputa plasma me te reiti wehewehenga teitei me te kaha o te katote teitei, ka taea te whakamahi i te pehanga rītaha ki te whakatere i nga katote kua tohua, ka pupuhihia te tukanga whakakikoruatanga e nga matūriki hiko teitei, he hangarau IPVD angamaheni. Ko te kaha o te katote me te tohatoha he tino paanga ki te kounga o te paninga me te mahi.
Mo te IPVD, i runga i te tauira rohe hanganga rongonui o Thorton, i whakaarohia e Anders he tauira rohe hanganga kei roto te waipara plasma me te katote etching, ka whakaroahia te hononga i waenga i te hanganga whakakikorua me te pāmahana me te pehanga hau i roto i te tauira rohe hanganga Thorton ki te hononga i waenga i te hanganga paninga, te pāmahana me te kaha o te katote, e whakaatuhia ana i te Pic 2. I roto i te take o te iti o te kaha o te hanganga katote katote tauira whakakikorua ki te paninga o te hanganga katote o Thorton. Na te pikinga ake o te pāmahana waipara, te whakawhiti mai i te rohe 1 (nga tioata muka maiengi) ki te rohe T (nga kiripiri muka matotoru), te rohe 2 (nga tioata pou) me te rohe 3 (te rohe recrystallization); i te pikinga o te kaha katote waipara, ka heke te pāmahana whakawhiti mai i te rohe 1 ki te rohe T, te rohe 2 me te rohe 3. Ka taea te whakarite i nga kiripiri muka teitei me nga tioata pourangi i te iti o te pāmahana. Ka piki ake te kaha o nga katote kua whakatakotoria ki te raupapa o te 1-10 eV, ka whakanuia te pupuhi me te weri o nga katote i runga i te mata o nga paninga kua whakatakotoria, ka piki ake te matotoru o nga paninga.
No.3 Whakaritenga o te paparanga whakakikorua pakeke e te mana teitei pulsed magnetron sputtering hangarau
Ko te whakakikorua i mahia e te hangarau hiko o te magnetron sputtering he kaha ake, he pai ake nga ahuatanga miihini me te pumau o te pāmahana. E whakaatu ana i te Pikitia 3, ko te whakakikorua TiAlN te paninga TiAlN tikanga he hanga karaehe pou me te pakeke o te 30 GPa me te 460 GPa te taumahatanga o te Young's modulus; ko te paninga HIPIMS-TiAlN he 34 GPa te pakeke ko te 377 GPa te waahanga o te Young; ko te ōwehenga i waenga i te pakeke me te kōwae a Young he inenga mo te pakari o te paninga. Ko te kaha ake o te pakeke me te iti ake o te waahanga a Young he pai ake te pakari. Ko te paninga HIPIMS-TiAlN he pai ake te pumau o te pāmahana teitei, me te wahanga hexagonal AlN kua whakahekehia i roto i te paninga TiAlN tikanga i muri i te maimoatanga o te wera o te wera i te 1,000 °C mo te 4 haora. Ko te pakeke o te paninga ka heke i te teitei o te wera, i te mea ka noho tonu te paninga HIPIMS-TiAlN i muri i te maimoatanga wera i te waahi me te wa ano. Ko te whakakikorua HIPIMS-TiAlN he teitei ake te pāmahana o te whakamahana o te werawera nui atu i te paninga tikanga. Na reira, ko te whakakikorua HIPIMS-TiAlN e whakaatu ana i te pai ake o te mahi i roto i nga taputapu tapahi tere atu i etahi atu taputapu whakakikorua i whakaritea e te tukanga PVD.
Te wa tuku: Noema-08-2022