Ny teoria fototra momba ny fitaovana filtration magnetika
Ny fomba fanivanana ny fitaovana fanivanana magnetika ho an'ny singa lehibe ao amin'ny taratra plasma dia toy izao manaraka izao:
Amin'ny fampiasana ny fahasamihafana misy eo amin'ny plasma sy ny poti-javatra lehibe miandraikitra sy ny tahan'ny fiampangana amin'ny faobe, dia misy "sakanana" (na baffle na rindrina fantsona miolikolika) mametraka eo anelanelan'ny substrate sy ny velaran'ny cathode, izay manakana ny singa rehetra mihetsika amin'ny tsipika mahitsy eo anelanelan'ny cathode sy ny substrate, raha toa kosa ny ion dia mety ho voavily amin'ny sahan'andriamby ary handalo ny "sakanana".
Ny fitsipiky ny fiasan'ny fitaovana filtration magnetika
Ao amin'ny sahan'andriamby, Pe<
Pe sy Pi dia ny Larmor radii ny elektrôna sy ny ion tsirairay avy, ary ny dia ny savaivony anatiny ny andriamby sivana. Ny elektrôna ao amin'ny plasma dia misy fiantraikany amin'ny hery Lorentz ary mihodina manaraka ny sahan'andriamby axially, raha ny sahan'andriamby tsy dia misy fiantraikany amin'ny clustering ny ion noho ny fahasamihafana misy eo amin'ny ion sy ny elektronika ao amin'ny Larmor radius. Na izany aza, rehefa ny elektrôna hetsika eo amin'ny axis ny andriamby sivana fitaovana, dia hisarika ny ions eo amin'ny axial ny rotational motion noho ny fifantohana sy ny ratsy matanjaka saha herinaratra, ary ny electron hafainganam-pandeha dia lehibe noho ny ion, ka ny elektronika misintona foana ny Ion mandroso, raha ny ranon-dra foana quasi-electrically tsy miandany. Ny poti lehibe dia tsy miandany amin'ny elektrika na misy fiampangana kely, ary ny kalitao dia lehibe kokoa noho ny ion sy ny elektrôna, amin'ny ankapobeny dia tsy misy fiantraikany amin'ny sahan'andriamby sy ny hetsika amin'ny alàlan'ny inertia, ary ho voasivana aorian'ny fifandonana amin'ny rindrina anatiny amin'ny fitaovana.
Eo ambanin'ny fiasa mitambatra ny curvature sahan'andriamby miondrika sy ny gradient drift sy ny fifandonan'ny ion-elektronika, ny plasma dia mety hivadika amin'ny fitaovana filtration magnetika. Ao amin'ny The common theoretical models used today is the Morozov flux model and the Davidson rigid rotor model, which have the following common feature: misy sahan'andriamby izay mahatonga ny elektrôna mihetsika amin'ny fomba helika henjana.
Ny tanjaky ny sahan'andriamby mitarika ny hetsika axial ny plasma ao amin'ny fitaovana filtration magnetika dia tokony ho toy izao:

Mi, Vo, ary Z dia ny mass ion, ny hafainganam-pandehan'ny fitaterana, ary ny isan'ny fiampangana nentina tsirairay avy. a dia ny savaivony anatiny amin'ny sivana magnetika, ary ny e dia ny fiampangana elektronika.
Tsara homarihina fa ny ion angovo ambony sasany dia tsy afaka mifamatotra tanteraka amin'ny taratra elektronika. Mety hahatratra ny rindrin'ny sivana magnetika izy ireo, ka mahatonga ny rindrina anatiny ho mety tsara, izay manakana ny ion tsy hanohizana ny rindrina anatiny ary mampihena ny fahaverezan'ny plasma.
Araka io trangan-javatra io, ny tsindry mitongilana tsara mety dia azo ampiharina amin'ny rindrin'ny fitaovana sivana magnetika mba hanakanana ny fifandonan'ny ions mba hanatsarana ny fahombiazan'ny fitaterana ion kendrena.

Fanasokajiana ny fitaovana filtration magnetika
(1) Firafitry ny tsipika. Ny sahan'andriamby miasa ho toy ny mpitari-dalana ho an'ny fikorianan'ny taratra ion, mampihena ny haben'ny toerana cathode sy ny ampahany amin'ny macroscopic poti clusters, raha vao mainka mampitombo ny fifandonana ao amin'ny plasma, manosika ny fiovam-po ny tsy miandany poti ho ion sy ny fampihenana ny isan'ny macroscopic sombintsombiny, ary ny fampihenana haingana ny isan'ny poti lehibe rehefa mitombo ny herin'ny sahan'andriamby. Raha ampitahaina amin'ny fomba fanao mahazatra multi-arc ion coating, ity fitaovana voarafitra ity dia maharesy ny fihenan'ny fahombiazan'ny fomba hafa ary afaka miantoka ny tahan'ny fandefasana sarimihetsika tsy tapaka ary mampihena ny isan'ny singa lehibe amin'ny 60%.
(2) Firafitry ny karazana curve. Na dia manana endrika isan-karazany aza ny rafitra, fa ny fitsipika fototra dia mitovy. Ny plasma dia mihetsika eo ambanin'ny fiasan'ny sahan'andriamby sy ny sahan-jiro, ary ny sahan'andriamby dia ampiasaina mba hamehezana sy hifehezana ny plasma tsy misy fiviliana amin'ny alàlan'ny tsipika hery magnetika. Ary ireo poti tsy voaloa dia hivezivezy amin'ny tsipika ary hisaraka. Ny sarimihetsika nomanin'ity fitaovana ara-drafitra ity dia manana hamafin'ny haavony, ny habetsahany ambany, ny hakitroky tsara, ny haben'ny voam-bary ary ny adhesion fototra amin'ny sarimihetsika. Ny famakafakana XPS dia mampiseho fa ny hamafin'ny ta-C sarimihetsika voarakotra amin'ity karazana fitaovana ity dia mety hahatratra 56 GPa, noho izany dia ny fitaovana firafitry ny curved no fomba be mpampiasa indrindra sy mahomby amin'ny fanesorana poti be, fa ny fahombiazan'ny fitaterana ion kendrena dia mila hatsaraina bebe kokoa. Ny fitaovana filtration magnetika miondrika 90 ° dia iray amin'ireo fitaovana rafitra miolikolika be mpampiasa indrindra. Ny fanandramana amin'ny mombamomba ny sarimihetsika Ta-C dia mampiseho fa ny mombamomba ny fitaovana filtration magnetika 360 ° bend dia tsy miova be raha oharina amin'ny fitaovana filtration magnetika 90 °, noho izany dia azo tanterahina ny fiantraikan'ny filtration magnetika 90 ° ho an'ny poti lehibe. Ny fitaovana filtration magnetika 90 ° bend dia manana rafitra roa karazana: ny iray dia solenoida miondrika napetraka ao amin'ny efitrano banga, ary ny iray dia apetraka amin'ny efitrano banga, ary ny fahasamihafana eo amin'izy ireo dia ao amin'ny rafitra ihany. Ny fanerena miasa ny 90 ° miondrika andriamby filtration fitaovana dia ao amin'ny filaharan'ny 10-2Pa, ary azo ampiasaina amin'ny isan-karazany ny fampiharana, toy ny coating nitride, oxide, karbaona amorphous, semiconductor sarimihetsika sy ny metaly na tsy metaly sarimihetsika.
Ny fahombiazan'ny fitaovana filtration magnetika
Satria tsy ny poti lehibe rehetra dia mety hamoy angovo kinetika amin'ny fifandonana tsy tapaka amin'ny rindrina, ny ampahany lehibe dia hahatratra ny substrate amin'ny alàlan'ny fivoahan'ny sodina. Noho izany, ny fitaovana filtration magnetika lava sy tery dia manana fahaiza-manao filtration ambony kokoa amin'ny singa lehibe, saingy amin'izao fotoana izao dia hampitombo ny fahaverezan'ny ion kendrena izany ary hampitombo ny fahasarotan'ny rafitra. Noho izany, ny fiantohana fa ny fitaovana filtration andriamby dia manana fanesorana poti be dia be ary ny fahombiazan'ny fitaterana ion dia fepetra ilaina amin'ny teknolojia fametahana ion multi-arc mba hananana fampiharana malalaka amin'ny fametrahana sarimihetsika manify avo lenta. Ny fiasan'ny fitaovana filtration magnetika dia misy fiantraikany amin'ny tanjaky ny sahan'andriamby, ny fitongilanana miondrika, ny aperture mekanika baffle, ny loharano arc ankehitriny ary ny zorony trangan-javatra voampanga. Amin'ny alàlan'ny fametrahana mari-pamantarana ara-drariny amin'ny fitaovana filtration magnetika, dia azo hatsaraina tsara ny fiantraikan'ny sivana amin'ny poti-javatra lehibe sy ny fahombiazan'ny famindrana ion amin'ny tanjona.
Fotoana fandefasana: Nov-08-2022
