Optiskās plānās plēves raksturojums ietver optisko īpašību, optisko parametru un neoptisko īpašību raksturojumu. Optiskās īpašības galvenokārt attiecas uz optiskās plānās plēves spektrālo atstarošanos, caurlaidību un optiskajiem zudumiem (absorbcijas zudumiem un atstarošanas zudumiem). Caurlaidība un atstarošana ir optisko plāno plēvju visvienkāršākās optiskās īpašības, tāpēc plānās plēves caurlaidības un atstarošanas pārbaude ir optisko plāno plēvju pamattestēšanas metode. Optiskās plānās plēves optiskie parametri ietver refrakcijas indeksu, absorbcijas koeficientu un optiskās plānās plēves biezumu. Faktiskajā procesā sagatavotās optiskās plānās plēves materiālu sastāvdaļu stehiometriskās novirzes dēļ struktūra vairs nav homogēna un blīva, bet ir mikrostruktūras un dažādi defekti, dielektriskās plēves slānis vairs nav pilnīgi caurspīdīgs, un ir vāja absorbcija, savukārt plēves refrakcijas indeksā ir telpiska nevienmērība un fāzes anizotropija, un plēve vairs nav bezgalīga un gluda saskarne. Vēl svarīgāk ir tas, ka faktiskajā sagatavošanas procesā plēves sagatavošanas procesa parametriem ir ļoti liela ietekme uz plēves optiskajiem parametriem, tāpēc plēves optisko parametru apstiprināšana reāllaikā ir ļoti svarīga. Turklāt optiskajai plānajai plēvei kā ierīcei, ko izmanto reālā vidē, papildus ierīces optiskajām īpašībām ir jāatbilst prasībām, plēvei ir arī daudzas citas svarīgas neoptiskas īpašības, kas ietekmē plēves lietošanu, piemēram, plēves saķere, plēves spriegums, plēves cietība un virsmas raupjums, kā arī plēves spēja izturēt vidi utt. Tāpēc ir svarīgi precīzi izmērīt visus dažādos parametrus vai īpašības, kas ietekmē plānās plēves ierīču lietošanu.
Plāno plēvju caurlaidību un atstarošanu galvenokārt pārbauda, izmantojot spektrālos testa analizatorus. Optisko plēvju testēšanas spektrālos analizatorus var iedalīt UV-Vis spektrofotometros, infrasarkanajos spektrofotometros un infrasarkanajos Furjē spektrometros atbilstoši dažādām testa joslām. Pirmie divi izmanto spektrālās spektroskopijas analīzes un testēšanas sistēmas principu, bet pēdējie balstās uz interferences spektrālās analīzes sistēmas principu. Plāno plēvju ierīču atšķirīgo ģeometrisko struktūru un formu dēļ, lai gan visi caurlaidības un atstarošanas mērījumi ir nepieciešami, dažādām formām, dažādām precizitātes vai atšķirīgām polarizācijas prasībām var būt nepieciešamas dažādas testēšanas metodes un paņēmieni.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 3. novembris