D'Charakteriséierung vun opteschen Dënnfilmer ëmfaasst d'Charakteriséierung vun opteschen Eegeschaften, optesche Parameteren an net-opteschen Eegeschaften. Déi optesch Eegeschafte bezéie sech haaptsächlech op d'spektral Reflexioun, d'Transmittanz an den optesche Verloscht (Absorptiounsverloscht a Reflexiounsverloscht) vun opteschen Dënnfilmer. Transmittanz a Reflexioun sinn déi fundamentalst optesch Eegeschafte vun opteschen Dënnfilmer, dofir ass d'Testung vun der Transmittanz an der Reflexioun vun Dënnfilmer déi fundamental Testtechnik fir optesch Dënnfilmer. Zu den optesche Parameter vun opteschen Dënnfilmer gehéieren de Breechungsindex, den Absorptiounskoeffizient an d'Filmedicke vun opteschen Dënnfilmer. Wéinst der stöchiometrescher Ofwäichung an de Materialkomponenten vum opteschen Dënnfilm, deen duerch den aktuellen Prozess virbereet gëtt, ass d'Struktur net méi homogen an dicht, awer et gëtt Mikrostrukturen a verschidde Mängel, d'dielektresch Filmschicht ass net méi komplett transparent, an et gëtt eng schwaach Absorptioun, während et raimlech Netuniformitéiten a Phasanisotropie am Breechungsindex vum Film gëtt, an de Film net méi eng onendlech a glat Grenzfläch ass. Méi wichteg ass, datt am aktuellen Virbereedungsprozess d'Parameter vum Filmvirbereedungsprozess e ganz groussen Afloss op déi optesch Parameter vum Film hunn, dofir ass d'Echtzäitbestätegung vun den optesche Parameter vum Film ganz entscheedend. Zousätzlech muss den opteschen Dënnfilm als Apparat, deen an der aktueller Ëmwelt benotzt gëtt, zousätzlech zu den opteschen Eegeschafte vum Apparat d'Ufuerderunge erfëllen. Et gëtt vill aner wichteg net-optesch Eegeschafte vum Film, déi d'Benotzung vum Film beaflossen, wéi z. B. d'Filmahaftung, d'Filbelaaschtung, d'Filmhäertheet an d'Uewerflächenrauheet an d'Fäegkeet vum Film, der Ëmwelt standzehalen, asw. Dofir ass et wichteg, all déi verschidde Parameteren oder Eegeschaften, déi d'Benotzung vun Dënnfilmapparater beaflossen, genee ze moossen.
D'Transmittanz an d'Reflexioun vun Dënnschichten ginn haaptsächlech mat Spektraltestanalysatoren getest. Spektralanalysatoren fir d'Tester vun optesche Filmer kënnen no de verschiddene Testbänner an UV-Vis Spektrophotometer, Infrarout Spektrophotometer an Infrarout Fourier Spektrometer opgedeelt ginn. Déi éischt zwee benotzen de Prinzip vun der Spektralspektroskopie, déi zweet baséiert op dem Prinzip vum Interferenzspektralanalysesystem. Wéinst den ënnerschiddleche geometresche Strukturen a Formen vun Dënnschichtapparater kënnen, obwuel all Transmittanz- a Reflexiounsmiessunge fir verschidde Formen, ënnerschiddlech Präzisioun oder ënnerschiddlech Polarisatiounsufuerderungen, ënnerschiddlech Testmethoden an Techniken erfuerderen.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 03. November 2023