Technologia filtrationis magneticae

Theoria fundamentalis instrumenti filtrationis magneticae
Mechanismus filtrationis instrumenti magnetici filtrationis pro magnis particulis in fasciculo plasmatis est ut sequitur:
Utente differentia inter plasmam et particulas magnas in ratione oneris et massae, "obiex" (sive deflector sive paries tubi curvus) inter substratum et superficiem cathodi ponitur, quod quaslibet particulas in linea recta inter cathodum et substratum moventes impedit, dum iones a campo magnetico deflectere et per "obiex" ad substratum transire possunt.

Principium operationis instrumenti filtrationis magneticae

In campo magnetico, Pe<

Pe et Pi sunt radii Larmor electronum et ionum respective, et a est diameter interior filtri magnetici. Electrona in plasmate afficiuntur vi Lorentziana et secundum campum magneticum axialiter rotantur, dum campus magneticus minus effectum habet in congregationem ionum propter differentiam inter iones et electrona in radio Larmor. Attamen, cum electrona moventur secundum axem instrumenti filtri magnetici, iones secundum axialem attrahent propter focum suum et campum electricum negativum validum, et celeritas electronum maior est quam ionum, ita electron constanter ion trahit, dum plasma semper quasi-electrice neutrum manet. Particulae maiores electrice neutrae sunt vel leviter negative oneratae, et qualitatem multo maiorem habent quam iones et electrona, plerumque non afficiuntur campo magnetico et motu lineari secundum inertiam, et filtrabuntur post collisionem cum pariete interiore instrumenti.
Sub functione coniuncta curvaturae campi magnetici flectentis et derivationis gradientis necnon collisionum ionum et electronum, plasma in instrumento filtrationis magneticae deflecteri potest. Modela theoretica communia hodie adhibita sunt modelum fluxus Morozov et modelum rotoris rigidi Davidson, quae hanc proprietatem communem habent: campus magneticus adest qui electrones modo stricte helicali moveri facit.
Vis campi magnetici motum axialem plasmatis in instrumento filtrationis magneticae dirigientis talis esse debet ut:

Mi, Vo, et Z sunt massa ionis, velocitas translationis, et numerus oneris portati respective. "a" est diameter interior filtri magnetici, et "e" est onus electronicum.
Notandum est nonnullos iones altioris energiae non posse plene a fasciculo electronico ligari. Fortasse parietem interiorem filtri magnetici attingunt, parietem interiorem potentiali positivo adficientes, quod vicissim iones impedit quominus parietem interiorem attingere pergant et iacturam plasmatis minuit.
Secundum hoc phaenomenon, idonea pressio polarisationis positivae ad parietem instrumenti filtrationis magneticae applicari potest ad collisionem ionum inhibendam et efficaciam translationis ionum scopi augendam.

Classificatio instrumentorum filtrationis magneticae
(1) Structura linearis. Campus magneticus quasi dux fluxus fasciculi ionici fungitur, magnitudinem maculae cathodicae et proportionem cumulorum particularum macroscopicarum minuens, simul collisiones intra plasmam intensificans, conversionem particularum neutralium in iones incitans et numerum cumulorum particularum macroscopicarum minuens, et numerum particularum magnarum celeriter minuens dum vis campi magnetici crescit. Comparata cum methodo conventionali multi-arcus ionum obducendi, hoc instrumentum structuratum significantem reductionem efficientiae ab aliis methodis causatam superat et ratem depositionis pelliculae fere constantem praestare potest, dum numerum particularum magnarum circiter 60% minuit.
(2) Structura curvata. Quamquam structura varias formas habet, principium tamen fundamentale idem est. Plasma sub functione coniuncta campi magnetici et campi electrici movetur, et campus magneticus ad plasmam coercendum et regendum adhibetur sine motu deflecto secundum directionem linearum vis magneticae. Particulae non onustae secundum lineam movebuntur et separabuntur. Pelliculae ab hoc instrumento structurali praeparatae duritiem magnam, asperitatem superficialem humilem, densitatem bonam, magnitudinem granorum uniformem, et adhaesionem basis pelliculae fortem habent. Analysis XPS ostendit duritiem superficialem pellicularum ta-C hoc instrumento obductarum 56 GPa attingere posse, ergo instrumentum structurae curvatae methodus latissime adhibita et efficacissima est ad magnas particulas removendas, sed efficacia translationis ionum destinatorum ulterius emendanda est. Instrumentum filtrationis magneticae flexu 90° unum ex instrumentis structurae curvatae latissime adhibitis est. Experimenta in profilo superficiali pellicularum Ta-C ostendunt profilum superficiale instrumenti filtrationis magneticae flexu 360° non multum mutari comparatum cum instrumento filtrationis magneticae flexu 90°, ergo effectus filtrationis magneticae flexu 90° pro magnis particulis fundamentaliter obtineri potest. Apparatus filtrationis magneticae flexu 90° duos praecipue typos structurarum habet: unum est solenoidum flexuosum in camera vacui positum, alterum extra cameram vacui collocatum, et differentia inter eas sola in structura consistit. Pressio operandi apparatus filtrationis magneticae flexu 90° in ordine 10-2Pa est, et in ampla varietate applicationum adhiberi potest, ut puta in obductione nitridi, oxidi, carbonis amorphi, pellicularum semiconductorum, et pellicularum metallicarum vel non metallicarum.

Efficacia instrumenti filtrationis magneticae
Cum non omnes particulae magnae energiam cineticam in continuis collisionibus cum pariete amittere possint, certus numerus particularum magnarum per exitum tubi substratum attinget. Ergo, instrumentum filtrationis magneticae longum et angustum maiorem efficaciam filtrationis particularum magnarum habet, sed hoc tempore iacturam ionum scopi augebit et simul complexitatem structurae augebit. Ergo, curare ut instrumentum filtrationis magneticae optimam remotionem particularum magnarum et altam efficaciam translationis ionum habeat, necessaria est condicio ut technologia obductionis ionum multi-arcus latam applicationem in depositione pellicularum tenuium altae efficaciae habeat. Operatio instrumenti filtrationis magneticae afficitur a vi campi magnetici, inclinatione flexionis, apertura deflectoris mechanici, currente fontis arcus et angulo incidentiae particularum oneratarum. Statuendo parametros rationabiles instrumenti filtrationis magneticae, effectus filtrationis particularum magnarum et efficacia translationis ionum scopi efficaciter augeri possunt.