Оптикалык жука пленканын мүнөздөмөсүнө оптикалык касиеттердин, оптикалык параметрлердин жана оптикалык эмес касиеттердин мүнөздөмөсү кирет, оптикалык касиеттерге негизинен оптикалык жука пленканын спектрдик чагылдыруу, өткөрүмдүүлүк жана оптикалык жоготуу (жутуу жана чагылуу жоготуу) касиеттери кирет. Өткөрүү жана чагылдыруу оптикалык жука пленкалардын эң негизги оптикалык касиеттери, ошондуктан ичке пленканын өткөрүмдүүлүгүн жана чагылышын сыноо оптикалык жука пленкалар үчүн негизги сыноо ыкмасы болуп саналат. Оптикалык жука пленканын оптикалык параметрлерине сынуу көрсөткүчү, жутуу коэффициенти жана оптикалык жука пленканын пленканын калыңдыгы кирет. Иш жүзүндөгү процесс менен даярдалган оптикалык жука пленканын материалдык компоненттериндеги стехиометриялык четтөөлөрдөн улам структурасы бир тектүү жана тыгыз болбой калат, бирок микроструктуралар жана ар кандай кемчиликтер бар, диэлектрдик пленка катмары толугу менен тунук болбой калат, ал эми абсорбция начар болот, ошол эле учурда мейкиндикте мейкиндиктик жана рефликтивдүү эмес пленка, фазада бир тектүү эмес. тасма мындан ары чексиз жана жылмакай интерфейс эмес. Андан да маанилүүсү, иш жүзүндө даярдоо процессинде, пленканы даярдоо процессинин параметрлери пленканын оптикалык параметрлерине абдан чоң таасирин тийгизет, ошондуктан пленканын оптикалык параметрлерин реалдуу убакыт режиминде тастыктоо абдан маанилүү. Мындан тышкары, оптикалык жука пленка иш жүзүндө чөйрөдө колдонулган түзүлүш катары, аппараттын оптикалык мүнөздөмөлөрүнөн тышкары, талаптарга жооп бериши керек, пленканын башка көптөгөн маанилүү оптикалык эмес мүнөздөмөлөрү бар, мисалы, пленканы колдонууга таасир этет, мисалы, пленканын адгезиясы, пленканын стресси, пленканын катуулугу жана бетинин тегиздиги жана пленканын айлана-чөйрөгө туруштук берүү жөндөмдүүлүгү жана башкалар. Ошондуктан, ал так жука пленка түзмөктөрдү колдонууга таасир бардык ар кандай параметрлерин же мүнөздөмөлөрүн өлчөө үчүн маанилүү болуп саналат.
Жука пленкалардын өткөргүчтүгү жана чагылдырылышы негизинен спектралдык анализаторлордун жардамы менен текшерилет. Оптикалык пленканы сыноо үчүн спектралдык анализаторлор ар кандай сыноо тилкелерине ылайык UV-Vis спектрофотометрлерине, инфракызыл спектрофотометрлерге жана инфракызыл Фурье спектрометрлерине бөлүнөт. Биринчи экөө анализдин жана сыноо системасынын спектралдык спектроскопия принцибине, экинчиси интерференция спектралдык анализ системасынын принцибине негизделген. Улам ар кандай геометриялык түзүлүштөр жана жука-пленка аппараттардын калыптары, бардык өткөргүч жана чагылтуу өлчөө, бирок ар кандай фигуралар үчүн, ар кандай тактык же ар кандай поляризация талаптары, ар кандай сыноо ыкмаларын жана ыкмаларын талап кылышы мүмкүн.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 2023-жылдын 3-ноябрына чейин