부터진공 코팅 장비진공 조건에서 작동하는 장비는 진공 환경 요건을 충족해야 합니다. 국내에서 제정된 다양한 유형의 진공 코팅 장비에 대한 산업 표준(진공 코팅 장비, 진공 이온 코팅 장비, 진공 스퍼터링 코팅 장비, 진공 증착 코팅 장비에 대한 일반 기술 조건 포함)에는 환경 요건이 명확하게 규정되어 있습니다. 진공 코팅 장비의 환경 요건을 충족해야만 장비가 정상적으로 작동하고, 올바른 코팅 공정을 통해 고품질 코팅 제품을 생산할 수 있습니다.
진공 환경의 요구 사항에는 일반적으로 실험실(또는 작업장)의 온도, 공기 중의 빈약한 이익, 진공 상태 또는 진공 상태의 부품이나 표면에 대한 요구 사항과 같은 주변 환경에 대한 진공 장비의 요구 사항이 포함됩니다. 이 두 가지 측면은 밀접하게 관련되어 있습니다. 주변 환경의 품질은 진공 장비의 정상적인 사용에 직접적인 영향을 미치며 진공 장비의 진공 챔버 또는 그 안에 적재된 부품의 청소 여부는 장비의 성능에 직접적인 영향을 미칩니다. 공기에 많은 수증기와 먼지가 포함되어 있고 진공 챔버가 청소되지 않은 경우 오일 밀봉 기계식 펌프를 사용하여 공기를 펌핑하여 원하는 진공도를 달성하기 어렵습니다. 우리 모두 알다시피 오일 밀봉 기계식 펌프는 금속에 부식성이 있고 진공 오일과 화학적으로 반응하며 미립자 먼지가 포함된 가스를 펌핑하는 데 적합하지 않습니다. 수증기는 응축성 가스입니다. 펌프가 많은 양의 응축성 가스를 펌핑하면 펌프 오일의 오염이 더 심각해집니다. 결과적으로 펌프의 최대 진공도가 떨어지고 펌프의 펌핑 성능이 저하됩니다.
진공 코팅 장비의 일반적인 작업 조건은 다음과 같습니다.
① 주변온도 10~30℃
② 상대습도는 70% 이하이다.
③ 냉각수 유입온도는 25℃ 이하이다.
④ 냉각수 수질 시립 수돗물 또는 이에 준하는 수질의 물
⑤전원 전압 : 380V, 3상 50Hz 또는 220V, 단상 50Hz(사용하는 전기제품의 필요에 따라 다름), 전압 변동 범위 342~399V 또는 198~231V, 주파수 변동 범위 49~51Hz;
⑥압력, 온도, 소비량은 제품 사용설명서에 명시되어야 합니다.
⑦ 장비 주변 환경은 깨끗하고 공기도 깨끗해야 하며, 전기제품 및 기타 금속부품의 표면 부식을 일으키거나 금속간의 전기 전도를 일으킬 수 있는 먼지나 가스가 없어야 합니다.
또한, 진공 코팅 장비가 설치된 실험실이나 작업장은 깨끗하고 위생적으로 유지되어야 합니다. 바닥은 테라초 또는 페인트칠된 목재 바닥으로 먼지가 없어야 합니다. 기계식 펌프에서 배출되는 가스가 실험실 환경을 오염시키는 것을 방지하기 위해 펌프의 배출구에 사용할 수 있습니다. 표면에 배기관(금속, 고무관)을 설치하여 가스를 외부로 배출하십시오.
게시 시간: 2023년 3월 17일