광학 박막의 특성화에는 광학 특성, 광학 매개변수 및 비광학 특성의 특성화가 포함되며, 광학 특성은 주로 광학 박막의 분광 반사율, 투과율 및 광학 손실(흡수 손실 및 반사 손실) 특성을 나타냅니다. 투과율과 반사율은 광학 박막의 가장 기본적인 광학 특성이므로 박막 투과율과 반사율 테스트는 광학 박막의 기본 테스트 기술입니다. 광학 박막의 광학 매개변수에는 굴절률, 흡수 계수 및 광학 박막의 박막 두께가 포함됩니다. 실제 공정으로 제조된 광학 박막의 재료 구성 요소의 화학양론적 편차로 인해 구조가 더 이상 균질하고 조밀하지 않고 미세 구조와 다양한 결함이 있으며 유전체 박막 층이 더 이상 완전히 투명하지 않고 약한 흡수가 있으며 박막의 굴절률에 공간적 불균일성과 위상 이방성이 있으며 박막은 더 이상 무한하고 매끄러운 계면이 아닙니다. 더 중요한 것은 실제 제조 공정에서 필름 제조 공정 변수가 필름의 광학 변수에 매우 큰 영향을 미치므로 필름의 광학 변수에 대한 실시간 확인이 매우 중요하다는 것입니다. 또한, 실제 환경에서 사용되는 소자인 광학 박막은 소자의 광학적 특성 외에도 요구 사항을 충족해야 합니다. 필름에는 필름 접착력, 필름 응력, 필름 경도 및 표면 거칠기, 필름의 환경 내성 등과 같은 다른 중요한 비광학적 특성이 필름 사용에 영향을 미칩니다. 따라서 박막 소자 사용에 영향을 미치는 모든 변수 또는 특성을 정확하게 측정하는 것이 중요합니다.
박막의 투과율과 반사율은 주로 분광 분석기를 사용하여 시험합니다. 광학 필름 시험용 분광 분석기는 시험 대역에 따라 UV-Vis 분광광도계, 적외선 분광광도계, 적외선 푸리에 분광기로 구분할 수 있습니다. 처음 두 가지는 분광 분석 원리를 이용한 분석 및 시험 시스템을 사용하며, 적외선 푸리에 분광기는 간섭 분광 분석 시스템의 원리를 기반으로 합니다. 박막 소자의 기하학적 구조와 형태가 서로 다르기 때문에 모든 투과율과 반사율 측정은 동일하지만, 형태, 정밀도 또는 편광 요구 사항이 다르면 서로 다른 시험 방법과 기법이 필요할 수 있습니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2023년 11월 3일