សូមស្វាគមន៍មកកាន់ Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
single_banner

តួនាទី និងការអនុវត្តការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃថ្នាំកូតឧបករណ៍កាត់

ប្រភពអត្ថបទ៖ Zhenhua Vacuum
អាន៖ ១០
ចេញផ្សាយ: 22-11-07

ថ្នាំកូតឧបករណ៍កាត់ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវលក្ខណៈកកិត និងការពាក់របស់ឧបករណ៍កាត់ ដែលជាមូលហេតុដែលវាមានសារៈសំខាន់ក្នុងប្រតិបត្តិការកាត់។អស់រយៈពេលជាច្រើនឆ្នាំ អ្នកផ្តល់បច្ចេកវិជ្ជាកែច្នៃផ្ទៃបានកំពុងបង្កើតដំណោះស្រាយថ្នាំកូតតាមតម្រូវការ ដើម្បីកែលម្អភាពធន់នឹងការពាក់ឧបករណ៍កាត់ ប្រសិទ្ធភាពម៉ាស៊ីន និងអាយុកាលសេវាកម្ម។បញ្ហាប្រឈមតែមួយគត់បានមកពីការយកចិត្តទុកដាក់ និងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃធាតុទាំងបួន៖ (i) ដំណើរការមុន និងក្រោយការស្រោបនៃផ្ទៃឧបករណ៍កាត់។(ii) សម្ភារៈថ្នាំកូត;(iii) រចនាសម្ព័ន្ធថ្នាំកូត;និង (iv) បច្ចេកវិជ្ជាកែច្នៃរួមបញ្ចូលគ្នាសម្រាប់ឧបករណ៍កាត់ស្រោប។
តួនាទី និងការអនុវត្តការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃថ្នាំកូតឧបករណ៍កាត់
ប្រភពពាក់ឧបករណ៍កាត់
ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការកាត់ យន្តការពាក់មួយចំនួនកើតឡើងនៅក្នុងតំបន់ទំនាក់ទំនងរវាងឧបករណ៍កាត់ និងសម្ភារៈការងារ។ឧទាហរណ៍ ការពាក់ជាប់គ្នារវាងបន្ទះឈីប និងផ្ទៃកាត់ ការពាក់សំណឹករបស់ឧបករណ៍ដោយចំណុចរឹងនៅក្នុងសម្ភារៈការងារ និងការពាក់ដែលបណ្តាលមកពីប្រតិកម្មគីមីកកិត (ប្រតិកម្មគីមីនៃសម្ភារៈដែលបណ្តាលមកពីសកម្មភាពមេកានិច និងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់)។ដោយសារភាពតានតឹងកកិតទាំងនេះកាត់បន្ថយកម្លាំងកាត់នៃឧបករណ៍កាត់ និងធ្វើឱ្យអាយុកាលឧបករណ៍ខ្លី ពួកវាជះឥទ្ធិពលជាចម្បងទៅលើប្រសិទ្ធភាពម៉ាស៊ីនរបស់ឧបករណ៍កាត់។

ថ្នាំកូតផ្ទៃកាត់បន្ថយឥទ្ធិពលនៃការកកិត ខណៈពេលដែលឧបករណ៍កាត់សម្ភារៈមូលដ្ឋានគាំទ្រថ្នាំកូត និងស្រូបយកភាពតានតឹងមេកានិច។ដំណើរការប្រសើរឡើងនៃប្រព័ន្ធកកិតអាចសន្សំសំចៃសម្ភារៈនិងកាត់បន្ថយការប្រើប្រាស់ថាមពលបន្ថែមលើការបង្កើនផលិតភាព។

តួនាទីនៃថ្នាំកូតក្នុងការកាត់បន្ថយការចំណាយលើដំណើរការ
អាយុកាលឧបករណ៍កាត់គឺជាកត្តាចំណាយដ៏សំខាន់នៅក្នុងវដ្តផលិតកម្ម។ក្នុងចំណោមរបស់ផ្សេងទៀត អាយុកាលរបស់ឧបករណ៍កាត់អាចត្រូវបានកំណត់ថាជាពេលវេលានៃម៉ាស៊ីនអាចដំណើរការបានដោយមិនមានការរំខាន មុនពេលត្រូវការការថែទាំ។អាយុកាលឧបករណ៍កាត់កាន់តែយូរ ការចំណាយកាន់តែទាបដោយសារតែការរំខានផលិតកម្ម និងការងារថែទាំតិចដែលម៉ាស៊ីនត្រូវធ្វើ។

សូម្បីតែនៅសីតុណ្ហភាពកាត់ខ្ពស់ក៏ដោយ ក៏អាយុកាលប្រើប្រាស់របស់ឧបករណ៍កាត់អាចត្រូវបានពង្រីកដោយថ្នាំកូត ដូច្នេះកាត់បន្ថយការចំណាយលើម៉ាស៊ីនយ៉ាងសំខាន់។លើសពីនេះទៀត ថ្នាំកូតឧបករណ៍កាត់អាចកាត់បន្ថយតម្រូវការសម្រាប់ជាតិរំអិល។មិនត្រឹមតែកាត់បន្ថយថ្លៃសម្ភារៈប៉ុណ្ណោះទេ ថែមទាំងជួយការពារបរិស្ថានទៀតផង។

ឥទ្ធិពលនៃដំណើរការមុន និងក្រោយការលាបលើផលិតភាព

នៅក្នុងប្រតិបត្តិការកាត់ទំនើប ឧបករណ៍កាត់ត្រូវទទួលសម្ពាធខ្ពស់ (> 2 GPa) សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងវដ្តថេរនៃភាពតានតឹងកម្ដៅ។មុននិងក្រោយការស្រោបនៃឧបករណ៍កាត់វាត្រូវតែត្រូវបានព្យាបាលដោយដំណើរការសមស្រប។

មុនពេលកាត់ថ្នាំកូតឧបករណ៍ វិធីសាស្ត្រព្យាបាលមុនផ្សេងៗអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំសម្រាប់ដំណើរការថ្នាំកូតជាបន្តបន្ទាប់ ខណៈពេលដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្អិតរបស់ថ្នាំកូត។ដោយធ្វើការរួមគ្នាជាមួយថ្នាំកូត ការរៀបចំគែមកាត់របស់ឧបករណ៍ក៏អាចបង្កើនល្បឿនកាត់ និងអត្រាចំណី និងពង្រីកអាយុកាលឧបករណ៍កាត់ផងដែរ។

ថ្នាំកូតក្រោយដំណើរការ (ការរៀបចំគែម ដំណើរការលើផ្ទៃ និងរចនាសម្ព័ន្ធ) ក៏ដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃឧបករណ៍កាត់ ជាពិសេសដើម្បីការពារការពាក់មុនដែលអាចកើតមានដោយការបង្កើតបន្ទះសៀគ្វី (ការភ្ជាប់សម្ភារៈការងារទៅនឹងគែមកាត់។ ឧបករណ៍) ។

ការពិចារណានិងការជ្រើសរើសថ្នាំកូត

តម្រូវការសម្រាប់ការអនុវត្តថ្នាំកូតអាចមានភាពខុសគ្នាខ្លាំង។នៅក្រោមលក្ខខណ្ឌម៉ាស៊ីនដែលសីតុណ្ហភាពកាត់ខ្ពស់ លក្ខណៈពាក់ធន់នឹងកំដៅនៃថ្នាំកូតក្លាយជាមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងណាស់។វាត្រូវបានគេរំពឹងថាថ្នាំកូតទំនើបក៏គួរមានលក្ខណៈដូចខាងក្រោមផងដែរ: ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម ភាពរឹងខ្ពស់ (សូម្បីតែនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់) និងភាពធន់នៃមីក្រូទស្សន៍ (ប្លាស្ទិក) តាមរយៈការរចនានៃស្រទាប់ nanostructured ។

សម្រាប់ឧបករណ៍កាត់ដែលមានប្រសិទ្ធភាព ភាពស្អិតជាប់នៃថ្នាំកូតដែលប្រសើរឡើង និងការចែកចាយសមហេតុផលនៃភាពតានតឹងសំណល់គឺជាកត្តាសម្រេចចិត្តពីរ។ទីមួយ អន្តរកម្មរវាងសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម និងសម្ភារៈថ្នាំកូតចាំបាច់ត្រូវយកមកពិចារណា។ទីពីរគួរតែមានភាពស្និទ្ធស្នាលតិចតួចតាមដែលអាចធ្វើទៅបានរវាងសម្ភារៈថ្នាំកូតនិងសម្ភារៈដែលត្រូវដំណើរការ។លទ្ធភាពនៃការស្អិតជាប់រវាងថ្នាំកូតនិងផ្ទៃការងារអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំងដោយប្រើធរណីមាត្រឧបករណ៍សមស្របនិងប៉ូលាថ្នាំកូត។

ថ្នាំកូតដែលមានមូលដ្ឋានលើអាលុយមីញ៉ូម (ឧទាហរណ៍ AlTiN) ត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅជាថ្នាំកូតឧបករណ៍កាត់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មកាត់។នៅក្រោមសកម្មភាពនៃសីតុណ្ហភាពកាត់ខ្ពស់ ថ្នាំកូតដែលមានមូលដ្ឋានលើអាលុយមីញ៉ូមទាំងនេះអាចបង្កើតជាស្រទាប់ស្តើង និងក្រាស់នៃអុកស៊ីដអាលុយមីញ៉ូម ដែលបន្តបង្កើតឡើងវិញដោយខ្លួនវាក្នុងអំឡុងពេលម៉ាស៊ីន ការពារថ្នាំកូត និងសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមពីការវាយប្រហារអុកស៊ីតកម្ម។

ភាពរឹងនិងភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃថ្នាំកូតអាចត្រូវបានកែតម្រូវដោយការផ្លាស់ប្តូរមាតិកាអាលុយមីញ៉ូមនិងរចនាសម្ព័ន្ធថ្នាំកូត។ជាឧទាហរណ៍ តាមរយៈការបង្កើនបរិមាណអាលុយមីញ៉ូម ដោយប្រើរចនាសម្ព័ន្ធណាណូ ឬមីក្រូ-យ៉ាន់ស្ព័រ (ពោលគឺការលាយលោហៈធាតុដែលមានមាតិកាទាប) ភាពធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃថ្នាំកូតអាចប្រសើរឡើង។

បន្ថែមពីលើសមាសធាតុគីមីនៃសម្ភារៈថ្នាំកូតការផ្លាស់ប្តូររចនាសម្ព័ន្ធថ្នាំកូតអាចជះឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងដល់ដំណើរការនៃថ្នាំកូត។ដំណើរការឧបករណ៍កាត់ផ្សេងគ្នាអាស្រ័យលើការចែកចាយនៃធាតុផ្សេងៗនៅក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធមីក្រូថ្នាំកូត។

សព្វថ្ងៃនេះ ស្រទាប់ស្រោបតែមួយជាច្រើនដែលមានសមាសធាតុគីមីផ្សេងៗគ្នា អាចត្រូវបានផ្សំចូលទៅក្នុងស្រទាប់ថ្នាំកូតដែលផ្សំឡើងដើម្បីទទួលបានលទ្ធផលដែលចង់បាន។និន្នាការនេះនឹងបន្តអភិវឌ្ឍនាពេលអនាគត ជាពិសេសតាមរយៈប្រព័ន្ធថ្នាំកូតថ្មី និងដំណើរការថ្នាំកូត ដូចជា HI3 (High Ionization Triple) arc evaporation និង sputtering hybrid coating technology ដែលរួមបញ្ចូលគ្នានូវដំណើរការថ្នាំកូតដែលមានអ៊ីយ៉ុងខ្ពស់ចំនួនបីចូលទៅក្នុងមួយ។

ក្នុងនាមជាថ្នាំកូតគ្រប់ជ្រុងជ្រោយ ថ្នាំកូតដែលមានមូលដ្ឋានលើទីតានីញ៉ូម-ស៊ីលីកុន (TiSi) ផ្តល់នូវម៉ាស៊ីនដ៏ល្អឥតខ្ចោះ។ថ្នាំកូតទាំងនេះអាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដំណើរការទាំងដែកថែបរឹងខ្ពស់ជាមួយនឹងមាតិកាកាបូនផ្សេងគ្នា (រឹងស្នូលរហូតដល់ HRC 65) និងដែកថែបរឹងមធ្យម (រឹងស្នូល HRC 40) ។ការរចនានៃរចនាសម្ព័ន្ធថ្នាំកូតអាចត្រូវបានប្រែប្រួលទៅតាមកម្មវិធីម៉ាស៊ីនផ្សេងគ្នា។ជាលទ្ធផល ឧបករណ៍កាត់ថ្នាំកូតដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនទីតានីញ៉ូម អាចត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកាត់ និងដំណើរការសម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ ចាប់ពីដែកលោហធាតុខ្ពស់ លោហធាតុទាប រហូតដល់ដែកថែបរឹង និងយ៉ាន់ស្ព័រទីតានីញ៉ូម។ការធ្វើតេស្តកាត់ចុងខ្ពស់លើស្នាដៃសំប៉ែត (ភាពរឹង HRC 44) បានបង្ហាញថា ឧបករណ៍កាត់ដែលស្រោបអាចបង្កើនអាយុកាលរបស់វាជិត 2 ដង និងកាត់បន្ថយភាពរដុបលើផ្ទៃប្រហែល 10 ដង។

ថ្នាំកូតដែលមានមូលដ្ឋានលើ titanium-silicon កាត់បន្ថយការប៉ូលាលើផ្ទៃជាបន្តបន្ទាប់។ថ្នាំកូតបែបនេះនឹងត្រូវបានគេរំពឹងថានឹងត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការជាមួយនឹងល្បឿនកាត់ខ្ពស់ សីតុណ្ហភាពគែមខ្ពស់ និងអត្រានៃការដកលោហៈខ្ពស់។

សម្រាប់ថ្នាំកូត PVD មួយចំនួនផ្សេងទៀត (ជាពិសេសថ្នាំកូតខ្នាតតូច) ក្រុមហ៊ុនថ្នាំកូតក៏កំពុងធ្វើការយ៉ាងជិតស្និតជាមួយអ្នកកែច្នៃ ដើម្បីស្រាវជ្រាវ និងបង្កើតដំណោះស្រាយកែច្នៃលើផ្ទៃដែលបានកែលម្អផ្សេងៗ។ដូច្នេះ ការកែលម្អយ៉ាងសំខាន់ក្នុងប្រសិទ្ធភាពម៉ាស៊ីន ការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍កាត់ គុណភាពម៉ាស៊ីន និងអន្តរកម្មរវាងសម្ភារៈ ថ្នាំកូត និងម៉ាស៊ីនគឺអាចធ្វើទៅបាន ហើយអាចអនុវត្តបានជាក់ស្តែង។តាមរយៈការធ្វើការជាមួយដៃគូថ្នាំកូតដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈ អ្នកប្រើប្រាស់អាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រើប្រាស់ឧបករណ៍របស់ពួកគេពេញមួយវដ្តជីវិតរបស់ពួកគេ។


ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី 07-07-2022