Cov txheej txheem txheej txheem rau cov cuab yeej txiav ua kom cov cuab yeej sib txhuam thiab hnav zoo dua, yog vim li cas lawv thiaj li tseem ceeb rau kev ua haujlwm txiav. Tau ntau xyoo, cov chaw muab kev pabcuam thev naus laus zis ua haujlwm saum npoo tau tsim cov kev daws teeb meem txheej txheem tshwj xeeb los txhim kho kev tiv thaiv kev hnav ntawm cov cuab yeej txiav, kev ua haujlwm zoo thiab lub neej ua haujlwm. Qhov kev sib tw tshwj xeeb los ntawm kev saib xyuas thiab kev ua kom zoo dua ntawm plaub yam: (i) kev ua tiav ua ntej thiab tom qab txheej txheem ntawm cov cuab yeej txiav; (ii) cov ntaub ntawv txheej txheem; (iii) cov qauv txheej txheem; thiab (iv) kev siv tshuab ua haujlwm sib xyaw rau cov cuab yeej txiav txheej txheem.
Cov khoom siv txiav cov cuab yeej hnav
Thaum lub sijhawm txiav, qee qhov kev hnav tshwm sim hauv thaj chaw sib cuag ntawm cov cuab yeej txiav thiab cov khoom siv ua haujlwm. Piv txwv li, kev hnav sib txuas ntawm cov chip thiab qhov chaw txiav, kev hnav ntawm cov cuab yeej los ntawm cov ntsiab lus tawv hauv cov khoom siv ua haujlwm, thiab kev hnav los ntawm kev sib txhuam ntawm cov tshuaj lom neeg (kev sib txhuam ntawm cov khoom siv los ntawm kev ua haujlwm thiab qhov kub siab). Vim tias cov kev ntxhov siab no txo cov zog txiav ntawm cov cuab yeej txiav thiab ua rau lub neej ntawm cov cuab yeej luv dua, lawv feem ntau cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov cuab yeej txiav.
Cov txheej txheej saum npoo txo qhov cuam tshuam ntawm kev sib txhuam, thaum cov khoom siv hauv paus ntawm cov cuab yeej txiav txhawb nqa cov txheej txheej thiab nqus cov kev ntxhov siab ntawm lub tshuab. Kev ua tau zoo dua ntawm lub kaw lus sib txhuam tuaj yeem txuag cov khoom siv thiab txo kev siv hluav taws xob ntxiv rau kev ua kom muaj txiaj ntsig zoo.
Lub luag haujlwm ntawm kev txheej txheem hauv kev txo cov nqi ua tiav
Lub neej ntawm cov cuab yeej txiav yog ib qho tseem ceeb ntawm tus nqi hauv lub voj voog tsim khoom. Ntawm lwm yam, lub neej ntawm cov cuab yeej txiav tuaj yeem txhais tau tias lub sijhawm ntawm lub tshuab tuaj yeem ua haujlwm yam tsis muaj kev cuam tshuam ua ntej xav tau kev saib xyuas. Lub neej ntawm cov cuab yeej txiav ntev npaum li cas, tus nqi qis dua vim muaj kev cuam tshuam ntawm kev tsim khoom thiab kev saib xyuas tsawg dua uas lub tshuab yuav tsum ua.
Txawm tias thaum kub heev los xij, kev siv cov txheej txheem txheej txheem ntawm cov cuab yeej txiav tuaj yeem ua rau lub neej siv ntawm cov cuab yeej txiav ntev dua, yog li ntawd txo cov nqi siv tshuab. Tsis tas li ntawd xwb, kev txheej txheem txheej txheem ntawm cov cuab yeej txiav tuaj yeem txo qhov xav tau cov kua roj nplua nyeem. Tsis yog tsuas yog txo cov nqi khoom siv xwb, tab sis kuj pab tiv thaiv ib puag ncig.
Cov nyhuv ntawm kev ua ua ntej thiab tom qab txheej rau kev tsim khoom
Hauv kev ua haujlwm txiav niaj hnub no, cov cuab yeej txiav yuav tsum dais qhov siab siab (> 2 GPa), kub siab thiab lub voj voog tas li ntawm kev ntxhov siab thermal. Ua ntej thiab tom qab txheej txheej ntawm cov cuab yeej txiav, nws yuav tsum tau kho nrog cov txheej txheem tsim nyog.
Ua ntej siv cov txheej txheem txheej txheem rau cov cuab yeej txiav, ntau txoj kev kho ua ntej siv tau los npaj rau cov txheej txheem txheej txheem tom ntej, thaum txhim kho qhov nplaum ntawm cov txheej txheem. Los ntawm kev ua haujlwm ua ke nrog cov txheej txheem, kev npaj cov ntug txiav ntawm cov cuab yeej kuj tseem tuaj yeem ua rau qhov ceev ntawm kev txiav thiab kev pub mov, thiab ua kom lub neej ntawm cov cuab yeej txiav ntev dua.
Cov txheej txheem tom qab ua tiav (kev npaj ntug, kev ua tiav ntawm qhov chaw thiab kev teeb tsa) kuj tseem ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev ua kom zoo dua ntawm cov cuab yeej txiav, tshwj xeeb tshaj yog kom tiv thaiv kev puas tsuaj ntxov los ntawm kev tsim cov chip (kev sib txuas ntawm cov khoom siv workpiece rau ntug txiav ntawm cov cuab yeej).
Kev txiav txim siab txog kev txheej thiab kev xaiv
Cov kev cai rau kev ua haujlwm ntawm cov txheej txheem tuaj yeem sib txawv heev. Nyob rau hauv cov xwm txheej machining qhov twg qhov kub ntawm ntug txiav siab, cov yam ntxwv hnav-resistant kub ntawm cov txheej txheem dhau los ua qhov tseem ceeb heev. Nws yog qhov xav tias cov txheej txheem niaj hnub no kuj yuav tsum muaj cov yam ntxwv hauv qab no: kev ua haujlwm kub zoo heev, kev tiv thaiv oxidation, kev nyuaj siab (txawm tias thaum kub siab), thiab microscopic toughness (plasticity) los ntawm kev tsim cov txheej nanostructured.
Rau cov cuab yeej txiav ua haujlwm tau zoo, kev nplaum zoo tshaj plaws ntawm cov txheej thiab kev faib tawm ntawm cov kev ntxhov siab seem yog ob qho tseem ceeb. Ua ntej, kev sib cuam tshuam ntawm cov khoom siv substrate thiab cov khoom siv txheej yuav tsum tau xav txog. Qhov thib ob, yuav tsum muaj kev sib raug zoo tsawg li sai tau ntawm cov khoom siv txheej thiab cov khoom siv uas yuav tsum tau ua. Qhov ua tau ntawm kev nplaum ntawm cov txheej thiab cov khoom ua haujlwm tuaj yeem txo qis los ntawm kev siv cov cuab yeej geometry tsim nyog thiab polishing cov txheej.
Cov txheej txheej txhuas (piv txwv li AlTiN) feem ntau siv ua cov txheej txheej rau cov cuab yeej txiav hauv kev lag luam txiav. Nyob rau hauv qhov kub siab ntawm kev txiav, cov txheej txheej txhuas no tuaj yeem tsim ib txheej nyias thiab ntom ntawm txhuas oxide uas txuas ntxiv rov ua dua tshiab thaum lub sijhawm ua haujlwm, tiv thaiv cov txheej txheej thiab cov khoom siv hauv qab nws los ntawm kev tawm tsam oxidative.
Qhov nyuaj thiab kev ua haujlwm tiv thaiv oxidation ntawm ib txheej txheej tuaj yeem hloov kho los ntawm kev hloov cov ntsiab lus txhuas thiab cov qauv txheej. Piv txwv li, los ntawm kev nce cov ntsiab lus txhuas, siv cov qauv nano lossis micro-alloying (piv txwv li, alloying nrog cov ntsiab lus tsawg), qhov kev tiv thaiv oxidation ntawm txheej txheej tuaj yeem txhim kho.
Ntxiv rau cov tshuaj lom neeg sib xyaw ntawm cov khoom siv txheej, kev hloov pauv hauv cov qauv txheej tuaj yeem cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov txheej. Kev ua haujlwm ntawm cov cuab yeej txiav sib txawv nyob ntawm qhov kev faib tawm ntawm ntau yam ntsiab lus hauv cov qauv txheej.
Niaj hnub nim no, ntau txheej txheej uas muaj cov tshuaj sib txawv tuaj yeem sib xyaw ua ke rau hauv ib txheej txheej sib xyaw kom tau txais kev ua tau zoo raws li qhov xav tau. Qhov sib txawv no yuav txuas ntxiv mus rau yav tom ntej - tshwj xeeb tshaj yog los ntawm cov txheej txheem txheej tshiab thiab cov txheej txheem txheej, xws li HI3 (High Ionization Triple) arc evaporation thiab sputtering hybrid txheej thev naus laus zis uas sib xyaw peb cov txheej txheem txheej ionized siab rau hauv ib qho.
Ua ib txheej txheej uas muaj txhua yam, cov txheej txheej titanium-silicon (TiSi) muaj kev siv tshuab zoo heev. Cov txheej txheej no siv tau rau kev ua cov hlau tawv siab nrog cov carbide sib txawv (qhov nyuaj ntawm lub hauv paus txog HRC 65) thiab cov hlau tawv nruab nrab (qhov nyuaj ntawm lub hauv paus HRC 40). Kev tsim cov qauv txheej txheej tuaj yeem hloov kho raws li cov ntawv thov machining sib txawv. Yog li ntawd, cov cuab yeej txiav uas muaj txheej txheej titanium silicone siv tau rau kev txiav thiab ua ntau yam khoom siv ua haujlwm los ntawm cov hlau uas muaj hlau ntau, cov hlau uas muaj hlau tsawg mus rau cov hlau tawv thiab cov hlau titanium alloys. Kev sim txiav tiav ntawm cov khoom ua haujlwm tiaj tiaj (qhov nyuaj HRC 44) tau qhia tias cov cuab yeej txiav uas muaj txheej txheej tuaj yeem ua rau nws lub neej ntev dua yuav luag ob npaug thiab txo qhov roughness ntawm qhov chaw li 10 npaug.
Cov txheej txheej titanium-silicon ua rau kom txo qhov kev txhuam ntawm qhov chaw tom qab. Cov txheej txheej no yuav tsum tau siv rau hauv kev ua cov txheej txheem nrog kev txiav ceev ceev, qhov kub ntawm ntug siab thiab cov nqi tshem tawm hlau siab.
Rau qee lwm cov txheej PVD (tshwj xeeb tshaj yog cov txheej micro-alloyed), cov tuam txhab txheej kuj ua haujlwm nrog cov processors los tshawb nrhiav thiab tsim ntau yam kev daws teeb meem zoo tshaj plaws rau kev ua haujlwm saum npoo. Yog li ntawd, kev txhim kho tseem ceeb hauv kev ua haujlwm zoo ntawm kev siv tshuab, kev siv cov cuab yeej txiav, kev ua haujlwm zoo, thiab kev sib cuam tshuam ntawm cov khoom siv, txheej thiab kev siv tshuab yog ua tau, thiab siv tau. Los ntawm kev ua haujlwm nrog tus khub txheej kws tshaj lij, cov neeg siv tuaj yeem ua kom muaj kev siv zoo ntawm lawv cov cuab yeej thoob plaws lawv lub neej.
Lub sijhawm tshaj tawm: Kaum Ib Hlis-07-2022