Оптикалық жұқа қабықшаның сипаттамасы оптикалық қасиеттерді, оптикалық параметрлерді және оптикалық емес қасиеттерді сипаттауды қамтиды, оптикалық қасиеттер негізінен оптикалық жұқа пленканың спектрлік шағылысу, өткізгіштік және оптикалық жоғалту (сіңіру жоғалуы және шағылысу жоғалуы) қасиеттеріне жатады. Өткізгіштік пен шағылысу оптикалық жұқа қабықшалардың ең негізгі оптикалық қасиеттері болып табылады, сондықтан жұқа қабықшаның өткізгіштігі мен шағылыстыру қабілетін сынау оптикалық жұқа қабықшаларды сынаудың негізгі әдісі болып табылады. Оптикалық жұқа пленканың оптикалық параметрлеріне сыну көрсеткіші, жұтылу коэффициенті және оптикалық жұқа қабықтың қабықша қалыңдығы жатады. Нақты процесспен дайындалған оптикалық жұқа қабықтың материалды құрамдас бөліктеріндегі стехиометриялық ауытқуға байланысты құрылым енді біртекті және тығыз емес, бірақ микроқұрылымдар мен әртүрлі ақаулар бар, диэлектрлік пленка қабаты енді толық мөлдір емес, жұтылу әлсіз, сонымен қатар кеңістіктік және біркелкі емес пленка, фазалық рефлексиялық және біркелкі емес. фильм енді шексіз және тегіс интерфейс емес. Одан да маңыздысы, нақты дайындау процесінде пленканы дайындау процесінің параметрлері пленканың оптикалық параметрлеріне өте үлкен әсер етеді, сондықтан пленканың оптикалық параметрлерін нақты уақытта растау өте маңызды. Сонымен қатар, оптикалық жұқа пленка нақты ортада қолданылатын құрылғы ретінде, құрылғының оптикалық сипаттамаларынан басқа талаптарға сай болуы керек, пленка пленканы қолдануға әсер ететін көптеген басқа маңызды оптикалық емес сипаттамалар бар, мысалы, пленка адгезиясы, пленка кернеуі, пленка қаттылығы мен бетінің кедір-бұдыры және пленканың қоршаған ортаға төтеп беру қабілеті және т.б. Сондықтан жұқа пленка құрылғыларын пайдалануға әсер ететін барлық әртүрлі параметрлерді немесе сипаттамаларды дәл өлшеу маңызды.
Жұқа қабықшалардың өткізгіштігі мен шағылыстыруы негізінен спектрлік сынақ анализаторлары арқылы тексеріледі. Оптикалық пленканы сынауға арналған спектрлік анализаторларды әртүрлі сынақ жолақтарына сәйкес UV-Vis спектрофотометрлеріне, инфрақызыл спектрофотометрлерге және инфрақызыл Фурье спектрометрлеріне бөлуге болады. Алғашқы екеуі талдау және сынау жүйесінің спектрлік спектроскопия принципін қолданады, екіншісі интерференциялық спектрлік талдау жүйесінің принципіне негізделген. Жұқа пленкалы құрылғылардың әртүрлі геометриялық құрылымдары мен пішіндеріне байланысты, барлық өткізгіштік пен шағылысу өлшемдері болса да, бірақ әртүрлі пішіндер үшін әртүрлі дәлдік немесе әртүрлі поляризация талаптары әртүрлі сынақ әдістері мен әдістерін қажет етуі мүмкін.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 03 қараша 2023 ж