製品説明
マグネトロン巻き線コーティング装置は、マグネトロンスパッタリング法を用いてコーティング材料を真空環境下でガス状またはイオン状に変換し、ワークピース上に堆積させて緻密な膜を形成する装置です。これにより、機能性フィルムや装飾フィルムの表面状態を改善したり、特定の特殊性能を付与したりすることができます。
この装置はマグネトロンスパッタリングシステムと精密巻き取り制御システムを採用し、サーボモーター駆動制御システムを備え、一定張力と一定速度制御を実現します。
1. 自動フィルム平坦化システムを搭載しており、フィルムにシワが寄らず、巻き取り品質が高くなります。
2. 閉ループ制御システムを追加することで、成膜速度が向上しました。1100mm幅のPETコイルに多層誘電体フィルムを連続的に塗布でき、良好な再現性と安定したプロセスを実現しました。
3. 巻き取りシステムとターゲットはそれぞれ両端から引き出すことができ、膜ロールの出し入れやメンテナンスターゲットの交換が容易になります。
本装置は高度な自動化を備え、装置の動作状態を自動監視し、故障警報および自動保護機能を備えているため、操作の難易度は低いです。
本装置は、Nb₂O₃、TiO₂、SiO₂などの酸化物、Cu、Al、Cr、Tiなどの単純金属を蒸着することができ、主に多層光学カラーフィルムや単純金属フィルムの蒸着に用いられます。PETフィルム、導電性布帛などのフレキシブルフィルム材料に適しており、携帯電話の装飾フィルム、包装フィルム、EMI電磁波シールドフィルム、ITO透明フィルムなどの製品に広く使用されています。
| オプションモデル | 機器サイズ（幅） |
| RCX1100 | 1100（mm） |
相対的なデバイス
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水平蒸発巻き取りコーティング装置
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実験用ロールツーロールコーティング装置
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耐薬品性・耐熱性に優れた特殊巻き取りコーティング装置。
真空状態で、ワークピースを低圧グロー放電の陰極上に置き、適切なガスを注入します。一定の温度に達すると、ワークピースの表面にコーティングが施されます。