ʻO ka mea hana uhi wili Magnetron ka hoʻohana ʻana i ke ʻano sputtering magnetron e hoʻololi i ka mea uhi i ke ʻano gaseous a ionic paha i loko o kahi vacuum, a laila waiho iā ia ma luna o ka ʻāpana hana e hana i kahi ʻili ʻili mānoanoa. I mea e hoʻomaikaʻi ai i ke ʻano o ka ʻili a loaʻa paha kahi hana kūikawā o ka ʻili hana a hoʻonaninani paha.
Hoʻohana ka lako i ka ʻōnaehana magnetron sputtering a me ka ʻōnaehana hoʻokele wili pololei, a ua lako pono me ka ʻōnaehana hoʻokele servo motor e hoʻomaopopo i ka haunaele mau a me ka hoʻokele wikiwiki mau.
1. I hoʻolako ʻia me ka ʻōnaehana hoʻopālahalaha ʻoniʻoni aunoa, ʻaʻole ʻāwili ke kiʻiʻoniʻoni, a kiʻekiʻe ke ʻano o ka wili.
2. Hoʻohui ʻia ka ʻōnaehana hoʻomalu loop pani e hoʻomaikaʻi i ka helu hoʻokaʻawale. Hiki ke uhi mau ʻia ka ʻili dielectric multilayer ma ka coil PET me ka laulā o 1100mm, me ka hana hou maikaʻi a me ke kaʻina hana paʻa.
3. Hiki ke huki ʻia ka ʻōnaehana wili a me ka pahuhopu mai nā wēlau ʻelua e hoʻomaʻalahi i ka hoʻouka ʻana a me ka wehe ʻana i ka ʻōwili membrane a me ka hoʻololi ʻana i ka pahuhopu mālama.
Loaʻa i nā lako kahi pae kiʻekiʻe o ka automation, nānā ponoʻī i ke kūlana hana o nā lako, a loaʻa iā ia nā hana o ka hoʻāla hewa a me ka pale ponoʻī. ʻAʻole paʻakikī ka hana ʻana o nā lako.
Hiki i nā lako ke waiho i ka Nb2O5, TiO2, SiO2 a me nā oxides ʻē aʻe, Cu, Al, Cr, Ti a me nā metala maʻalahi ʻē aʻe, kahi i hoʻohana nui ʻia no ka waiho ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni kala optical multi-layer a me nā kiʻiʻoniʻoni metala maʻalahi. He kūpono nā lako no ka kiʻiʻoniʻoni PET, ka lole conductive a me nā mea kiʻiʻoniʻoni palupalu ʻē aʻe, a hoʻohana nui ʻia i ka kiʻiʻoniʻoni hoʻonaninani kelepona paʻalima, ka kiʻiʻoniʻoni hoʻopili, ka kiʻiʻoniʻoni pale electromagnetic EMI, ka kiʻiʻoniʻoni aniani ITO a me nā huahana ʻē aʻe.
| Nā kumu hoʻohālike koho | Ka nui o ka lako (ka laulā) |
| RCX1100 | 1100(mm) |