広東振華科技有限公司へようこそ。
シングルバナー

真空蒸着・スパッタリング・イオンコーティングの導入

記事ソース:振華真空
読み取り:10
公開日:2007/11/22

真空コーティングには、主に真空蒸着、スパッタリングコーティング、イオンコーティングがあり、いずれも真空条件下で蒸留またはスパッタリングによってプラスチック部品の表面にさまざまな金属および非金属の膜を蒸着するために使用され、非常に薄い表面コーティングを得ることができます。接着が早いという優れた利点を持っていますが、価格も高く、加工できる金属の種類も少ないため、一般的に高級品の機能性コーティングに使用されています。
真空蒸着・スパッタリング・蒸着技術の紹介
真空蒸着は、高真空下で金属を加熱して溶融、蒸発させ、冷却後のサンプル表面に厚さ0.8~1.2μmの金属薄膜を形成する方法です。成形品表面の微細な凹凸を埋めて鏡面を得ることができます。反射鏡効果を得るために真空蒸着を行う場合や、密着性の低い鋼材を真空蒸着する場合、底面がコーティングする必要があります。

通常、スパッタリングというとマグネトロンスパッタリングを指しますが、これは高速低温スパッタリング法です。このプロセスには、プラスチック基板(アノード)と金属ターゲット(カソード)の間に約1×10-3Torrの真空、つまり不活性ガスアルゴン(Ar)が満たされた1.3×10-3Paの真空状態と高電圧が必要です。直流では、グロー放電によって生成された不活性ガスの電子励起によりプラズマが生成され、プラズマが金属ターゲットの原子を吹き飛ばしてプラスチック基板上に堆積させます。一般的な金属コーティングのほとんどは DC スパッタリングを使用しますが、非導電性セラミック材料は RF AC スパッタリングを使用します。

イオンコーティングは、真空条件下でガス放電を利用してガスまたは蒸発物質を部分的にイオン化し、ガスイオンまたは蒸発物質のイオンの衝撃により蒸発物質またはその反応物を基板上に堆積する方法です。マグネトロンスパッタリングイオンコーティング、反応性イオンコーティング、ホローカソード放電イオンコーティング(ホローカソード蒸着法)、マルチアークイオンコーティング(カソードアークイオンコーティング)などがあります。

縦型両面マグネトロンスパッタリングインライン連続成膜
幅広い応用性があり、ノートパソコンのシェルのEMIシールド層などの電子製品、フラット製品、さらには一定の高さ仕様内のすべてのランプカップ製品にも使用できます。大きな積載能力、コンパクトなクランプ、および両面コーティング用の円錐ライトカップの千鳥状クランプにより、より大きな積載能力を実現できます。品質が安定しており、バッチ間でフィルム層の均一性が良好です。高度な自動化と低いランニング人件費。


投稿時間: 2022 年 11 月 7 日