Kişandina valahiya bi gelemperî depokirina buhara valahiya, xêzkirina rijandinê û pêlavkirina îyonê vedihewîne, ku hemî têne bikar anîn da ku fîlimên cûrbecûr yên metal û ne-metal li ser rûyê perçeyên plastîk bi distîlasyon an rijandin di bin şert û mercên valahiyê de bihêlin, ku dikare rûkalek rûyek pir zirav bistîne. bi avantajek berbiçav a girêdana bilez, lê biha jî bilindtir e, û celebên metalên ku dikarin werin xebitandin kêmtir in, û bi gelemperî ji bo xêzkirina fonksiyonel a hilberên pola bilind têne bikar anîn.
Depokirina buhara valahiya rêbazek germkirina metalê di bin valahiya zêde de ye, ku ew dihele, dihele, û piştî sarbûnê fîlimek metalî ya zirav li ser rûyê nimûneyê çêdike, bi qalindahiya 0,8-1,2 um.Ew perçeyên piçûk ên guhezbar û tenik ên li ser rûyê hilbera hatî çêkirin dadigire da ku rûyek mîna neynikê bi dest bixe. Dema ku hilanîna buhara valahiya an ji bo bidestxistina bandorek neynikê ya refleksîf tê kirin an jî ji bo vaporkirina polayek bi adhezîyonek kêm tê kirin, rûyê jêrîn. divê were pêçan.
Sputtering bi gelemperî behsa kişandina magnetronê dike, ku rêbazek lêçûn-germahiya kêm-leza bilind e.Pêvajo valahiya bi qasî 1×10-3Torr hewce dike, ango 1,3×10-3Pa rewşa valahiya ku bi gaza bêhêz a argon (Ar) dagirtî ye, û di navbera substrata plastîk (anodê) û hedefa metal (katod) û voltaja bilind de. herikîna rasterast, ji ber heyecana elektronê ya gaza bêserûber a ku ji hêla vekêşana ronahiyê ve tê hilberandin, plazmayê hildiberîne, plazma dê atomên hedefa metalê biteqîne û wan li ser substrata plastîk razîne.Piraniya kelûpelên metal ên gelemperî rijandina DC-ê bikar tînin, dema ku materyalên seramîk ên ne-rêvebir rijandina RF AC bikar tînin.
Rakirina îyonê rêgezek e ku tê de vekêşana gazê tê bikar anîn da ku bi qismî gazê an maddeya hilkirî di bin şert û mercên valahiyê de îyonîze bike, û maddeya hilkirî an reaktantên wê bi bombekirina îyonên gazê an îyonên madeya hilkirî li ser substratê têne razandin.Di nav wan de pêlavkirina îyonê ya magnetronê, pêlavkirina îyona reaktîf, pêlava îyonê ya katodê ya vala (rêbaza depokirina vaporê ya katodê ya vala), û pêlavkirina îyonê ya pir-arc (pêlavkirina îyona arkê ya katodê) pêk tê.
Magnetron a dualî ya vertîkal ku di rêzê de pêlava domdar dişoxilîne
Serlêdanek berfereh, dikare ji bo hilberên elektronîkî yên wekî qata parastinê ya EMI-ya şêlê notebook, hilberên guncan, û tewra hemî hilberên kasa çirayê di hundurê diyariyek bilindahiyê de bêne hilberandin.Kapasîteya barkirinê ya mezin, şilkirina tevhev û şemitandina qedehên ronahiyê yên konîk ên ji bo kişandina dualî, ku dikare xwedan kapasîteya barkirinê mezintir be.Qalîteya stabîl, domdariya baş a qatê fîlimê ji hevokê heya hev.Asta bilind a otomasyonê û lêçûna kedê ya kêm.
Dema şandinê: Nov-07-2022