Ko te paninga korehau kei te nuinga o te waa ko te whakangao kohu, te paninga sputtering me te paninga katote, ka whakamahia katoa ki te whakatakoto i nga momo konganuku me nga kiriata kore-whakarewa i runga i te mata o nga waahanga kirihou ma te whakamaarama me te pupuhi i raro i nga tikanga korehau, ka taea te whiwhi i te paninga mata tino kikokore. me te tino painga o te piri tere, engari he nui ake te utu, he iti ake nga momo konganuku ka taea te whakahaere, a ka whakamahia mo te paninga mahi o nga hua teitei.
Ko te whakaheke i te kohu korehau he tikanga whakamahana i te whakarewa i raro i te korehau teitei, ka rewa, ka mimiti, ka hanga he kiriata whakarewa angiangi i runga i te mata o te tauira i muri i te whakamatao, me te matotoru o te 0.8-1.2 um.Ka whakakiia e ia nga waahanga iti me nga waahanga convex i runga i te mata o te hua hanga ki te whiwhi i te mata whakaata-rite.I te wa e mahia ana te waipara kohu korehau ki te whiwhi i te paanga whakaata whakaata ranei ki te whakangote i te maitai me te piri iti, te mata o raro. me whakakikoruatia.
I te nuinga o te wa e pa ana te pupuhi ki te magnetron sputtering, he tikanga whakaheke i te wera iti-tere.Ko te tukanga e hiahia ana he korehau mo te 1×10-3Torr, ko te 1.3×10-3Pa te ahua korehau kua whakakiia ki te argon hau mokowhiti (Ar), i waenga i te taputapu kirihou (anode) me te taumata whakarewa (cathode) me te ngaohiko teitei. naianei tika, na te hihiko irahiko o te hau koretake i puta mai i te rere o te mura, te whakaputa plasma, ka pupuhihia e te plasma nga ngota o te whaainga whakarewa ka tuu ki runga i te taputapu kirihou.Ko te nuinga o nga paninga whakarewa whanui e whakamahi ana i te pupuhi DC, i te mea ko nga rauemi uku kore-conductive e whakamahi ana i te RF AC sputtering.
Ko te paninga katote he tikanga e whakamahia ai te rerenga hau ki te katote i te hau, te matū whakaeto ranei i raro i nga tikanga korehau, a ko te matū whakaeto me ona tauhohenga ka tukuna ki runga i te tïpako ma te pupuhi i nga katote hau, nga katote ranei o te matū whakaeto.Kei roto i enei ko te paninga katote katote whakakoi magnetron, te paninga katote tauhohenga, te paninga katote tukunga katode hollow (te tikanga whakangao kohu katote katote), me te paninga katote pewa-maha (te paninga katote arc cathode).
Poutū-taha-rua magnetron sputtering paninga tonu i roto i te raina
Ka taea te whakamahi mo nga hua hiko penei i te anga pukatuhi paparanga EMI, nga hua papatahi, tae atu ki nga hua kapu rama katoa i roto i tetahi tohu teitei ka taea te whakaputa.He nui te kaha o te uta, te awhi kiato me te awhi awhiowhio o nga kapu marama koeko mo te paninga taha-rua, ka nui ake te kaha o te uta.Ko te kounga pumau, he pai te rite o te paparanga kiriata mai i te puranga ki te puranga.Te taumata teitei o te mahi aunoa me te iti o te utu mahi.
Wā tuku: Nov-07-2022