Fa'atomuaga o le fa'aputuina o le ausa gaogao, fa'afefeteina ma le fa'apipi'iina o ion

O le fa'amama fa'amama e masani lava ona aofia ai le fa'aputuina o le ausa gaogao, fa'apipi'iina o le ufiufi ma le ion coating, o ia mea uma e fa'aaogaina e teu ai u'amea eseese ma ata e leai ni u'amea i luga o le pito i luga o vaega palasitika e ala i le fa'amama po'o le sputtering i lalo o tulaga gaogao, lea e mafai ona maua ai se pa'u mama manifinifi. faʻatasi ai ma le tulaga sili ona lelei o le pipii vave, ae o le tau e maualuga atu foi, ma o ituaiga o metala e mafai ona faʻaaogaina e itiiti ifo, ma e masani ona faʻaaogaina mo le faʻaogaina o le faʻaogaina o oloa maualuga.

Vacuum vapor deposition o se auala e faʻamafanafanaina ai le uamea i lalo o le maualuga maualuga, faʻafefeteina, faʻafefe, ma fausia ai se ata uʻamea manifinifi i luga o le faʻataʻitaʻiga pe a maeʻa le malulu, ma le mafiafia o le 0.8-1.2 um.E faatumuina i le vaega concave ma convex laiti i luga o le mata o le oloa fausia e maua ai se faʻata-pei surface.When faʻapipiʻi ausa gaogao ua faia pe maua ai se aafiaga faʻata faʻata poʻo le vacuum vaporize se uʻamea ma adhesion maualalo, o le pito i lalo. e tatau ona ufiufi.

Sputtering e masani ona faasino i le magnetron sputtering, o se auala maualuga-maualalo-maualalo sputtering auala.O le faagasologa e manaʻomia ai se gaogao e uiga i le 1 × 10-3Torr, o le 1.3 × 10-3Pa vacuum state ua tumu i le argon gas inert (Ar), ma le va o le palasitika substrate (anode) ma le uʻamea (cathode) faʻatasi ai ma le maualuga-voltage. i le taimi nei tuusaʻo, ona o le eletise eletise o le kasa inert e mafua mai i le susulu o le moli, gaosia le plasma, o le plasma o le a faʻaumatia i fafo atoms o le uʻamea uʻamea ma teuina i luga o le palasitika substrate.O le tele o pa'u u'amea lautele e fa'aaogaina le DC sputtering, a'o mea e le fa'aaogaina sima e fa'aogaina ai le RF AC sputtering.

Ion coating o se metotia lea e faʻaaogaina ai le faʻamalo o le kesi e faʻamalo ai se vaega o le kesi poʻo le mea ua faʻamama i lalo o tulaga gaogao, ma o le mea faʻamama poʻo ona mea faʻafefe o loʻo teuina i luga o le substrate e ala i le pomuina o kesi poʻo ions o le mea faʻafefe.O ia mea e aofia ai le fa'apipi'iina o le ion o le magnetron sputtering, le fa'afefe o le ion reactive, le ufiufi o le ion o le cathode o'o'o (auto'a le tu'uina o le ausa o le cathode), ma le fa'apipi'iina o le tele-arc ion (cathode arc ion coating).

Tusa'o itu lua magnetron sputtering fa'alavalava fa'aauau i laina
Fa'aoga lautele, e mafai ona fa'aoga mo mea fa'aeletoroni e pei o le api api EMI fa'apipi'i puipui, oloa mafolafola, ma e o'o lava i oloa ipu moli uma i totonu o se fa'amatalaga maualuga e mafai ona gaosia.Lafoa'i uta gafatia, fa'apipi'i fa'apipi'i ma fa'ata'ape'apeina o ipu malamalama conical mo le fa'apipi'i lua itu, lea e mafai ona tele atu le gafatia o uta.Fa'amautu lelei, lelei fa'atasi o le ata tifaga mai lea vaega i lea vaega.Tulaga maualuga o le masini ma le tau maualalo o tagata faigaluega.