蒸着コーティング機の真空システムの一般的な操作手順

真空蒸着コーティング装置は、各種真空システムの操作、起動・停止プロセス、故障発生時の汚染防止などに関して厳格な要件があり、操作手順を遵守する必要があります。

1.機械式ポンプは、15Pa～20Pa以上の圧力までしか汲み上げることができません。それ以上の圧力では、深刻な逆流汚染問題を引き起こす可能性があります。
2. 吸着ポンプには、加圧破裂防止装置を設置し、加熱後の事故を防止します。
3．停止時には、コールドトラップを真空チャンバーから隔離し、液体窒素が排出され、温度が元に戻った後にのみ高真空ポンプを停止する必要があります。
4. 拡散ポンプは、通常運転前およびポンプ停止後20分以内に油蒸気汚染が非常に大きくなるため、真空チャンバーやコールドトラップに接続してはいけません。
5. 分子ふるい、分子ふるい固体粉末への分子ふるいの吸着トラップや機械式ポンプによる吸収を回避します。蒸着コーティング機の真空システムが真空度要件を満たせない場合、またはポンプで送液できない場合は、まずポンプ装置の動作状態を確認し、次にブリード源が存在するかどうかを確認します。真空部品を組み立てる前に、真空システムを洗浄、乾燥させ、漏れがないか確認し、合格してから使用する必要があります。次に、取り外し可能な部品のシールリングの清浄状態、シール面の傷の問題、接続の密着性の問題などを確認します。

指紋防止コーティング装置

指紋防止コーティング装置は、マグネトロンスパッタリング成膜技術を採用しており、フィルムの密着性、硬度、防汚性、耐摩擦性、耐溶剤性、耐老化性、耐膨れ性、耐沸騰性といった性能上の問題を解決するだけでなく、同一炉内でARフィルムとAFフィルムを製造できるため、金属やガラス表面のカラー装飾、ARフィルム、AF/ASフィルムの大量生産に特に適しています。この装置は、大容量、高効率、シンプルなプロセス、簡単な操作、そして良好なフィルム層の均一性を備えています。優れたフィルム層性能に加え、環境に優しいプロセスを採用しています。

この装置は、携帯電話のガラスカバー、携帯電話のレンズ、防爆フィルムなどの表面処理分野において、AR+AFコーティングを施すために広く使用されており、これらの製品の防汚性を向上させ、表面の清掃を容易にし、寿命を延ばします。