ຂັ້ນຕອນການປະຕິບັດງານທົ່ວໄປຂອງລະບົບສູນຍາກາດເຄື່ອງເຄືອບລະເຫີຍ

ເຄື່ອງເຄືອບລະເຫີຍສູນຍາກາດມີຂໍ້ກຳນົດທີ່ເຂັ້ມງວດສຳລັບການເຮັດວຽກຂອງລະບົບສູນຍາກາດຕ່າງໆ, ຂະບວນການເລີ່ມຕົ້ນ-ຢຸດ, ການປົກປ້ອງຈາກມົນລະພິດເມື່ອເກີດຄວາມຜິດພາດ, ແລະອື່ນໆ, ແລະຄວນປະຕິບັດຕາມຂັ້ນຕອນການດຳເນີນງານ.

1. ປໍ້າກົນຈັກ, ເຊິ່ງສາມາດປໍ້າໄດ້ພຽງແຕ່ 15Pa ~ 20Pa ຫຼືສູງກວ່າ, ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນມັນຈະເຮັດໃຫ້ເກີດບັນຫາມົນລະພິດຍ້ອນກັບຢ່າງຮຸນແຮງ.
2, ປໍ້າດູດຊຶມ, ເພື່ອຕັ້ງຄ່າອຸປະກອນລະເບີດຕ້ານຄວາມກົດດັນ, ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນອຸບັດຕິເຫດຫຼັງຈາກກັບຄືນອຸ່ນ.
3、ເມື່ອຢຸດ, ຄວນແຍກຕົວກັບດັກເຢັນອອກຈາກຫ້ອງສູນຍາກາດ, ແລະ ຄວນຢຸດສູບສູນຍາກາດສູງຫຼັງຈາກທີ່ໄນໂຕຣເຈນແຫຼວຖືກຍົກເວັ້ນ ແລະ ອຸນຫະພູມກັບຄືນສູ່ສະພາບປົກກະຕິເທົ່ານັ້ນ.
4, ປໍ້າກະຈາຍ, ກ່ອນການເຮັດວຽກປົກກະຕິ ແລະ ຢຸດປໍ້າພາຍໃນ 20 ນາທີ, ມົນລະພິດໄອນໍ້າມັນມີຂະໜາດໃຫຍ່ຫຼາຍ, ສະນັ້ນບໍ່ຄວນເຊື່ອມຕໍ່ກັບຫ້ອງສູນຍາກາດ ຫຼື ບ່ອນດັກເຢັນ.
5, ຕະແກງໂມເລກຸນ, ຫຼີກລ່ຽງການດັກດູດຂອງຕະແກງໂມເລກຸນໃນຜົງແຂງຂອງຕະແກງໂມເລກຸນ ຫຼື ການດູດຊຶມໂດຍປັ໊ມກົນຈັກ. ຖ້າລະບົບສູນຍາກາດຂອງເຄື່ອງເຄືອບລະເຫີຍບໍ່ສາມາດບັນລຸລະດັບສູນຍາກາດທີ່ຕ້ອງການ ຫຼື ບໍ່ສາມາດສູບໄດ້, ທ່ານສາມາດກວດສອບສະຖານະການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນສູບກ່ອນ, ຈາກນັ້ນກວດສອບວ່າມີແຫຼ່ງລະບາຍອາກາດຫຼືບໍ່. ກ່ອນທີ່ຈະປະກອບຊິ້ນສ່ວນສູນຍາກາດ, ລະບົບສູນຍາກາດຄວນໄດ້ຮັບການເຮັດຄວາມສະອາດ, ຕາກແຫ້ງ ແລະ ກວດສອບການຮົ່ວໄຫຼ, ແລະ ຫຼັງຈາກນັ້ນຄວນໃຊ້ຫຼັງຈາກມັນມີຄຸນສົມບັດແລ້ວເທົ່ານັ້ນ. ຈາກນັ້ນກວດສອບສະພາບທີ່ສະອາດຂອງວົງແຫວນປະທັບຕາຊິ້ນສ່ວນທີ່ສາມາດຖອດອອກໄດ້, ບັນຫາຮອຍຂີດຂ່ວນຂອງໜ້າຜິວປະທັບຕາ, ບັນຫາການເຊື່ອມຕໍ່ທີ່ແໜ້ນໜາ, ແລະອື່ນໆ.

ອຸປະກອນເຄືອບປ້ອງກັນຮອຍນິ້ວມື

ເຄື່ອງເຄືອບຕ້ານຮອຍນິ້ວມືນີ້ໃຊ້ເຕັກໂນໂລຊີການສ້າງຟິມ magnetron sputtering, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ແກ້ໄຂບັນຫາປະສິດທິພາບຂອງການຍຶດຕິດຂອງຟິມ, ຄວາມແຂງ, ຄວາມຕ້ານທານຝຸ່ນ, ຄວາມຕ້ານທານແຮງສຽດທານ, ຄວາມຕ້ານທານຂອງຕົວລະລາຍ, ຄວາມຕ້ານທານການແກ່ຕົວ, ຄວາມຕ້ານທານການພອງຕົວ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຕົ້ມເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງສາມາດຜະລິດຟິມ AR ແລະ ຟິມ AF ໃນເຕົາດຽວກັນ, ເຊິ່ງເໝາະສົມໂດຍສະເພາະສຳລັບການຜະລິດສີຕົກແຕ່ງພື້ນຜິວໂລຫະ ແລະ ແກ້ວ, ຟິມ AR, ຟິມ AF/AS ເປັນຈຳນວນຫຼາຍ. ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວມີຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດຂະໜາດໃຫຍ່, ປະສິດທິພາບສູງ, ຂະບວນການງ່າຍດາຍ, ການເຮັດວຽກງ່າຍ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຊັ້ນຟິມທີ່ດີ. ນອກເໜືອໄປຈາກປະສິດທິພາບຂອງຊັ້ນຟິມທີ່ດີກວ່າ, ມັນຍັງມີຂະບວນການທີ່ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ.

ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຊັ້ນໃນຂົງເຂດການປະມວນຜົນພື້ນຜິວຂອງຝາປິດແກ້ວໂທລະສັບມືຖື, ເລນໂທລະສັບມືຖື, ຟິມກັນລະເບີດ, ແລະອື່ນໆ, ເພື່ອເຄືອບ AR+AF, ດັ່ງນັ້ນຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ຈຶ່ງມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ຝຸ່ນໄດ້ດີຂຶ້ນ, ງ່າຍຕໍ່ການເຮັດຄວາມສະອາດພື້ນຜິວ ແລະ ມີອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານ.