Usoro ọrụ nkịtị nke sistemu igwe ikuku mkpuchi evaporation

Igwe mkpuchi ikuku nke na-ekupụ ihe nwere ihe achọrọ siri ike maka ọrụ nke sistemụ ikuku dị iche iche, usoro mmalite-nkwụsị, nchebe pụọ na mmetọ mgbe nsogbu bilitere, wdg, ma kwesịrị ịgbaso usoro ọrụ.

1.Mpapu igwe, nke nwere ike ịgbapụta ruo 15Pa ~ 20Pa ma ọ bụ karịa, ma ọ bụghị ya, ọ ga-eweta nnukwu nsogbu mmetọ azụ.
2, Mgbapụta Adsorption, iji hazie ngwaọrụ mgbochi nrụgide, iji zere ihe mberede mgbe azụ ọkụ gasịrị.
3, Mgbe ị kwụsịrị, a ga-ekewapụ ọnyà oyi n'ime ụlọ ikuku, a ga-akwụsịkwa ọkpọkọ ikuku dị elu naanị mgbe ewepụrụ nitrogen mmiri mmiri ma weghachite okpomọkụ.
4, Mgbapụta mgbasa, tupu ọrụ nkịtị na nkwụsị mgbapụta n'ime nkeji iri abụọ, mmetọ uzuoku mmanụ dị oke ukwuu, yabụ agaghị ejikọ ya na ụlọ ikuku ma ọ bụ ọnyà oyi.
5, Mkpọchi molekul, zere ọnyà mkpọchi molekul na ntụ ntụ siri ike nke sieve molekul ma ọ bụ mkpọchi site na ọkpọkọ igwe. Ọ bụrụ na sistemụ mkpọchi evaporation enweghị ike iru ihe achọrọ maka ọkwa vacuum ma ọ bụ enweghị ike ịgbapụta ya, ị nwere ike lelee ọnọdụ ọrụ nke ngwaọrụ mkpọchi ahụ mbụ, wee lelee ma isi iyi ọbara dị. Tupu ịchịkọta akụkụ vacuum ahụ, a ga-ehicha sistemụ vacuum ahụ, kpọọ nkụ ma lelee maka mmiri na-agbapụta, wee jiri ya naanị mgbe ọ ruru eru. Mgbe ahụ lelee ọnọdụ dị ọcha nke mgbaaka akara akụkụ a na-ewepụ ewepụ, nsogbu ọkọ nke elu mkpuchi ahụ, nsogbu njikọ siri ike, wdg.

Ngwa mkpuchi mkpisiaka mgbochi

Igwe mkpuchi ihe mgbochi mkpịsị aka na-eji teknụzụ magnetron sputtering film-forming, nke na-edozi nsogbu arụmọrụ nke njikọta ihe nkiri, ike, iguzogide unyi, iguzogide esemokwu, iguzogide ihe mgbaze, iguzogide ịka nká, iguzogide ọnya na iguzogide esi mmiri, kamakwa ọ nwere ike imepụta ihe nkiri AR na ihe nkiri AF n'otu ọkụ ahụ, nke dabara adaba karịsịa maka mmepụta nke mma agba elu ígwè na iko, ihe nkiri AR, ihe nkiri AF/AS. Ngwa a nwere nnukwu ikike ibu ibu, arụmọrụ dị elu, usoro dị mfe, ọrụ dị mfe na ezigbo nguzozi oyi akwa ihe nkiri. Na mgbakwunye na arụmọrụ oyi akwa ihe nkiri dị elu, ọ nwere usoro dị mma maka gburugburu ebe obibi.

A na-eji ngwa a eme ihe nke ọma n'ọkwa nhazi elu nke mkpuchi iko ekwentị, oghere ekwentị, ihe mkpuchi na-egbochi mgbawa, wdg, iji kpuchie AR+AF, ka ngwaahịa ndị a wee nwee ike iguzogide unyi ka mma, dị mfe ihicha elu ma dị ogologo ndụ.