ขั้นตอนการทำงานทั่วไปของระบบสุญญากาศของเครื่องเคลือบแบบระเหย

เครื่องเคลือบผิวด้วยระบบระเหยสุญญากาศมีข้อกำหนดที่เข้มงวดสำหรับการใช้งานระบบสุญญากาศต่างๆ กระบวนการเริ่ม-หยุด การป้องกันการปนเปื้อนเมื่อเกิดข้อผิดพลาด ฯลฯ และต้องปฏิบัติตามขั้นตอนการใช้งานอย่างเคร่งครัด

1. ปั๊มเชิงกล ซึ่งสามารถสูบน้ำได้เพียง 15Pa~20Pa หรือสูงกว่านั้น หากสูงกว่านั้นจะก่อให้เกิดปัญหามลพิษจากการไหลย้อนกลับอย่างรุนแรง
2. ปั๊มดูดซับ ติดตั้งอุปกรณ์ป้องกันแรงดันเกิน เพื่อป้องกันอุบัติเหตุหลังการไหลกลับที่อุณหภูมิสูงขึ้น
3. เมื่อหยุดการทำงาน ควรแยกกับดักความเย็นออกจากห้องสุญญากาศ และควรหยุดปั๊มสุญญากาศแรงสูงก็ต่อเมื่อได้ระบายไนโตรเจนเหลวออกไปหมดแล้วและอุณหภูมิกลับสู่ระดับปกติแล้วเท่านั้น
4. ปั๊มแบบแพร่กระจาย (Diffusion pump) ก่อนใช้งานตามปกติและหยุดปั๊มภายใน 20 นาที จะเกิดมลพิษจากไอน้ำมันสูงมาก ดังนั้นจึงไม่ควรเชื่อมต่อกับห้องสุญญากาศหรือกับดักความเย็น
5. สารดูดความชื้นโมเลกุล (Molecular sieve) ควรหลีกเลี่ยงการดักจับการดูดซับของสารดูดความชื้นโมเลกุลในผงแข็งหรือการดูดซับโดยปั๊มกลไก หากระบบสุญญากาศของเครื่องเคลือบแบบระเหยไม่สามารถสร้างสุญญากาศได้ตามที่ต้องการหรือไม่สามารถสูบอากาศได้ ควรตรวจสอบสถานะการทำงานของอุปกรณ์สูบอากาศก่อน จากนั้นตรวจสอบว่ามีแหล่งรั่วหรือไม่ ก่อนประกอบชิ้นส่วนสุญญากาศ ควรทำความสะอาด เช็ดให้แห้ง และตรวจสอบการรั่วซึมของระบบสุญญากาศก่อน จึงจะสามารถใช้งานได้หลังจากผ่านการตรวจสอบแล้ว จากนั้นตรวจสอบความสะอาดของแหวนซีลชิ้นส่วนที่ถอดได้ ปัญหาการขีดข่วนของพื้นผิวซีล ปัญหาการเชื่อมต่อที่แน่นหนา ฯลฯ

อุปกรณ์เคลือบป้องกันรอยนิ้วมือ

เครื่องเคลือบป้องกันรอยนิ้วมือใช้เทคโนโลยีการขึ้นรูปฟิล์มแบบแมกเนตรอนสปัตเตอร์ ซึ่งไม่เพียงแต่แก้ปัญหาด้านประสิทธิภาพการยึดเกาะของฟิล์ม ความแข็ง ความต้านทานสิ่งสกปรก ความต้านทานแรงเสียดทาน ความต้านทานตัวทำละลาย ความต้านทานการเสื่อมสภาพ ความต้านทานการเกิดฟอง และความต้านทานการเดือดเท่านั้น แต่ยังสามารถผลิตฟิล์ม AR และฟิล์ม AF ในเตาเดียวกันได้ ซึ่งเหมาะอย่างยิ่งสำหรับการผลิตจำนวนมากของการตกแต่งสีพื้นผิวโลหะและกระจก ฟิล์ม AR และฟิล์ม AF/AS อุปกรณ์นี้มีกำลังการผลิตสูง ประสิทธิภาพสูง กระบวนการง่าย ใช้งานง่าย และความสม่ำเสมอของชั้นฟิล์มที่ดี นอกจากประสิทธิภาพของชั้นฟิล์มที่เหนือกว่าแล้ว ยังมีกระบวนการที่เป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อมอีกด้วย

อุปกรณ์นี้ถูกนำไปใช้อย่างแพร่หลายในงานเคลือบผิวของผลิตภัณฑ์ต่างๆ เช่น กระจกครอบโทรศัพท์มือถือ เลนส์โทรศัพท์มือถือ ฟิล์มกันระเบิด เป็นต้น เพื่อเคลือบสาร AR+AF ทำให้ผลิตภัณฑ์เหล่านี้มีคุณสมบัติทนทานต่อสิ่งสกปรกได้ดีขึ้น ทำความสะอาดพื้นผิวได้ง่ายขึ้น และมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น