蒸発コーティング機の真空システムの一般的な操作手順

真空蒸着コーティング機には、各種真空システムの操作、始動・停止プロセス、障害発生時の汚染防止などについて厳しい要件があり、操作手順に従う必要があります。

1.機械式ポンプは15Pa～20Pa以上までしかポンプできません。そうでない場合、深刻な逆流汚染問題が発生します。
2、吸着ポンプは、圧力破裂防止装置を配置し、暖機後の事故を回避します。
3、停止時はコールドトラップを真空チャンバーから隔離し、液体窒素が排除されて温度が戻った後にのみ高真空ポンプを停止してください。
4、拡散ポンプは、通常運転の前に20分以内にポンプを停止してください。油蒸気汚染が非常に大きいため、真空チャンバーやコールドトラップに接続しないでください。
5. 分子ふるいは、分子ふるい固体粉末への分子ふるい吸着トラップや機械式ポンプによる吸着を回避します。蒸着コーティング機の真空システムが真空度要件を満たせない、またはポンプできない場合は、まずポンプ装置の動作状態を確認し、次にブリード源の有無を確認してください。真空部品を組み立てる前に、真空システムを洗浄、乾燥し、漏れがないか確認し、合格してから使用してください。その後、取り外し可能な部品のシールリングの清浄状態、シール面の傷の問題、接続部の密着不良などを確認してください。

指紋防止コーティング装置

指紋防止コーティング装置は、マグネトロンスパッタリング成膜技術を採用しており、フィルムの密着性、硬度、耐汚染性、耐摩擦性、耐溶剤性、耐老化性、耐ブリスター性、耐沸騰性といった性能上の問題を解決するだけでなく、同一炉内でARフィルムとAFフィルムを製造できるため、金属・ガラス表面の着色装飾、ARフィルム、AF/ASフィルムの大量生産に特に適しています。本装置は、大きな積載量、高効率、シンプルなプロセス、簡単な操作性、良好な膜層均一性を備えています。優れた膜層性能に加え、環境に優しいプロセスも備えています。

この装置は、携帯電話のガラスカバー、携帯電話のレンズ、防爆フィルムなどの表面処理分野で、AR+AF コーティング層に広く使用されており、これらの製品の汚れ防止性が向上し、表面の清掃が容易になり、寿命が長くなります。