実験用ロールツーロールコーティング装置は、マグネトロンスパッタリングとカソードアークを組み合わせたコーティング技術を採用し、薄膜のコンパクト性と高いイオン化率の両方の要件を満たしています。装置は垂直構造で、ワーク巻き取りシステムは真空チャンバー内に垂直に設置されています。マルチチャンバードア設計により、カソードは側面ドアに設置され、6組のカソード源またはイオン源を設置できます。ドアを開けることでターゲットのメンテナンスや交換が可能です。この装置は、ワークの表面処理と多層コーティングを一度に行うことで、多層膜の堆積を実現します。様々な金属や複合コーティング材料に適しています。
本装置は、美しい外観、コンパクトな構造、省スペース、高度な自動化、シンプルで柔軟な操作性、安定した性能、容易なメンテナンスといった特徴を備えています。特に研究室や大学での使用に最適です。お客様の様々なニーズに合わせてお選びいただけます。
| オプションモデル | 機器サイズ(幅) |
| RCW300 | 300mm |