אפיון שכבה אופטית דקה כולל אפיון של תכונות אופטיות, פרמטרים אופטיים ותכונות לא אופטיות. התכונות האופטיות מתייחסות בעיקר לתכונות ההחזרה הספקטרלית, העברה ואובדן אופטי (אובדן ספיגה ואובדן החזרה) של שכבה אופטית דקה. העברה והחזרה הן התכונות האופטיות הבסיסיות ביותר של שכבות אופטיות דקות, ולכן בדיקת העברה והחזרה של שכבה דקה היא טכניקת הבדיקה הבסיסית עבור שכבות אופטיות דקות. פרמטרים אופטיים של שכבה אופטית דקה כוללים מקדם שבירה, מקדם ספיגה ועובי שכבה אופטית. עקב הסטייה הסטוכיומטרית במרכיבי החומר של שכבה אופטית דקה שהוכנה בתהליך בפועל, המבנה כבר אינו הומוגני וצפוף, אך ישנם מיקרו-מבנים ופגמים שונים, שכבת שכבה דיאלקטרית כבר אינה שקופה לחלוטין, ויש ספיגה חלשה, בעוד שיש חוסר אחידות מרחבית ואניסוטרופיה פאזית במקדם השבירה של שכבה אופטית, והשכבה כבר אינה ממשק אינסופי וחלק. חשוב מכך, בתהליך ההכנה בפועל, לפרמטרים של תהליך הכנת הסרט יש השפעה גדולה מאוד על הפרמטרים האופטיים של הסרט, ולכן אישור בזמן אמת של הפרמטרים האופטיים של הסרט הוא קריטי מאוד. בנוסף, סרט אופטי דק כמכשיר המשמש בסביבה בפועל, בנוסף למאפיינים האופטיים של המכשיר צריך לעמוד בדרישות, לסרט ישנם מאפיינים חשובים רבים אחרים שאינם אופטיים המשפיעים על השימוש בסרט, כגון הידבקות הסרט, מאמץ הסרט, קשיות הסרט וחספוס פני השטח ויכולת הסרט לעמוד בסביבה וכן הלאה. לכן, חשוב למדוד במדויק את כל הפרמטרים או המאפיינים השונים המשפיעים על השימוש במכשירי סרט דק.
העברה והחזרה של שכבות דקות נבדקות בעיקר באמצעות מנתחי בדיקה ספקטרליים. מנתחים ספקטרליים לבדיקת שכבות אופטיות ניתנים לחלוקה לספקטרופוטומטרים UV-Vis, ספקטרופוטומטרים אינפרא אדום וספקטרומטרים פורייה אינפרא אדום בהתאם לתחומי הבדיקה השונים. שני הראשונים משתמשים בעקרון ספקטרוסקופיית הספקטרוסקופיה הספקטרלית של מערכת ניתוח ובדיקה, והאחרון מבוסס על עקרון מערכת ניתוח ספקטרלי של התאבכות. בשל המבנים והצורות הגיאומטריות השונים של התקני שכבה דקה, למרות שכל מדידות ההעברה וההחזרה, אך עבור צורות שונות, דיוק שונה או דרישות קיטוב שונות, עשויות לדרוש שיטות וטכניקות בדיקה שונות.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 3 בנובמבר 2023