Il ruolo delle diverse pompe per vuoto nel sistema per vuoto

Le prestazioni delle diverse pompe per vuoto presentano altre differenze oltre alla capacità di pompare il vuoto nella camera. Pertanto, è fondamentale chiarire il ruolo svolto dalla pompa nel sistema per vuoto al momento della scelta, e il ruolo svolto dalla pompa nei diversi ambiti di applicazione è riassunto di seguito.

1. Essendo la pompa principale del sistema
La pompa principale è la pompa per vuoto che pompa direttamente la camera pompata del sistema per vuoto per ottenere il grado di vuoto richiesto per soddisfare i requisiti del processo.
2. Pompa di pompaggio ruvida
La pompa di pompaggio grossolana è una pompa a vuoto che inizia a ridurre la pressione dell'aria e la pressione del sistema a vuoto raggiunge un altro sistema di pompaggio che può iniziare a funzionare.
3、Pompa pre-stadio
La pompa pre-stadio è una pompa a vuoto utilizzata per mantenere la pressione pre-stadio di un'altra pompa al di sotto della sua massima pressione pre-stadio consentita.
4、Pompa di tenuta
La pompa di mantenimento è una pompa che non può utilizzare efficacemente la pompa principale di pre-stadio quando il pompaggio del sistema per vuoto è molto ridotto. Per questo motivo, nel sistema per vuoto viene utilizzata un'altra pompa ausiliaria di pre-stadio con velocità di pompaggio inferiore per mantenere il normale funzionamento della pompa principale o per mantenere la bassa pressione richiesta dal contenitore svuotato.
5. Pompa per vuoto grezzo o pompa per vuoto basso
La pompa per vuoto grossolano o basso è una pompa per vuoto che parte dall'aria e funziona nell'intervallo di bassa o alta pressione del vuoto dopo aver ridotto la pressione del contenitore pompato.
6. Pompa per alto vuoto
La pompa per vuoto spinto si riferisce alla pompa per vuoto che funziona in un intervallo di vuoto spinto.
7. Pompa per vuoto ultra-alto
Con pompa per vuoto ultra-elevato si intende la pompa per vuoto che funziona in un intervallo di vuoto ultra-elevato.
8. Pompa booster
La pompa booster di solito si riferisce alla pompa per vuoto che funziona tra la pompa per vuoto basso e la pompa per vuoto alto per aumentare la capacità di pompaggio del sistema di pompaggio nell'intervallo di pressione media o ridurre la portata di pompaggio richiesta dalla prima pompa.

Introduzione a Ion Cleaner

Pulitore al plasma
1. Il plasma è un gas ionizzato in cui le densità di ioni positivi ed elettroni sono approssimativamente uguali. È costituito da ioni, elettroni, radicali liberi e particelle neutre.
2. È il quarto stato della materia. Poiché il plasma è una combinazione di energia superiore a quella dei gas, la sostanza nell'ambiente plasmatico può acquisire maggiori caratteristiche fisico-chimiche e di reazione.
3. Il meccanismo della macchina per la pulizia al plasma si basa sullo “stato di plasma” dell'”effetto di attivazione” del materiale per rimuovere le macchie superficiali.
4. La pulizia al plasma è anche il metodo di pulizia con la rimozione più completa tra tutti i metodi. Può essere ampiamente utilizzata nei processi di semiconduttori, microelettronica, COG, LCD, LCM e LED.
5. Pulizia di precisione prima dell'imballaggio dei dispositivi, elettronica sotto vuoto, connettori e relè, industria solare fotovoltaica, pulizia di superfici in plastica, gomma, metallo e ceramica, trattamento di incisione, trattamento di incenerimento, attivazione superficiale e altri campi di esperimenti nelle scienze della vita.