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Linea di produzione orizzontale per rivestimenti di semiconduttori bifacciali

  • Rivestimento sputtering orizzontale bifacciale
  • Applicabile ai prodotti dell'industria dei semiconduttori
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    prodotto

    DESCRIZIONE DEL PRODOTTO

    La linea di rivestimento adotta una struttura modulare, che consente di ampliare la camera in base alle esigenze di processo e di efficienza, e può essere rivestita su entrambi i lati, il che la rende flessibile e pratica. Dotata di un sistema di pulizia ionica, di un sistema di riscaldamento rapido e di un sistema di sputtering magnetron a corrente continua, può depositare in modo efficiente rivestimenti metallici semplici. L'apparecchiatura offre velocità di battuta, un serraggio pratico e un'elevata efficienza.

    La linea di rivestimento è dotata di un sistema di pulizia ionica e di cottura ad alta temperatura, che migliora l'adesione del film depositato. Lo sputtering a basso angolo con target rotante è ideale per la deposizione del film sulla superficie interna di piccole aperture.

    1. L'attrezzatura ha una struttura compatta e una superficie di pavimento ridotta.
    2. Il sistema del vuoto è dotato di pompa molecolare per l'estrazione dell'aria, a basso consumo energetico.
    3. Il ritorno automatico del materiale in rastrelliera consente di risparmiare manodopera.
    4. I parametri di processo possono essere tracciati e il processo di produzione può essere monitorato nell'intero processo per facilitare il tracciamento dei difetti di produzione.
    5. La linea di verniciatura ha un elevato grado di automazione. Può essere utilizzata con il manipolatore per collegare i processi anteriore e posteriore e ridurre i costi di manodopera.

    Può sostituire la stampa di pasta d'argento nel processo di produzione dei condensatori, con maggiore efficienza e costi inferiori.
    È applicabile a Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn e altri metalli semplici. È stato ampiamente utilizzato in componenti elettronici semiconduttori, come substrati ceramici, condensatori ceramici, supporti ceramici per LED, ecc.

    La macchina può essere progettata secondo le esigenze dei clienti Richiedi un preventivo

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