Einkenni ljósfræðilegra þunnfilma felur í sér einkenni ljósfræðilegra eiginleika, ljósfræðilegra breytna og eiginleika sem ekki tengjast ljósfræðilegum eiginleikum. Ljósfræðilegir eiginleikar vísa aðallega til litrófsendurskins, gegndræpis og ljóstaps (gleypnistaps og endurskinstaps) ljósfræðilegra þunnfilma. Gegndræpi og endurskin eru helstu ljósfræðilegu eiginleikar ljósfræðilegra þunnfilma, þannig að prófun á gegndræpi og endurskini þunnfilma er grunnprófunaraðferðin fyrir ljósfræðilegar þunnfilmur. Ljósfræðilegir breytur ljósfræðilegra þunnfilma eru meðal annars ljósbrotstuðull, gleypnisstuðull og filmuþykkt ljósfræðilegrar þunnfilmu. Vegna steikíómetrískra frávika í efnisþáttum ljósfræðilegrar þunnfilmu sem framleidd er með raunverulegu ferli er uppbyggingin ekki lengur einsleit og þétt, en það eru örbyggingar og ýmsar gallar, rafskautslagið er ekki lengur alveg gegnsætt og frásogið er veikt, en það er rúmfræðileg ójöfnuður og fasaójafnvægi í ljósbrotstuðli filmunnar og filman er ekki lengur óendanlegt og slétt viðmót. Mikilvægara er að í raunverulegu undirbúningsferlinu hafa breytur undirbúningsferlisins mjög mikil áhrif á ljósfræðilega breytur filmunnar, þannig að rauntíma staðfesting á ljósfræðilegum breytum filmunnar er mjög mikilvæg. Þar að auki þarf ljósfræðileg þunnfilma, sem tæki sem notað er í raunverulegu umhverfi, að uppfylla kröfur ljósfræðilegra eiginleika tækisins. Auk ljósfræðilegra eiginleika hafa mörg önnur mikilvæg einkenni sem ekki tengjast ljósfræðilegum eiginleikum filmunnar áhrif á notkun hennar, svo sem viðloðun filmunnar, spenna filmunnar, hörku filmunnar og yfirborðsgrófleiki, þol filmunnar í umhverfinu og svo framvegis. Þess vegna er mikilvægt að mæla nákvæmlega allar þær ýmsu breytur eða eiginleika sem hafa áhrif á notkun þunnfilmubúnaðar.
Gegndræpi og endurskin þunnfilma eru aðallega prófuð með litrófsgreiningartækjum. Litrófsgreiningartæki fyrir ljósfræðilegar filmuprófanir má skipta í UV-Vis litrófsgreiningartæki, innrauða litrófsgreiningartæki og innrauða Fourier litrófsgreiningartæki eftir mismunandi prófunarsviðum. Fyrstu tvö tækin nota litrófsgreiningarregluna um greiningu og prófun, en þau síðarnefndu byggja á truflunarlitrófsgreiningarkerfinu. Vegna mismunandi rúmfræðilegra uppbygginga og lögunar þunnfilmubúnaða, þó að allar mælingar á gegndræpi og endurskini séu mismunandi, geta mismunandi lögun, nákvæmni eða kröfur um skautun krafist mismunandi prófunaraðferða og tækni.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 3. nóvember 2023