Persyaratan lingkungan untuk peralatan pelapisan vakum

Sejakperalatan pelapis vakumbekerja dalam kondisi vakum, peralatan harus memenuhi persyaratan vakum untuk lingkungan. Standar industri untuk berbagai jenis peralatan pelapisan vakum yang diformulasikan di negara saya (termasuk kondisi teknis umum untuk peralatan pelapisan vakum, peralatan pelapisan ion vakum, peralatan pelapisan sputtering vakum, dan peralatan pelapisan penguapan vakum) telah menetapkan persyaratan lingkungan dengan jelas. Hanya dengan memenuhi persyaratan lingkungan dari peralatan pelapisan vakum, peralatan dapat beroperasi secara normal, dan dengan proses pelapisan yang benar, produk pelapis yang memenuhi syarat dapat diproduksi.

Persyaratan lingkungan vakum umumnya mencakup persyaratan peralatan vakum untuk lingkungan sekitar seperti suhu laboratorium (atau bengkel), sedikitnya laba di udara, dan persyaratan untuk komponen atau permukaan dalam keadaan vakum atau dalam vakum. Kedua aspek ini saling terkait erat. Kualitas lingkungan sekitar secara langsung memengaruhi penggunaan normal peralatan vakum, dan apakah ruang vakum peralatan vakum atau komponen yang dimuat di dalamnya dibersihkan secara langsung memengaruhi kinerja peralatan. Jika udara mengandung banyak uap air dan debu, dan ruang vakum belum dibersihkan, sulit untuk mencapai tingkat vakum yang diinginkan dengan menggunakan pompa mekanis tertutup oli untuk memompa udara. Seperti yang kita semua tahu, pompa mekanis tertutup oli tidak cocok untuk memompa gas yang bersifat korosif terhadap logam, reaktif secara kimia terhadap oli vakum, dan mengandung debu partikulat. Uap air adalah gas yang dapat dikondensasikan. Ketika pompa memompa keluar sejumlah besar gas yang dapat dikondensasikan, polusi oli pompa akan lebih serius. Akibatnya, kevakuman akhir pompa akan turun dan kinerja pemompaan pompa akan rusak.

Kondisi kerja normal peralatan pelapisan vakum adalah:

① Suhu sekitar 10~30℃;

② Kelembaban relatif tidak lebih dari 70%;

③ Suhu saluran masuk air pendingin tidak lebih tinggi dari 25°C;

④ Kualitas air pendingin Air ledeng kota atau air dengan kualitas setara;

⑤Tegangan catu daya: 380V, tiga fase 50Hz atau 220V, fase tunggal 50Hz (tergantung pada kebutuhan peralatan listrik yang digunakan), rentang fluktuasi tegangan 342~399V atau 198~231V, rentang fluktuasi frekuensi 49~51Hz;

⑥Tekanan, suhu dan konsumsi harus dinyatakan dalam buku petunjuk produk;

⑦ Lingkungan sekitar peralatan bersih dan udaranya bersih, serta tidak boleh ada debu atau gas yang dapat menyebabkan korosi permukaan peralatan listrik dan bagian logam lainnya atau menyebabkan konduksi listrik antar logam.

Selain itu, laboratorium atau bengkel tempat peralatan pelapis vakum berada harus dijaga kebersihan dan higienisnya. Lantainya berupa lantai teraso atau lantai kayu yang dicat, bebas debu. Untuk mencegah gas yang dikeluarkan dari pompa mekanis mencemari lingkungan laboratorium, dapat digunakan pada lubang pembuangan pompa. Pasang pipa pembuangan (pipa logam, karet) di permukaan untuk membuang gas ke luar.