Az optikai vékonyrétegek jellemzése magában foglalja az optikai tulajdonságok, az optikai paraméterek és a nem optikai tulajdonságok jellemzését. Az optikai tulajdonságok főként az optikai vékonyréteg spektrális visszaverődésére, áteresztőképességére és optikai veszteségére (abszorpciós veszteség és visszaverődési veszteség) vonatkoznak. Az áteresztőképesség és a visszaverődés az optikai vékonyrétegek legalapvetőbb optikai tulajdonságai, így a vékonyréteg áteresztőképességének és visszaverődésének vizsgálata az optikai vékonyrétegek alapvető vizsgálati technikája. Az optikai vékonyréteg optikai paraméterei közé tartozik a törésmutató, az abszorpciós együttható és a film vastagsága. A tényleges eljárással előállított optikai vékonyréteg anyagösszetevőinek sztöchiometrikus eltérése miatt a szerkezet már nem homogén és sűrű, de mikroszerkezetek és különféle hibák jelennek meg, a dielektromos filmréteg már nem teljesen átlátszó, és gyenge az abszorpció, miközben a film törésmutatójában térbeli egyenetlenség és fázisanizotrópia van, és a film már nem végtelen és sima felület. Ami még ennél is fontosabb, a tényleges előállítási folyamatban a filmelőkészítési folyamat paraméterei nagyon nagy hatással vannak a film optikai paramétereire, ezért a film optikai paramétereinek valós idejű megerősítése rendkívül fontos. Ezenkívül az optikai vékonyrétegnek, mint a tényleges környezetben használt eszköznek, az eszköz optikai jellemzői mellett számos más fontos, nem optikai jellemző is befolyásolja a film használatát, mint például a film tapadása, a film feszültsége, a film keménysége és felületi érdessége, valamint a film környezeti hatásokkal szembeni ellenálló képessége és így tovább. Ezért fontos pontosan mérni az összes olyan paramétert vagy jellemzőt, amely befolyásolja a vékonyréteg-eszközök használatát.
A vékonyrétegek fényáteresztő képességét és fényvisszaverő képességét főként spektrális teszt analizátorokkal vizsgálják. Az optikai filmek vizsgálatára szolgáló spektrális analizátorok a különböző tesztsávok szerint UV-Vis spektrofotométerekre, infravörös spektrofotométerekre és infravörös Fourier spektrométerekre oszthatók. Az első kettő a spektrális spektroszkópiai elemzési és vizsgálati rendszer elvén működik, az utóbbi az interferencia spektrális elemző rendszer elvén. A vékonyréteg-eszközök eltérő geometriai szerkezete és alakja miatt, bár minden fényáteresztő képesség és fényvisszaverő képesség mérése elvégezhető, de a különböző formák, a különböző pontossági követelmények vagy a különböző polarizációs követelmények eltérő vizsgálati módszereket és technikákat igényelhetnek.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. november 3.