Exigences environnementales pour les équipements de revêtement sous vide

Depuiséquipement de revêtement sous videFonctionnant sous vide, l'équipement doit répondre aux exigences environnementales du vide. Les normes industrielles nationales pour les différents types d'équipements de revêtement sous vide (notamment les conditions techniques générales pour les équipements de revêtement sous vide, les équipements de revêtement ionique sous vide, les équipements de revêtement par pulvérisation cathodique sous vide et les équipements de revêtement par évaporation sous vide) stipulent clairement les exigences environnementales. Seul le respect des exigences environnementales permet un fonctionnement optimal de l'équipement de revêtement sous vide et, grâce à un procédé de revêtement approprié, la production de produits de revêtement qualifiés.

Les exigences de l'environnement sous vide incluent généralement les exigences de l'équipement de vide concernant l'environnement ambiant, telles que la température du laboratoire (ou de l'atelier), la faible qualité de l'air et les exigences relatives aux pièces ou surfaces sous vide ou en état de vide. Ces deux aspects sont étroitement liés. La qualité de l'environnement affecte directement l'utilisation normale de l'équipement de vide, et le nettoyage de la chambre à vide de l'équipement ou des pièces qu'elle contient affecte directement les performances de l'équipement. Si l'air contient beaucoup de vapeur d'eau et de poussière, et que la chambre à vide n'est pas nettoyée, il est difficile d'atteindre le niveau de vide souhaité en utilisant une pompe mécanique à joint d'huile. Comme chacun sait, les pompes mécaniques à joint d'huile ne conviennent pas au pompage de gaz corrosifs pour les métaux, chimiquement réactifs à l'huile sous vide et contenant des particules de poussière. La vapeur d'eau est un gaz condensable. Lorsque la pompe refoule une grande quantité de gaz condensable, la pollution de l'huile est plus importante. En conséquence, le vide ultime de la pompe diminuera et les performances de pompage de la pompe seront détruites.

Les conditions de fonctionnement normales de l'équipement de revêtement sous vide sont les suivantes :

1 Température ambiante 10~30℃ ;

2. L’humidité relative ne dépasse pas 70 % ;

③ La température d’entrée de l’eau de refroidissement n’est pas supérieure à 25°C ;

④ Qualité de l’eau de refroidissement Eau du robinet de la ville ou eau de qualité équivalente ;

⑤Tension d'alimentation : 380 V, triphasé 50 Hz ou 220 V, monophasé 50 Hz (selon les besoins des appareils électriques utilisés), plage de fluctuation de tension 342~399 V ou 198~231 V, plage de fluctuation de fréquence 49~51 Hz ;

6. La pression, la température et la consommation doivent être indiquées dans le manuel d'instructions du produit ;

7. L'environnement autour de l'équipement est propre et l'air est propre, et il ne doit pas y avoir de poussière ou de gaz pouvant provoquer une corrosion de surface des appareils électriques et autres pièces métalliques ou provoquer une conduction électrique entre les métaux.

De plus, le laboratoire ou l'atelier où se trouve l'équipement de revêtement sous vide doit être maintenu propre et hygiénique. Le sol doit être en terrazzo ou en bois peint, exempt de poussière. Afin d'éviter que le gaz rejeté par la pompe mécanique ne pollue l'environnement du laboratoire, un tuyau d'échappement peut être installé à l'extérieur. Un tuyau d'échappement (métallique ou en caoutchouc) doit être installé sur la surface pour évacuer le gaz vers l'extérieur.